一种ITO蚀刻液中盐酸与三氯化铁含量的测定方法技术

本发明专利技术公开了一种ITO蚀刻液中盐酸与三氯化铁含量的测定方法，首先测定出三氯化铁含量，计算出样品中三氯化铁的质量分数；然后在测定盐酸的含量时，使用离心机来分离反应产生的氢氧化铁沉淀，配合动态pH滴定仪的电极信号的变化曲线对滴定终点的预判，能够精确测量出ITO蚀刻液样品中的盐酸含量，同时可以对ITO蚀刻液样品在线实时取样，滴定实验采用自动滴定仪进行滴定，可以随时取样，检测速度快，能实时反馈盐酸浓度，完全可以满足在线检测和控制的要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ΙΤ0蚀刻液领域，具体为一种ΙΤ0蚀刻液中盐酸与三氯化铁含量的测 定方法。
技术介绍
ΙΤ0蚀刻液主要指用于ΙΤ0图层蚀刻的化学品。目前有三类：草酸型、王水型和氯 化铁型。草酸型蚀刻液只能用于非晶态的ΙΤ0图层蚀刻，王水型的蚀刻液具有很强的腐蚀 性，受热剧烈反应不稳定，对于结晶态ΙΤ0图层的蚀刻主要采用氯化铁型的蚀刻液。由于工 艺要求不同，不同企业对ΙΤ0蚀刻液的蚀刻速率有不同的要求，主要是通过盐酸与三氯化 铁的比例来控制蚀刻速率。 受限于检测方法目前对于ΙΤ0蚀刻液的配制主要通过配制过程来控制，而无法对 产品中盐酸与三氯化铁的含量做精确地测量。这就导致如果配制中出现异常，不能通过检 测进行控制，产品蚀刻速率的波动性就比较大。目前对于该产品的检测方法未见有报导。 现有技术无法检测产品中各组分的含量，就很难控制产品蚀刻速率的稳定性，也 无法对异常品进行数据分析。这是因为酸正常的检测方法是用氢氧化钠标准溶液滴定，但 是三氯化铁的存在与氢氧化钠反应会生成氢氧化铁胶体，从而无法判断滴定终点。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术中无法对产品中盐本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ITO蚀刻液中盐酸与三氯化铁含量的测定方法，其特征在于，包括以下步骤：1)三氯化铁含量的测定：称取ITO蚀刻液样品1.5～2克，精确到0.0001克，置于碘量瓶中，加入50毫升蒸馏水、3毫升浓盐酸和3克碘化钾，摇匀，于暗处放置30分钟，然后加入50毫升蒸馏水，用0.1N浓度的硫代硫酸钠标准溶液滴定至淡黄色，加2毫升10克/升的淀粉指示液，继续滴定至溶液蓝色消失，同时做空白试验；三氯化铁含量X1计算公式：X1＝(V1‑V2)*C*0.1622*100/M1V1为硫代硫酸钠标准溶液之用量，单位为毫升；V2为空白试验硫代硫酸钠标准溶液之用量，单位为毫升；C为0.1N硫代硫酸钠标准溶液之当量浓度，...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鸣，刘利娟，孙宇亮，
申请(专利权)人：苏州市晶协高新电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32