用于夹紧工件的真空夹紧装置制造方法及图纸

本发明专利技术主要涉及一种真空夹紧装置，其用于夹紧工件，尤其用于夹紧平的基件，所述真空夹紧装置包括真空夹紧板(10)，所述真空夹紧板在其面上分布地具有一定数量的抽吸开口(16)，所述抽吸开口构成在真空夹紧板(10)的抽吸表面(14)中，或所述抽吸开口与一定数量的抽吸槽(15)处于连接，所述抽吸槽构成在真空夹紧板(10)的抽吸表面(14)中，其中，所述真空夹紧板(10)具有两个或更多彼此分离的能够单独切换的真空区(11、12)，其中，每个真空区(11、12)具有相应的抽吸开口(16)和/或包括抽吸开口(16)的抽吸槽(15)。为了这样进一步构成真空夹紧装置，使得利用其能够针对性地产生大的保持力，其中，同时避免要夹紧的工件的损坏，规定，所述真空夹紧装置具有两个或更多彼此独立的真空回路，每个真空区(11、12)配置给所述真空回路之一或是所述真空回路之一的组成部分，并且每个真空回路构成用于产生独立的真空。

Vacuum clamping device for clamping workpiece

The present invention relates to a vacuum clamping device for clamping the workpiece, especially a base element for clamping flat, the vacuum clamping device comprises a vacuum clamping plate (10), the vacuum clamping plate has a certain number of distribution on the surface of the suction opening (16), the suction opening formed in a vacuum the clamping plate (10) of the suction surface (14), or the suction opening of the suction slot with a certain number of (15) is connected to the suction slot in a vacuum clamping plate (10) of the suction surface (14), wherein, the vacuum clamping plate (10) having a vacuum zone two one or more separate can separate switch (11, 12), wherein each vacuum zone (11, 12) with the corresponding suction opening (16) and / or including a suction opening (16) of the suction slot (15). In order to further form a vacuum clamping device, makes use of the targeted large holding force, which at the same time, to avoid damage to the workpiece, clamping the provisions of the vacuum clamping device with two or more independent vacuum circuit, each vacuum zone (11, 12) to one of the the vacuum circuit or part of the vacuum circuit, and each vacuum vacuum circuit for generating independent form.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种真空夹紧装置，用于夹紧工件，尤其是用于夹紧平的基件。
技术介绍
这样的真空夹紧装置在现有技术中基本上已经已知。一般地，这样的真空夹紧装置具有真空夹紧板，所述真空夹紧板在其面上分布地具有一定数量的抽吸开口，所述抽吸开口构成在真空夹紧板的抽吸表面中，或所述抽吸开口与一定数量的抽吸槽处于连接，所述抽吸槽构成在真空夹紧板的抽吸表面中。所述类型的真空夹紧装置在最不同的
中使用。这样的
构成对以晶片形式的基件的制造和加工。晶片原则上是圆形的或四角形的盘，电子的构造元件处于所述盘上。在加工这样的晶片期间，所述晶片通常处于加工装置上或中，所述加工装置例如可以具有加工台。加工台具有保持装置，晶片在加工期间设置在所述保持装置上，并且晶片在所述保持装置上例如借助真空抽吸或被抽吸。在加工过程期间，晶片通常经受力，从而存在需求：固定晶片以防打滑。为此，在现有技术中例如已经已知，将真空夹紧板分成两个或更多彼此分离的能够单独切换的真空区，其中，每个真空区具有相应的抽吸开口和/或包括抽吸开口的抽吸槽。这样的解决方案在DE102004016476B4中说明。通过已知的解决方案能够实现，将真空夹紧板的尺寸与要夹紧的工件的尺寸适配。按照工件的尺寸，然后将对应多个或对应构造的真空区相互连接成唯一的真空夹紧板。然而在已知的解决方案的运行中，这时总是只提供唯一的真空回路，所述真空回路产生或提供在整个真空夹紧装置上统一的真空。在另一种背景中在现有技术中已经已知，将真空夹紧板与要夹紧的工件的特别的轮廓适配。在DE202013100632U1中例如在真空夹紧板上施加、例如套装另一个真空板，其中，所述真空板具有第一外表面并且与此对置的第二外表面，并且其中，所述真空板具有一定数量的真空通道，所述真空通道从第一外表面至第二外表面延伸穿过真空板。在已知的解决方案中作为一种垫构成的真空板可以紧贴到要夹紧的工件上。真空通道与在处于真空板下的真空夹紧板中的抽吸开口连接，从而真空可以在要夹紧的工件的表面上产生或提供。尤其是在使用真空夹紧装置的情况下对晶片加工的领域中非常重要的是，借助真空夹紧装置提供大的保持力，其中，尤其是应避免对敏感的晶片的损坏。
技术实现思路
从所述现有技术出发，本专利技术的任务是，这样进一步构成已知的真空夹紧装置，使得借助真空夹紧装置能够针对性地产生大的保持力，同时避免要夹紧的工件的损坏。所述任务按照本专利技术通过具有按照独立权利要求1的特征的真空夹紧装置、具有按照独立权利要求5的特征的真空夹紧装置以及具有按照独立权利要求8的特征的真空夹紧装置解决。本专利技术其他的特征和细节由从属权利要求、说明书以及附图得出。在此关联专利技术方面之一说明的特征以及细节总是关联分别另两个专利技术方面地也全面适用，从而关于各个专利技术方面的公开内容总是相互地全部地分别参考其他的专利技术方面并且参阅相应的实施方式。本专利技术基于如下基本思想，即，利用按照所有的三个专利技术方面的用于夹紧工件、尤其是用于夹紧平的基件的真空夹紧装置，能够实现保持力的尤其是针对性的增大。为此，按照本专利申请提供三个替代解决方案，它们全部解决相同的任务并且全部实现共同的统一的基本思想，即，真空夹紧装置、尤其是真空夹紧板以特别的方式构成。按照本专利技术，按照本专利技术的真空夹紧装置的所有三个方面提供用于夹紧工件、尤其是用于夹紧平的基件的真空夹紧装置。真空夹紧装置本身在现有技术中已经已知。在此，真空夹紧尤其是从如下原理出发，即，在可以作为真空台构成亦或是真空台的组成部分的真空夹紧装置的外部和内部首先存在正常的大气的空气压力，所述空气压力通常为大约1巴。现在，将要夹紧的工件施加到真空夹紧装置上。利用真空设备、例如真空泵吸出在真空夹紧装置内部的空气。由此，在内部和外部之间产生压力差，所述内部和外部的边界层描述要夹紧的工件。因此，在工件和真空夹紧装置之间产生真空。在这里尤其是涉及负压，所述负压显著、也就是说以多倍小于环境压力、例如大气的空气压力。大气的空气压力现在将工件挤压到真空夹紧装置上。现在可以加工夹紧的工件的上侧，必要时也加工所述工件的边缘区域，而工件在此不会滑动离开。原则上，本专利技术不限于夹紧确定的工件。优选按照本专利技术的真空夹紧装置用于夹紧平的基件。原则上，本专利技术不限于基件的确定的类型。所述基件一般可以是底板或基体。例如基件可以是如开头所述的晶片，从而真空夹紧装置优选用于夹紧晶片。如果所述基件是晶片，则真空夹紧装置优选是所谓的卡盘或这样的卡盘的组成部分。卡盘尤其构成保持装置，所述保持装置例如装配在加工台上，亦或构成这样的加工台。卡盘例如借助产生的真空接纳晶片。所述真空夹紧装置具有真空夹紧板，所述真空夹紧板在其面上分布地具有一定数量的抽吸开口。在此，本专利技术不限于确定的数量的抽吸开口。合适的数量尤其是由要夹紧的工件的尺寸和形状以及要产生的保持力的大小得出。在每个情况中优选设置多于两个这样的抽吸开口。通过抽吸开口，在要夹紧的工件的区域中产生或提供真空，其方式为，在通过抽吸开口产生真空时，工件在真空夹紧板上被吸住。原则上，本专利技术不限于真空夹紧板的确定的类型。在一种优选的实施形式中可以规定，抽吸开口构成在真空夹紧板的抽吸表面中。在该实施形式中，抽吸开口通入抽吸表面中并且打通所述抽吸表面。因此，一定数量的抽吸开口处于抽吸表面中，所述抽吸开口例如可以是孔，并且所述抽吸开口与用于产生真空的设备连接，如进一步在下面更详细地解释的那样。在另一种优选的实施形式中规定，所述抽吸开口与一定数量的抽吸槽处于连接，所述抽吸槽构成在真空夹紧板的抽吸表面中。在该情况中，真空本身通过抽吸槽产生或提供，其中，抽吸槽同样与抽吸开口连接。然而，在该实施例中可以总体上设置较少的抽吸开口。接着现在说明优选的第一实施例，即，可以怎样设计按照本专利技术的真空夹紧装置。按照本专利技术的第一方面，提供一种真空夹紧装置，其用于夹紧工件，尤其是用于夹紧平的基件，所述真空夹紧装置包括真空夹紧板，所述真空夹紧板在其面上分布地具有一定数量的抽吸开口，所述抽吸开口构成在真空夹紧板的抽吸表面中，或所述抽吸开口与一定数量的抽吸槽处于连接，所述抽吸槽构成在真空夹紧板的抽吸表面中，其中，真空夹紧板具有两个或更多彼此分离的能够单独切换的真空区，其中，每个真空区具有相应的抽吸开口和/或包括抽吸开口的抽吸槽。所述真空夹紧装置的特征在于，所述真空夹紧装置具有两个或更多彼此独立的真空回路，每个真空区配置给真空回路之一或是真空回路之一的组成部分，并且每个真空回路构成用于产生独立的真空。作为以上已经所述的特征的补充，在按照第一专利技术方面的真空夹紧装置中规定，所述真空夹紧板具有两个或更多彼此分离的能够单独切换的真空区，其中，每个真空区具有相应的抽吸开口和/或包括抽吸开口的抽吸槽。如以上已经提到的那样，真空夹紧板的以两个或更多真空区的这样的设计原则上由DE102004016476B4已知。然而，区别于由该文献已知的解决方案按照本专利技术规定，所述真空夹紧装置具有两个或更多彼此独立的真空回路。真空回路原则上包括一序列不同的元件，这些元件是必需的，借助这些元件可以产生或提供真空。处于真空夹紧板的抽吸表面中的抽吸开口尤其是与真空通道或真空导管连接。这些真空通道或真空导管尤其是通过连接元件、例如相应的阀元件本文档来自技高网...

【技术保护点】
真空夹紧装置，用于夹紧工件，尤其用于夹紧平的基件，所述真空夹紧装置包括真空夹紧板(10)，所述真空夹紧板在其面上分布地具有一定数量的抽吸开口(16)，所述抽吸开口构成在真空夹紧板(10)的抽吸表面(14)中，或所述抽吸开口与一定数量的抽吸槽(15)处于连接，所述抽吸槽构成在真空夹紧板(10)的抽吸表面(14)中，其中，真空夹紧板(10)具有两个或更多彼此分离的能够单独切换的真空区(11、12)，其中，每个真空区(11、12)具有相应的抽吸开口(16)和/或包括抽吸开口(16)的抽吸槽(15)，其特征在于，所述真空夹紧装置具有两个或更多彼此独立的真空回路，每个真空区(11、12)配置给所述真空回路之一或者是所述真空回路之一的组成部分，并且每个真空回路构成用于产生独立的真空。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.17 DE 102014118830.61.真空夹紧装置，用于夹紧工件，尤其用于夹紧平的基件，所述真空夹紧装置包括真空夹紧板(10)，所述真空夹紧板在其面上分布地具有一定数量的抽吸开口(16)，所述抽吸开口构成在真空夹紧板(10)的抽吸表面(14)中，或所述抽吸开口与一定数量的抽吸槽(15)处于连接，所述抽吸槽构成在真空夹紧板(10)的抽吸表面(14)中，其中，真空夹紧板(10)具有两个或更多彼此分离的能够单独切换的真空区(11、12)，其中，每个真空区(11、12)具有相应的抽吸开口(16)和/或包括抽吸开口(16)的抽吸槽(15)，其特征在于，所述真空夹紧装置具有两个或更多彼此独立的真空回路，每个真空区(11、12)配置给所述真空回路之一或者是所述真空回路之一的组成部分，并且每个真空回路构成用于产生独立的真空。2.按照权利要求1所述的真空夹紧装置，其特征在于，所述真空夹紧板(10)分成两个真空区(11、12)并且第一真空区(11)在面积方面以多倍大于第二真空区(12)。3.按照权利要求1或2所述的真空夹紧装置，其特征在于，真空夹紧板(10)分成两个真空区(11、12)，并且通过第一真空区产生或提供真空，所述真空大于、尤其是以多倍大于通过第二真空区产生或提供的真空。4.按照权利要求1至3之一所述的真空夹紧装置，其特征在于，真空夹紧板(10)构成为圆形的，并且至少一个真空区(12)构成为扇形或圆弓。5.真空夹紧装置，尤其是按照权利要求1至4之一所述的真空夹紧装置，用于夹紧工件，尤其是用于夹紧平的基件，所述真空夹紧装置包括真空夹紧板(10)，所述真空夹紧板在其面上分布地具有一定数量的抽吸开口(16)，所述抽吸开口构成在真空夹紧板(10)的抽吸表面(14)中，或所述抽吸开口与一定数量的抽吸槽(15)处于连接，所述抽吸槽构成在真空夹紧板(10)的抽吸表面(14)中，其特征在于，所述真空夹紧板(10)构成为偏心的真空夹紧板。6.按照权利要求5所述的真空夹紧装置，其特征在于，所述真空夹紧板(10)构成为圆形的，并且所述真空夹紧板包括不具有共同的中心的至少两个区域。7.按照权利要求5或6所述的真空夹紧板，其特征在于，所述真空夹紧板(10)构成为圆形的，所述真空夹紧板具有两个或更多彼此分离的、能够单独切换的...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·欧雷穆斯，
申请(专利权)人：机电一体化系统技术有限公司，
类型：发明
国别省市：奥地利;AT