一种加热承载台及其控制方法、薄膜封装设备技术

本发明专利技术设计显示技术领域，公开一种加热承载台及其控制方法、薄膜封装设备，加热承载台包括：承载台本体；第一加热装置，第一加热装置在承载台本体上形成第一加热区域；第二加热装置，第二加热装置在承载台本体上形成第二加热区域，第二加热区域围绕第一加热区域设置；温控装置，温控装置分别与第一加热装置和第二加热装置连接，并用于控制第一加热装置和第二加热装置的温度，以使第二加热装置在加热过程中的温度高于第一加热装置在加热过程中的温度，且使第一加热装置的温度在加热过程中逐渐降低。可改善现有技术中的加热承载台造成OLED器件的封装膜边缘致密度不足和有机材料寿命下降，进而导致OLED器件的信赖性和良率降低的问题。

Heating bearing platform and its control method and film packaging equipment

The design of display technology field, discloses a heating bearing platform and its control method, film packaging equipment, heating load station comprises a bearing table body; a first heating device, a first heating device on the bearing station body forming a first heating region; second heating device, second heating device on the bearing station body form second heating area the first heating region set around second heating region; temperature control device, temperature control device are respectively connected with the first heating device and the heating device second, and is used to control the first second heating device and heating device temperature, so that the second heating device in the process of heating temperature is higher than the first temperature heating device in the heating process, and the first heating the temperature of the device decreased gradually during the heating process. The utility model can improve the heating bearing platform in the prior art, resulting in the insufficient density of the edge of the packaging film of the OLED device and the decline of the service life of the organic material, thereby causing the problem of the reliability and the yield reduction of the OLED device.

【技术实现步骤摘要】
一种加热承载台及其控制方法、薄膜封装设备
本专利技术涉及显示
，特别涉及一种加热承载台及其控制方法、薄膜封装设备。
技术介绍
OLED(OrganicLight-EmittingDiode；有机电致发光)器件具有功耗低、轻便、亮度高、视野宽及高对比度和反应速度快等特点，目前已经广泛应用于消费电子产品市场。为提高OLED器件的使用寿命，在OLED器件的生产过程中需采用封装工艺对OLED器件进行封装，以降低使用过程中水氧渗透造成的侵蚀。薄膜封装是目前一种常用的封装方法，通过在OLED器件上设置一层或多层由有机材料或无机材料形成的薄膜，可起到使OLED器件与外界环境隔绝、减缓水氧渗透的作用。目前的封装工艺中多采用PECVD((PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition；等离子体增强化学气相沉积)方法进行封装薄膜的制备，PECVD方法通过使成膜材料的气体电离并形成等离子体，然后在基片上沉积出所需的薄膜。在封装工艺过程中，将形成有OLED器件的基板放置于加热承载台上，随着基板被加热到一定温度，等离子体形态的封装材料沉积于OLED器件上，从而形成封装薄膜。然本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加热承载台，其特征在于，包括：承载台本体；第一加热装置，所述第一加热装置在所述承载台本体上形成第一加热区域；第二加热装置，所述第二加热装置在所述承载台本体上形成第二加热区域，所述第二加热区域围绕所述第一加热区域设置；温控装置，所述温控装置分别与所述第一加热装置和所述第二加热装置连接，并用于控制所述第一加热装置和第二加热装置的温度，以使所述第二加热装置在加热过程中的温度高于所述第一加热装置在加热过程中的温度，且使所述第一加热装置的温度在加热过程中逐渐降低。

【技术特征摘要】
1.一种加热承载台，其特征在于，包括：承载台本体；第一加热装置，所述第一加热装置在所述承载台本体上形成第一加热区域；第二加热装置，所述第二加热装置在所述承载台本体上形成第二加热区域，所述第二加热区域围绕所述第一加热区域设置；温控装置，所述温控装置分别与所述第一加热装置和所述第二加热装置连接，并用于控制所述第一加热装置和第二加热装置的温度，以使所述第二加热装置在加热过程中的温度高于所述第一加热装置在加热过程中的温度，且使所述第一加热装置的温度在加热过程中逐渐降低。2.根据权利要求1所述的加热承载台，其特征在于，所述第一加热装置包括第一加热管路，所述第一加热管路盘绕形成所述第一加热区域；所述第二加热装置包括第二加热管路，所述第二加热管路围绕所述第一加热管路形成所述第二加热区域。3.根据权利要求2所述的加热承载台，其特征在于，所述第一加热装置包括与所述第一加热管路连通的第一循环机构，所述第一循环机构用于使加热后的导热液体在所述第一加热管路内循环流动；所述第二加热装置包括与所述第二加热管路连通的第二循环机构，所述第二循环机构用于使加热...

【专利技术属性】
技术研发人员：全威，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11