真空吸附结构及机械手装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种真空吸附结构及机械手装置，真空吸附结构包括机械手垫板和设置在机械手垫板上用于吸附基板的真空吸嘴，还包括设置在真空吸嘴内并用于为真空吸嘴降温的冷却部件，真空吸嘴内部设有安装冷却部件的容纳槽，冷却部件内部通入冷却介质；冷却部件为冷却管线，冷却介质为冷却气体；冷却管线上设有用于向真空吸嘴的吸附面吹气的冷却气孔，真空吸嘴上设有用于内部气体排出的排气口。机械手装置采用了该真空吸附结构，本发明专利技术提供的真空吸附结构及机械手装置，提高了产品的质量。

Vacuum adsorption structure and mechanical hand device

The invention provides a vacuum adsorption structure and mechanical hand device, vacuum adsorption structure comprises a mechanical arm plate and is arranged in the mechanical hand pad for vacuum adsorption substrate suction nozzle arranged in the vacuum suction nozzle and vacuum cooling unit for cooling nozzle, vacuum suction nozzle with internal cooling installation components holding tank, internal cooling components into the cooling medium; cooling unit for cooling pipes, cooling medium for cooling gas; cooling pipe is used for cooling air blowing into the vacuum suction nozzle on the adsorption surface, vacuum suction nozzle is provided with exhaust gas discharge port for internal. The mechanical hand device adopts the vacuum absorption structure, the vacuum absorption structure and the manipulator device provided by the invention improve the quality of the product.

【技术实现步骤摘要】
真空吸附结构及机械手装置
本专利技术属于显示装置生产设备
，更具体地说，是涉及一种真空吸附结构及采用该真空吸附结构的机械手装置。
技术介绍
显示装置中的基板在光阻涂布后需要进入软烤机进行烘烤。机械手臂的垫板在搬送基板进入炉内的过程中，会因为炉内的热量传递而升温，此时机械手臂的垫板是有温度的。当机械手臂返回去搬送另外一片刚涂布后的基板时，垫板的温度会传递给玻璃基板，接触的位置会因为温差的作用而膜厚不均并在使用过程中产生亮度不均匀和出现斑点的现象。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种真空吸附结构，旨在解决机械手臂在搬运涂布好的玻璃基板进行烘烤时机械手臂上的垫板将温度传递给玻璃基板，造成玻璃基板膜厚不均且在使用过程中产生亮度不均匀和出现斑点的问题。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：提供一种真空吸附结构，其包括：机械手垫板；真空吸嘴，设置在所述机械手垫板上，用于吸附基板；冷却部件，设置在所述真空吸嘴内，用于为所述真空吸嘴降温；容纳槽，设置在所述真空吸嘴内部，用于安装所述冷却部件；冷却介质，设置所述冷却部件内部，用于为冷却部件降温。进一步地，所述冷却部件为冷却管线，所述冷却介质为冷却气体。进一步地，所述冷却管线上设有用于向所述真空吸嘴的吸附面吹气的冷却气孔，所述真空吸嘴上设有用于内部气体排出的排气口。进一步地，所述冷却管线缠绕在所述真空吸嘴的内部且靠近所述真空吸嘴的吸附面布置。进一步地，所述容纳槽位于所述吸附面的一侧壁上间隔设有散热片，所述冷却气孔与所述散热片之间构成的间隙相对应。进一步地，所述散热片与所述：所述容纳槽的侧壁垂直设置。进一步地，所述机械手垫板上设有镂空沟槽。进一步地，所述真空吸嘴均匀布置在所述机械手垫板上。本专利技术还提供一种真空吸附结构，所述真空吸附结构包括：机械手垫板；真空吸嘴，设置在所述机械手垫板上，用于吸附基板；冷却部件，设置在所述真空吸嘴内，用于为所述真空吸嘴降温；容纳槽，设置在所述真空吸嘴内部，用于安装所述冷却部件；冷却介质，设置所述冷却部件内部，用于为冷却部件降温，所述冷却介质包括冷却气体，所述冷却部件为具有若干通气孔的冷却管线，所述真空吸嘴上设有用于内部气体排出的排气孔，所述冷却管线缠绕在所述真空吸嘴的内部且靠近所述真空吸嘴的吸附面布置。本专利技术真空吸附结构，通过在真空吸嘴内设置的冷却部件中通入冷却介质，机械手垫板在烤炉内准备去搬送另外一片基板的过程中，不断进行冷却，保证机械手垫板上的真空吸嘴在接触下一片基板时不会在基板上产生温差，保证搬运过程不会造成膜厚不均，提高了产品的质量。本专利技术还提供一种机械手装置，包括任意一项上述的真空吸附结构。本专利技术机械手装置，采用了该真空吸附结构，保证了机械手垫板上的真空吸嘴在接触下一片基板时不会在基板上产生温差，在搬运过程不会造成膜厚不均，利于提高产品的质量。附图说明图1为本专利技术实施例提供的真空吸附结构的使用状态结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的真空吸附结构的结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的真空吸嘴的俯视剖视示意图；图4为本专利技术实施例提供的真空吸嘴的左视剖视示意图一；图5为本专利技术实施例提供的真空吸嘴的左视剖视示意图二。具体实施方式为了使本专利技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。请一并参阅图1至图4，现对本专利技术提供的真空吸附结构进行说明。真空吸附结构，包括机械手垫板1、设置在机械手垫板1上用于吸附基板3的真空吸嘴2和设置在真空吸嘴2上并用于为真空吸嘴2降温的冷却部件，真空吸嘴2内部设有安装所述冷却部件的容纳槽，冷却部件内部通入冷却介质。本专利技术提供的真空吸附结构，通过在真空吸嘴2内设置冷却部件中通入冷却介质，机械手垫板1在烤炉内准备去搬送另外一片基板3的过程中，不断进行冷却，保证机械手垫板1上的真空吸嘴2在接触下一片基板3时不会在基板3上产生温差，保证搬运过程不会造成膜厚不均，提高了产品的质量。进一步地，请参阅图3及图4，作为本专利技术提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，冷却部件为冷却管线23，冷却介质为冷却气体。真空吸嘴2的中部设有吸孔21，用于吸附基板3，真空吸嘴2内部设有用于放置冷却管线23的内容槽，冷却管线23与气源接通，气源向冷却管线23通入冷却气体，采用冷却气体进行降温，使用方便，降温效果好。进一步地，请参阅图1及图2及图4，作为本专利技术提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，冷却管线23上设有用于向真空吸嘴2的吸附面吹气的冷却气孔24，真空吸嘴2上设有用于内部气体排出的排气口22。冷却管线23上的冷却气孔24源源不断的向真空吸嘴2的吸附面上进行吹气，进行热交换，带走真空吸嘴2上的热量并通过排口排出到外界，降温效果佳。具体地，请参阅图1及图2及图4，作为本专利技术提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，排气口22设置在真空吸嘴2的角部，便于排气散热，可选的排气口22设置在真空吸嘴2的周圈，并且在真空吸嘴2的周圈均匀排布，散热更加均匀，使用效果佳。进一步地，请参阅图1至图4，作为本专利技术提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，冷却管线23缠绕在真空吸嘴2的内部且靠近真空吸嘴2的吸附面布置。冷却管线23缠绕布置，增大了气体进入量和气体排出量，热交换的效率高，使用效果好。进一步地，请参阅图5，作为本专利技术提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，容纳槽位于吸附面的一侧壁上间隔设有散热片25，冷却气孔24与散热片25之间构成的间隙相对应，设置散热片25增加了散热面积，提高了散热效率。散热片与容纳槽的侧壁垂直设置，便于加工制作，利于冷却气体的流动，散热效果好。进一步地，作为本专利技术提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，冷却气体为干燥空气或氮气。干燥的空气或氮气均为常见的气体，原料易得且无污染，尤其是氮气，压缩的氮气用作降温时温度较低，冷却效果更好。进一步地，作为本专利技术提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，冷却部件为冷却水管，冷却介质为冷却水，通过冷却水管对真空吸嘴2进行降温，降温效果好，噪声小。进一步地，请参阅图1及图2，作为本专利技术提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，机械手垫板1上设有镂空沟槽11。设置镂空沟槽11能够便于真空吸附和破真空，且机械手垫板1与基板3的接触面积小，接触更加平稳，吸附更加紧密，真空吸附更加稳定。进一步地，请参阅图1及图2，作为本专利技术提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，镂空沟槽11为矩形槽。矩形槽便于加工制作，并且方便机械后垫板上的真空吸嘴2布置。进一步地，请参阅图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空吸附结构，其特征在于，所述真空吸附结构包括：机械手垫板；真空吸嘴，设置在所述机械手垫板上，用于吸附基板；冷却部件，设置在所述真空吸嘴内，用于为所述真空吸嘴降温；容纳槽，设置在所述真空吸嘴内部，用于安装所述冷却部件；冷却介质，设置所述冷却部件内部，用于为冷却部件降温。

【技术特征摘要】
1.一种真空吸附结构，其特征在于，所述真空吸附结构包括：机械手垫板；真空吸嘴，设置在所述机械手垫板上，用于吸附基板；冷却部件，设置在所述真空吸嘴内，用于为所述真空吸嘴降温；容纳槽，设置在所述真空吸嘴内部，用于安装所述冷却部件；冷却介质，设置所述冷却部件内部，用于为冷却部件降温。2.如权利要求1所述的真空吸附结构，其特征在于：所述冷却部件为冷却管线，所述冷却介质包括冷却气体。3.如权利要求2所述的真空吸附结构，其特征在于：所述冷却管线上设有用于向所述真空吸嘴的吸附面吹气的冷却气孔，所述真空吸嘴上设有用于内部气体排出的排气口。4.如权利要求2或3所述的真空吸附结构，其特征在于：所述冷却管线缠绕在所述真空吸嘴的内部且靠近所述真空吸嘴的吸附面布置。5.如权利要求3所述的真空吸附结构，其特征在于：所述容纳槽位于所述吸附面的一侧壁上间隔设有散热片，所述冷却气孔与所述散热片之间构成的间隙相对应。6.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：简重光，
申请(专利权)人：惠科股份有限公司，重庆惠科金渝光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44