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本发明提供了一种真空吸附结构及机械手装置，真空吸附结构包括机械手垫板和设置在机械手垫板上用于吸附基板的真空吸嘴，还包括设置在真空吸嘴内并用于为真空吸嘴降温的冷却部件，真空吸嘴内部设有安装冷却部件的容纳槽，冷却部件内部通入冷却介质；冷却部件为...该专利属于惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司授权不得商用。