一种薄膜制作方法及系统技术方案

本发明专利技术公开一种薄膜制作方法及系统，涉及薄膜制作技术领域，为提高制得薄膜的厚度均匀性。所述薄膜制作方法包括：在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层，向油墨层吹气，使得油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开；去除油墨层中的溶剂，使得油墨层中的成膜材料形成覆盖在衬底基板表面的薄膜。所述薄膜制作系统包括上述技术方案所提的薄膜制作方法。本发明专利技术提供的薄膜制作方法用于制作薄膜。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜制作方法及系统
本专利技术涉及薄膜制作
，尤其涉及一种薄膜制作方法及系统。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，缩写为OLED)显示装置因具有自发光、反应快、视角广、亮度高和色彩艳等优点而被广泛应用于显示技术中。OLED显示装置包括依次形成于衬底基板上的阳极、有机功能层和阴极，其中，有机功能层需要通过薄膜制备工艺进行，在各种成膜工艺中，首先需将作为溶质的有机功能层材料与溶剂混合，并将混合后的液体涂覆在衬底基板上，继而对涂覆后的衬底基板进行干燥，以得到沉积在衬底基板上由有机功能层材料组成的薄膜。但是，在上述干燥过程中，由于位于衬底基板中间的液体被位于衬底基板边缘的液体所包围，导致位于衬底基板中间的液体的溶剂挥发速率小于位于衬底基板边缘的溶剂挥发速率，出现干燥后衬底基板表面薄膜厚度不均匀的问题，而薄膜厚度的均匀性对OLED显示器的显示品质有着重要影响，厚度不均将影响OLED显示器的亮度、光色甚至寿命。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种薄膜制作方法及系统，用于提高制得薄膜的厚度均匀性。为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜制作方法，其特征在于，包括：在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层，所述油墨层包括溶剂和溶解在溶剂中的成膜材料；向所述油墨层吹气，使得所述油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开；去除所述油墨层中的溶剂，使得所述油墨层中的成膜材料形成覆盖在衬底基板表面的薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜制作方法，其特征在于，包括：在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层，所述油墨层包括溶剂和溶解在溶剂中的成膜材料；向所述油墨层吹气，使得所述油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开；去除所述油墨层中的溶剂，使得所述油墨层中的成膜材料形成覆盖在衬底基板表面的薄膜。2.根据权利要求1所述的薄膜制作方法，其特征在于，所述油墨层的粘度为1cP～20cP。3.根据权利要求1所述的薄膜制作方法，其特征在于，所述向油墨层吹气，使得油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开，包括：向所述油墨层吹气，使得所述油墨层中的溶剂从衬底基板的几何中心向衬底基板四周区域展开。4.根据权利要求1所述的薄膜制作方法，其特征在于，所述在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层，包括：通过喷墨打印的方式在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层。5.根据权利要求1所述的薄膜制作方法，其特征在于，所述向油墨层吹气时，气体流速为0.1m/s～10m/s，吹气时间为300s～400s。6.根据权利要求1所述的薄膜制作方法，其特征在于，所述在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层之前，所述薄膜制作方法还包括：将所述衬底基板放于薄膜制程腔室中；所述向油墨层吹气，使得油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开之后，所述去除油墨层中的溶剂之前，所述薄膜制作方法还包括：抽除所述薄膜制程腔室中带有溶剂的气体。7.根据权利要求6所述的薄膜制作方法，其特征在于，所述抽除薄膜制程腔室...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖金龙，闫光，吴长晏，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11