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本发明公开一种薄膜制作方法及系统,涉及薄膜制作技术领域,为提高制得薄膜的厚度均匀性。所述薄膜制作方法包括:在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层,向油墨层吹气,使得油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开;去除油墨层中的溶剂,使得油墨层中的成膜...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种薄膜制作方法及系统,涉及薄膜制作技术领域,为提高制得薄膜的厚度均匀性。所述薄膜制作方法包括:在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层,向油墨层吹气,使得油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开;去除油墨层中的溶剂,使得油墨层中的成膜...