用于OLED封装结构的有机材料和无机材料的整合方法技术

本公开涉及用于OLED封装结构的有机材料和无机材料的整合方法。本公开的实施方式提供在用于OLED或薄膜晶体管应用的透明基板上使用的界面整合和粘附改进方法。在一个实施方式中，一种增强设置在基板上的膜结构中的界面粘附和整合的方法包括：在处理腔室中在设置在基板上的无机层上执行等离子体处理工艺，以在基板上形成处理层，其中基板包括OLED结构；将基板温度控制为低于约100摄氏度；以及在处理层上形成有机层。此外，一种用于OLED应用的封装结构包括：无机层，所述无机层形成在基板上的OLED结构上；电子束处理层，所述电子束处理层形成在无机层上；和有机层，所述有机层形成在电子束处理层上。

【技术实现步骤摘要】
用于OLED封装结构的有机材料和无机材料的整合方法
本公开的实施方式通常涉及用于改进界面粘附和整合的方法。更具体地，本公开的实施方式涉及在薄膜晶体管或OLED应用中使用的基板的表面上执行的界面管理方法。
技术介绍
有机发光二极管显示器(OLED)由于其较快响应时间、较大视角、较高对比度、较轻重量、较低功率和对柔性基板的顺应性，近来在显示应用中广受关注。一般来说，常规OLED通过使用夹在两个电极之间的一层或多层有机材料实现发光。一层或多层有机材料包括能够单极(空穴)传输的一个层和用于电致发光的另一层，并且因此降低OLED显示器所需要的操作电压。除了用于OLED中的有机材料之外，也开发出用于小分子、柔性有机发光二极管(FOLED)和聚合物发光二极管显示器(PLED)的许多聚合物材料。这些有机材料和聚合物材料中的许多是柔性的，以便用于在各种基板上制造复杂、多层器件，从而使得其对于各种透明多色彩显示器应用来说是理想的，诸如薄平板显示器(FPD)、电泵送有机激光器和有机光放大器。多年以来，显示器件中的各层已演变成其中每层提供不同功能的多个层。图1示出构建在基板102上的OLED器件结构100的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种增强设置在基板上的膜结构中的界面粘附和整合的方法，所述方法包括：在处理腔室中在设置在基板上的无机层上执行等离子体处理工艺，以在所述基板上形成处理层，其中所述基板包括OLED结构；将基板温度控制为低于约100摄氏度；以及在所述处理层上形成有机层。

【技术特征摘要】
2016.02.26 US 15/055,2691.一种增强设置在基板上的膜结构中的界面粘附和整合的方法，所述方法包括：在处理腔室中在设置在基板上的无机层上执行等离子体处理工艺，以在所述基板上形成处理层，其中所述基板包括OLED结构；将基板温度控制为低于约100摄氏度；以及在所述处理层上形成有机层。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述有机层选自由以下各项组成的组：聚丙烯酸酯、聚对二甲苯、聚酰亚胺、聚四氟乙烯、氟化乙烯丙烯的共聚物、全氟烷氧基共聚物树脂、乙烯和四氟乙烯的共聚物、聚对二甲苯。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述无机层是氮化硅层或氧化硅层。4.如权利要求1所述的方法，进一步包括：在形成所述处理层前，在所述无机层上形成界面增强层。5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述界面增强层是由氧化硅、氮化硅或氮氧化硅制成的无机层。6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，当所述无机层是氮化硅层时，所述界面增强层是氮氧化硅层。7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述等离子体处理工艺进一步包括：供应包括含氧气体的气体混合物以处理所述无机层。8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述含氧气体是臭氧、O2或N2O。9.如权利要求1所述的方法，进一步包括：在所述有机层上形成界面增强层。10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述界面增强层是氮...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·J·陈，崔寿永，H·诺米南达，吴文豪，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US