改善光阻不均的薄膜晶体管电路结构及方法技术

本发明专利技术是关于一种改善光阻不均的薄膜晶体管电路结构及方法，其于覆盖有第一电路线的绝缘层的一表面制作为具有平坦的特征，使绝缘层的表面不会受第一电路线的结构影响而不平坦；又于堆栈于绝缘层上并覆盖有第二电路线的钝化层的一表面制作为具有平坦的特征，使钝化层的表面不会受第二电路线的结构影响而不平坦；钝化层的平坦层可供有机光阻在旋转涂布的制程中，均匀地扩散而不会受结构影响而产生光阻不均现象。

【技术实现步骤摘要】
改善光阻不均的薄膜晶体管电路结构及方法
本专利技术是关于一种薄膜晶体管电路结构及方法，尤指一种在光阻不均的问题上有显著改善功效的薄膜晶体管电路结构及方法。
技术介绍
旋转涂布法(SpinCoating)是集成电路及薄膜液晶显示器制程所普遍使用的方法，其利用快速旋转产生离心力的方式将涂液抛出而向基板的外围方向扩散，可以制作高均匀性的微米级薄膜。影响旋转涂布质量的因素相当多，例如涂液的流变性及表面张力，以及操作时的加速度、最终定速、气流排放模式等影响离心力、挥发速率、干燥速率等参数。而基板上已存在的结构，也会对旋转涂布的质量产生关键性的影响。以制作液晶显示器的薄膜晶体管电路结构而言，玻璃基板上于设置主动式薄膜晶体管电路后，为了使画素开口率提升，会使用有机光阻铺设在钝化层及画素电极间，藉此降低寄生电容，或是为了做出反射式的凸块会将钝化层上方的有机光阻加以图形化。但由于有机光阻是一种黏滞性高的液体，因此在旋转涂布的过程中，玻璃基板表面上既有的不平坦结构会对旋转涂布的效果造成严重影响，例如交错布置的电路线会形成有机光阻行进的阻碍物；也就是说，在玻璃基板快速转动的同时，有机光阻会因为结构表面的不本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种改善光阻不均的方法，其用于具有复数个第一电路线的一基板，其包含步骤：设置一绝缘层于该基板上，并覆盖该些第一电路线；设置图案化的一第一光阻层于该绝缘层上，且该第一光阻层的图案与该些第一电路线平行；移除部分的该绝缘层以及该第一光阻层，形成一第一平坦层；设置复数个第二电路线于该绝缘层之上，该些第一电路线以及该些第二电路线于空间的垂直方向上交错排列；设置一钝化层于该些第二电路线之上；设置图案化的一第二光阻层于该钝化层上，且该第二光阻层的图案与该些第二电路线平行；以及移除部分的该钝化层以及该第二光阻层，形成一第二平坦层。

【技术特征摘要】
1.一种改善光阻不均的方法，其用于具有复数个第一电路线的一基板，其包含步骤：设置一绝缘层于该基板上，并覆盖该些第一电路线；设置图案化的一第一光阻层于该绝缘层上，且该第一光阻层的图案与该些第一电路线平行；移除部分的该绝缘层以及该第一光阻层，形成一第一平坦层；设置复数个第二电路线于该绝缘层之上，该些第一电路线以及该些第二电路线于空间的垂直方向上交错排列；设置一钝化层于该些第二电路线之上；设置图案化的一第二光阻层于该钝化层上，且该第二光阻层的图案与该些第二电路线平行；以及移除部分的该钝化层以及该第二光阻层，形成一第二平坦层。2.如权利要求1所述的改善光阻不均的方法，其中该些第一电路线为闸极线。3.如权利要求1所述的改善光阻不均的方法，其中该基板为玻璃基板。4.如权利要求1所述的改善光阻不均的方法，其中该些第二电路线为数据线。5.如权利要求1所述的改善光阻不均的方法，其中该第一光阻层的图案与该些第一电路线于空间的垂直方向上不相互重迭，以及该第二光阻层的图案与该些第二电路线于空间的垂直方向上不相互重迭。6.一种改善光阻不均的薄膜晶体管电路结构，其包含：一基板；复数个第一电路线，设置于该基板之上；一...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭剑英，
申请(专利权)人：凌巨科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71