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改善光阻不均的薄膜晶体管电路结构及方法技术
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文档序号:16155456
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本发明是关于一种改善光阻不均的薄膜晶体管电路结构及方法,其于覆盖有第一电路线的绝缘层的一表面制作为具有平坦的特征,使绝缘层的表面不会受第一电路线的结构影响而不平坦;又于堆栈于绝缘层上并覆盖有第二电路线的钝化层的一表面制作为具有平坦的特征,使...
该专利属于凌巨科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过凌巨科技股份有限公司授权不得商用。
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