The invention relates to a method for adjusting the interference angle adjusting device and beam interference angle, which comprises a laser, a beam splitter, a first mirror, second mirror, the first transparent plate, second transparent plate and angle gauge; laser beam splitter will emit ultraviolet light, ultraviolet laser light is divided into first and second beams the first reflector; the first light beam through the first transparent plate, second mirror second light beams through second transparent board, first and second beams are converged to a point; the first mirror, second mirror, the first transparent plate and the transparent plate second position adjustable angle gauge; including angle gauge reflector, high precision the turntable and the adjusting frame, angle gauge reflector first light beam to the first transparent plate, angle gauge reflector second to second light beam plate, precision electric The angle of the reflector is adjusted on the horizontal plane by the turntable, and the adjusting frame adjusts the overall spatial position of the precise electric turntable and the angle gauge mirror two.
【技术实现步骤摘要】
一种光束干涉角调整装置及干涉角的调整方法
本专利技术涉及全息
,尤其涉及一种光束干涉角调整装置及干涉角的调整方法。
技术介绍
紫外光刻胶作为一种抗刻蚀剂,因其工艺过程简单、容易控制,多年来一直在全息领域被广泛应用。采用全息技术加工光栅的方法常规工艺流程为:半导体工艺加工晶片的常规工艺流程为:晶片清洁——晶片涂胶——烘烤——曝光——显影。常规的曝光方式是双光束紫外光干涉的方法进行曝光。两束光之间的夹角(即干涉角)的大小决定了光栅的线密度,干涉角越大,光栅线密度越高。根据不同的光栅线密度,计算两束光的夹角,从而达到控制光栅线密度的目的。在该过程中,干涉角的大小对光栅质量至关重要。如:以325nm波长的紫外光进行干涉,两束光的夹角每改变0.1°,光栅的线对数就相差了约5条/mm,这对于线密度在0.1线/mm精度的光栅来说,无疑是不能接受的。所以如何控制两束光的干涉角,至关重要。
技术实现思路
为了解决上述问题,本专利技术的目的在于提供一种光束干涉角调整装置及干涉角的调整方法,该装置和调整方法能够将两束光的干涉角控制在秒级的精度。为实现上述目的,本专利技术采用以下技术方案:一种光束干涉角调整装置,包括激光器、分束镜、第一反射镜、第二反射镜、第一透光板、第二透光板和角度规;激光器发出紫外光,分束镜将激光器发出的紫外光分为第一光束和第二光束;第一反射镜反射第一光束穿过第一透光板,第二反射镜反射第二光束穿过第二透光板,第一光束和第二光束最终汇聚于一点;第一反射镜、第二反射镜、第一透光板和第二透光板的位置可调;角度规包括角度规反射镜、精密电动转台和调整架,角度规反射镜反 ...
【技术保护点】
一种光束干涉角调整装置,其特征在于:包括激光器(1)、分束镜(2)、第一反射镜(3)、第二反射镜(4)、第一透光板(5)、第二透光板(6)和角度规(7);激光器(1)发出紫外光,分束镜(2)将激光器(1)发出的紫外光分为第一光束和第二光束;第一反射镜(3)反射第一光束穿过第一透光板(5),第二反射镜(4)反射第二光束穿过第二透光板(6),第一光束和第二光束最终汇聚于一点;第一反射镜(3)、第二反射镜(4)、第一透光板(5)和第二透光板(6)的位置可调;角度规(7)包括角度规反射镜(71)、精密电动转台(72)和调整架(73),角度规反射镜(71)反射第一光束至第一透光板(5)上,角度规反射镜(71)反射第二光束至第二透光板(6)上,精密电动转台(72)固定连接在角度规反射镜(71)的下方并调整角度规反射镜(71)在水平面上的角度,调整架(73)连接在精密电动转台(72)的下方并调整精密电动转台(72)和角度规反射镜(71)二者整体的空间位置。
【技术特征摘要】
1.一种光束干涉角调整装置,其特征在于:包括激光器(1)、分束镜(2)、第一反射镜(3)、第二反射镜(4)、第一透光板(5)、第二透光板(6)和角度规(7);激光器(1)发出紫外光,分束镜(2)将激光器(1)发出的紫外光分为第一光束和第二光束;第一反射镜(3)反射第一光束穿过第一透光板(5),第二反射镜(4)反射第二光束穿过第二透光板(6),第一光束和第二光束最终汇聚于一点;第一反射镜(3)、第二反射镜(4)、第一透光板(5)和第二透光板(6)的位置可调;角度规(7)包括角度规反射镜(71)、精密电动转台(72)和调整架(73),角度规反射镜(71)反射第一光束至第一透光板(5)上,角度规反射镜(71)反射第二光束至第二透光板(6)上,精密电动转台(72)固定连接在角度规反射镜(71)的下方并调整角度规反射镜(71)在水平面上的角度,调整架(73)连接在精密电动转台(72)的下方并调整精密电动转台(72)和角度规反射镜(71)二者整体的空间位置。2.根据权利要求1所述的光束干涉角调整装置,其特征在于:所述第一透光板(5)和第二透光板(6)分别通过一调节底座分别调节高度以及在水平面的转动的角度和位置。3.根据权利要求2所述的光束干涉角调整装置,其特征在于:所述调节底座包括底座本体(51)、第一连接杆(52)和第二连接杆(53),底座本体(51)水平设置,第一连接杆(52)竖直设置且下端固定在底座本体(51)上,第二连接杆(53)竖直设置且下端转动套设在第一连接杆(52)的上部内,第二连接杆(53)的上端固定连接在第一透光板(5)或者第二透光板(6)的下端,第一连接杆(52)上设置有固定卡件(54),固...
【专利技术属性】
技术研发人员:梁万国,李广伟,张新汉,陈怀熹,缪龙,冯新凯,邹小林,
申请(专利权)人:福建中科晶创光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:福建,35
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