一种基板曝边设备制造技术

本发明专利技术提出了显示技术领域中的一种基板曝边设备，该曝边设备的承载台包括外围的固定装置、设置在固定装置上用于承载基板的透明支撑部和被透明支撑部包围的中间支撑部，在基板的曝边制程中，透明支撑部能够使曝边光线穿过而不会形成反射光。从而避免了反射光对基板的损伤和由此产生的缺陷。尤其当透明支撑部由玻璃制成时，进一步保证了支撑的性能，提高了产品品质。

Substrate exposure device

The invention provides a display technology in the field of a substrate side exposure device, the exposure side equipment carrying platform includes the periphery of the fixing device, is arranged on the fixed device for transparent support bearing substrate and transparent support portion surrounded by the intermediate support portion, the substrate side exposure process, transparent support can make the exposure light through the side without the formation of reflected light. Thereby, the damage of the reflected light to the substrate and the defects resulting therefrom are avoided. Especially when the transparent support part is made of glass, the performance of the support is further guaranteed, and the quality of the product is improved.

【技术实现步骤摘要】
一种基板曝边设备
本专利技术涉及显示
，具体涉及一种基板曝边设备。
技术介绍
光刻工艺是现代显示器生产的核心工艺之一，其主要包括涂布、曝光和显影等制程。曝边制程是曝光之后、显影之前的辅助制程，主要目的是对位于基板边缘区域的厚度异常的光阻进行充分曝光，以便在显影制程中能够将曝边部分的光阻全部溶解掉，从而有利于蚀刻制程中将边缘的膜全部去除，避免后续制程和工艺上的不良。现有技术中，曝边设备的承载台采用支撑柱设计，在基板的周向边缘处同样设置有用于支撑的支撑柱，如图1、图2所示。在基板11的非边缘区域112设置有用于支撑基板11的支撑柱12和用于固定基板11的真空吸盘13。在曝边制程中，基板11的周向边缘区域111的光阻113膜厚很厚，为了保证在曝边制程中基板11的稳定性和曝边品质，沿基板11的周向边缘区域111同样设置有支撑柱12。为了确保后续制程中能够将位于周向边缘区域111内的光阻113去除，需要采用较强的曝光能量。然而，过强的曝边光线14能够穿过光阻113和基板11，直接抵达位于基板11下方的支撑柱12。支撑柱12表面会有反射光15反射回基板11，从而造成基板缺陷，如图3所示。此缺陷的形状与支撑柱和基板接触的表面形状大体相当。为了防止该缺陷的产生，无论是挪动支撑柱的位置或减小支撑柱和基板接触的表面大小都会带来支撑不稳的风险。
技术实现思路
针对现有技术中的不足，本专利技术提出了一种基板曝边设备。本专利技术提出的基板曝边设备，包括用于承载基板的承载台，所述承载台包括外围的固定装置、设置在所述固定装置上用于承载基板的透明支撑部和被所述透明支撑部包围的中间支撑部，在基板的曝边制程中，所述透明支撑部能够使曝边光线穿过而不会形成反射光。曝边光线穿过透明支撑部、不形成反射光，就避免了反射光对基板的损伤，避免了由此产生的缺陷。本专利技术中的透明支撑部能够完全替代现有技术中的用于支撑基板周向边缘的支撑柱，也就不需要为了防止缺陷的产生而另外更换与基板接触面积较小的支撑柱，进一步节省了机台升级的成本。作为对透明支撑部的改进，所述透明支撑部的材料为玻璃。玻璃不仅具有良好的透光性，而且还具有很高的强度，保证了支撑的性能。作为对透明支撑部的改进，所述透明支撑部包括在基板法线方向上与基板重合的支撑区域和将所述支撑区域固定在所述固定装置上的固定区域，所述支撑区域的朝向基板的一侧与基板紧密贴合。支撑区域的朝向基板的一侧与基板紧密贴合使得支撑板与基板结合为一体，因此，曝边的光线在穿过基板的同时也穿过了透明支撑部，不会再产生反射光线。作为对透明支撑部的支撑区域的改进，所述支撑区域在基板的法线方向上的厚度均匀。厚度均匀的支撑区域，就限定了在支撑区域的背离基板的一侧不存在凸点，因此，当光线由靠近基板的一侧进入支撑区域并射入到背离基板的一侧时就不会产生由于凸点导致的散射，避免了光线反射回基板造成缺陷。作为对透明支撑部的固定区域的改进，所述固定区域在基板的法线方向上的厚度自所述支撑区域向所述固定装置方向逐渐增加。这样的固定区域具有更高的强度，能够更好地对支撑区域进行支撑，以便更好地支撑基板。作为对固定装置的进一步改进，所述固定装置包括固定台和设置在所述固定台与所述透明支撑部之间的高度调节机构，通过所述高度调节机构能够调节所述透明支撑部在沿基板法线方向上的高度。当基板被放置在机台上时，由位于基板的非边缘区域的中间支撑部和边缘区域的透明支撑部共同支撑，同时要保证基板的平整度。但由于中间支撑部和透明支撑部属于不同的组装过程，所以中间支撑部的支撑高度和透明支撑部的支撑高度之间会存在一定误差，为了防止此误差影响基板的平整度，可以通过该高度调节机构调整透明支撑部相对于中间支撑部的高度，从而使得透明支撑部的支撑高度与中间支撑部的支撑高度相匹配，保证基板的平整度。作为对中间支撑部的进一步改进，所述中间支撑部包括支撑柱，进一步包括真空吸盘。支撑柱用于对基板的中间区域形成支撑，真空吸盘协助固定基板。作为对承载台的进一步改进，在所述承载台的一侧上设置有供机械手将基板放置在承载台上的空缺区域。本专利技术提出的曝边设备，在基板的边缘区域支撑基板的透明支撑部透明，从而使得曝光光线穿过而不会形成反射光，避免了反射光对基板的损伤和由此产生的缺陷。尤其当透明支撑部的材料为玻璃时，不仅具有良好的透光性，而且还具有很高的强度，保证了支撑装置的性能。附图说明在下文中将基于实施例并参考附图来对本专利技术进行更详细的描述。其中：图1为现有技术中曝边设备的俯视结构示意图；图2为图1的左视示意图；图3为现有技术中曝边光线产生反射光的示意图；图4为本专利技术提出的曝边设备的俯视结构示意图；图5为图4中的A-A剖视示意图；图6为高度调节机构的结构示意图。在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。具体实施方式以下将结合附图对本专利技术的内容作出详细的说明，下文中的“上”“下”“左”“右”均为相对于图示方向，不应理解为对本专利技术的限制。如图4所示，为本专利技术的曝边设备的俯视示意图。曝边设备包括用于承载基板的承载台，承载台包括外围的固定装置30、设置在固定装置30上用于承载基板21的透明支撑部31和被透明支撑部31包围的中间支撑部212，中间支撑部212包括用于支撑基板21中间区域的支撑柱22和用于进一步固定基板21的真空吸盘23。透明支撑部31能够使曝边光线穿过而不会形成反射光，从而也就不会有反射光反射回基板21形成缺陷。优选地，透明支撑部31的材料为玻璃。选用玻璃作为透明支撑部31，不仅保证了其具有良好的透光性，而且玻璃的高强度保证了支撑的性能。如图5为承载台与基板21的配合结构示意图。为了保证透明支撑部31的性能，透明支撑部31包括在基板21法线方向上与基板21重合的支撑区域33和将支撑区域33固定在固定装置30上的固定区域34。曝边光线24穿过基板21后，通过支撑区域33的朝向基板21一侧的第一边线331进入透明支撑部31中。为了防止曝边光线24在第一边线331上产生反射，第一边线331与基板21的底部紧密贴合，这样，支撑区域33就与基板21合为一体，从而曝边光线24就能直接进入透明支撑部31而不会在第一边线331上产生反射。曝边光线24在透明支撑部31内部传输，经过支撑区域33的背离基板21一侧的第二边线332射出，为了防止在射出第二边线332时产生反射光线，支撑区域33在基板21的法线方向上的厚度均匀。厚度均匀的支撑区域33，就限定了在支撑区域33的背离基板21一侧的第二边线332上不存在凸点，因此，当光线射到第二边线332时，就不会产生由于凸点导致的散射，避免了光线反射回基板21造成缺陷。为了保证固定区域34对支撑区域33的支撑性能，优选地，固定区域34在基板21的法线方向上的厚度自支撑区域33向固定装置30方向逐渐增加。这种结构的固定区域34增大了其与固定台32的接触面积，使得其对支撑区域33具有良好的支撑性能。在一个优选的实施例中，固定装置30包括固定台32和设置在固定台32与透明支撑部31之间的高度调节机构40。优选地，高度调节机构40与透明支撑部31固定在一起。结合图6，在高度调节机构40上设置有沿基板法线方向延伸的长孔401，在固定台32上设置有与长孔401相匹配的螺纹孔403本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板曝边设备，其特征在于，包括用于承载基板的承载台，所述承载台包括外围的固定装置、设置在所述固定装置上用于承载基板的透明支撑部和被所述透明支撑部包围的中间支撑部，在基板的曝边制程中，所述透明支撑部能够使曝边光线穿过而不会形成反射光。

【技术特征摘要】
1.一种基板曝边设备，其特征在于，包括用于承载基板的承载台，所述承载台包括外围的固定装置、设置在所述固定装置上用于承载基板的透明支撑部和被所述透明支撑部包围的中间支撑部，在基板的曝边制程中，所述透明支撑部能够使曝边光线穿过而不会形成反射光。2.根据权利要求1所述的曝边设备，其特征在于，所述透明支撑部的材料为玻璃。3.根据权利要求2所述的曝边设备，其特征在于，所述透明支撑部包括在基板法线方向上与基板重合的支撑区域和将所述支撑区域固定在所述固定装置上的固定区域，所述支撑区域的朝向基板的一侧与基板紧密贴合。4.根据权利要求3所述的曝边设备，其特征在于，所述支撑区域在基板的法线方向上的厚...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚成波，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42