The invention discloses a drying system and a drying method for cleaning liquid on a mask plate. The drying system includes: drying chamber having first and second sidewalls relative; a plurality of first air knife is arranged in the first and second side walls, used for the mask after cleaning the hair drying; and separation device for mask in a plurality of first air knife hair dryer to dry cleaning after washing, the space intersection where the mask and the support bar is relatively far away from, in order to increase the space intersection where the mask and the support bar spacing, the space in the intersection of better air circulation, so as to realize the space intersection cleaning liquid region was also blown away. Avoid cleaning liquid residue mask.
【技术实现步骤摘要】
干燥系统和掩膜版上清洗液的干燥方法
本文涉及但不限于液晶显示技术,尤指一种干燥系统和一种掩膜版上清洗液的干燥方法。
技术介绍
精细金属掩膜模式,是通过蒸镀方式将蒸镀材料按照预定程序蒸镀到(低温多晶硅)背板上,利用高精度金属掩膜版上的图形,蒸镀红绿蓝有机物到规定位置上。在采用清洗液对掩膜版进行清洗后(掩膜版包括框架、支撑遮挡条和掩膜条,支撑遮挡条为非铁磁性材料,掩膜条为铁磁性材料,掩膜条和支撑遮挡条空间相交而形成空间相交区域,空间相交区域处的掩膜条和支撑遮挡条之间的距离较小,积存在空间相交区域处的清洗液在清洗时难以被清洗干净),目前干燥系统内的风刀为每侧设置两个(在两侧对称设置且每个风刀的出风量相同),在干燥的过程中风不能够完全地进入到掩膜条和支撑遮挡条的空间相交区域内,在干燥结束之后,在掩膜版上的掩膜条和支撑遮挡条的空间相交区域内仍然会残留清洗液,清洗液长期积累后就会变质和结晶,最终形成颗粒物,会影响蒸镀产品的品质。
技术实现思路
为了解决上述技术问题中的至少之一,本文提供了一种干燥系统,在清洗掩膜版时可完全地清洗掉空间相交区域内的清洗液,清洗液在进行清洗后不会在空间相交区域内积存,有效确保了掩膜版在后续应用于蒸镀时的蒸镀品质。为了达到本文目的,本专利技术提供了一种干燥系统,所述干燥系统包括:具有相对的第一侧壁和第二侧壁的干燥腔室;多个第一风刀,设置在所述第一侧壁和所述第二侧壁上,用于对清洗后的掩膜版进行吹风干燥;和分离装置,用于在所述多个第一风刀吹风干燥清洗后的掩膜版时,使空间相交区域处的掩膜条和支撑遮挡条相对远离、以增大空间相交区域处的掩膜条和支撑遮挡条的 ...
【技术保护点】
一种干燥系统,其特征在于,所述干燥系统包括:具有相对的第一侧壁和第二侧壁的干燥腔室;多个第一风刀,设置在所述第一侧壁和所述第二侧壁上,用于对清洗后的掩膜版进行吹风干燥;和分离装置,用于在所述多个第一风刀吹风干燥清洗后的掩膜版时,使空间相交区域处的掩膜条和支撑遮挡条相对远离、以增大空间相交区域处的掩膜条和支撑遮挡条的间距。
【技术特征摘要】
1.一种干燥系统,其特征在于,所述干燥系统包括:具有相对的第一侧壁和第二侧壁的干燥腔室;多个第一风刀,设置在所述第一侧壁和所述第二侧壁上,用于对清洗后的掩膜版进行吹风干燥;和分离装置,用于在所述多个第一风刀吹风干燥清洗后的掩膜版时,使空间相交区域处的掩膜条和支撑遮挡条相对远离、以增大空间相交区域处的掩膜条和支撑遮挡条的间距。2.根据权利要求1所述的干燥系统,其特征在于,所述分离装置包括磁吸附件。3.根据权利要求2所述的干燥系统,其特征在于,所述磁吸附件为磁铁或电磁铁。4.根据权利要求1所述的干燥系统,其特征在于,所述分离装置包括第二风刀,所述第二风刀对称设置在所述第一侧壁和所述第二侧壁上,且所述第一侧壁上的第二风刀和第二侧壁上的第二风刀的出风量不同。5.根据权利要求1所述的干燥系统,其特征在于,所述分离装置包括第二风刀,所述第二风刀错位设置在所述第一侧壁和所述第二侧壁上。6.根据权利要求5所述的干燥系统,其特征在于,所述第一侧壁上的第二风刀和所述第二侧壁上的第二风刀上下错位设置,且所述第一侧壁上的第二风刀和所述第二侧壁上的第二风刀的出风量相同。7.根据权利要求1至6中任一项所述的干燥系统,其特征在于,所述多个第一风刀包括上下间隔设置的多组,且任一组第一风刀的出风量均相同,所述分离装置设置在上下相邻的两组第一风刀之间。8.一种掩膜版上清洗液的干燥方法,其特征在于,在多个第一风刀吹风干燥清洗后的掩膜版时,通过分离...
【专利技术属性】
技术研发人员:林治明,王震,李宝军,尹志,黄俊杰,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。