弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够在不导致制造工序的复杂化以及成本的上升的情况下有效地抑制横模波动的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，其中，在高音速件上层叠有低音速膜、压电膜以及IDT电极，在IDT电极(3)中，在第1、第2电极指(13、14)中的至少一方中，与长度方向中央相比宽度方向尺寸被设得较大的宽宽度部(13a～13d、14a～14d)设置在与中央区域相比更靠近基端侧以及前端侧中的至少一侧，第1以及第2汇流条(11、12)中的至少一方具有沿着汇流条长度方向分散配置的多个开口部(15)，第1以及第2汇流条(11、12)中的至少一方具有：内侧汇流条部(11A)，位于与开口部(15)相比更靠近第1或者第2电极指(13、14)侧，且在第1以及第2汇流条(11、12)的长度方向上延伸；中央汇流条部(11B)，设置有开口部(15)；以及外侧汇流条部(11C)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术涉及用于谐振器、带通滤波器等的弹性波装置。
技术介绍
一直以来，作为谐振器、带通滤波器而广泛使用弹性波装置。在下述的专利文献1、专利文献2中，公开了在声表面波装置中通过形成活塞模式来抑制横模的寄生分量的构造。例如，在下述的专利文献1的图9、专利文献2的图4中，在IDT电极的电极指设置有宽宽度部分。通过设置该宽宽度部分，从而形成低音速区域。另一方面，在专利文献1的图12、专利文献2的图8(c)以及图9中，在IDT电极的一部分层叠有膜。更具体地，在IDT电极的电极指延伸的方向上，在与中央区域相比更靠近外侧的区域层叠有膜。由此构成低音速区域。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011-101350号公报专利文献2：WO2011/088904
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在电极指设置有宽宽度部的构造中，增大宽宽度部的宽度是有限的。即，如果宽度过大，则宽宽度部会与相邻的电极指接触，因此不能充分地降低低音速区域的音速。因此，难以可靠地抑制横模。此外，在层叠追加的膜的方法中，工序繁杂，且成本升高。本专利技术的目的在于，提供一种能够在不导致制造工序的复杂化以及成本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波装置，具有压电膜，所述弹性波装置具备：高音速件，与在所述压电膜中传播的弹性波的音速相比，传播的体波音速为高速；低音速膜，层叠在所述高音速件上，与在所述压电膜中传播的弹性波音速相比，传播的体波音速为低速；所述压电膜，层叠在所述低音速膜上；以及IDT电极，形成在所述压电膜的一个面，所述IDT电极具有：第1汇流条；第2汇流条，与所述第1汇流条隔开配置；多根第1电极指，基端与所述第1汇流条电连接，前端朝向所述第2汇流条延伸；以及多根第2电极指，基端与所述第2汇流条连接，前端朝向所述第1汇流条延伸，在将与所述第1电极指以及所述第2电极指延伸的方向正交的方向设为宽度方向时，在所述第1电极指以及所...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.11.28 JP 2014-2418101.一种弹性波装置，具有压电膜，所述弹性波装置具备：高音速件，与在所述压电膜中传播的弹性波的音速相比，传播的体波音速为高速；低音速膜，层叠在所述高音速件上，与在所述压电膜中传播的弹性波音速相比，传播的体波音速为低速；所述压电膜，层叠在所述低音速膜上；以及IDT电极，形成在所述压电膜的一个面，所述IDT电极具有：第1汇流条；第2汇流条，与所述第1汇流条隔开配置；多根第1电极指，基端与所述第1汇流条电连接，前端朝向所述第2汇流条延伸；以及多根第2电极指，基端与所述第2汇流条连接，前端朝向所述第1汇流条延伸，在将与所述第1电极指以及所述第2电极指延伸的方向正交的方向设为宽度方向时，在所述第1电极指以及所述第2电极指中的至少一方中，与所述第1电极指以及所述第2电极指的长度方向中央相比宽度方向尺寸被设得较大的宽宽度部设置在与中央区域相比更靠近所述基端侧以及所述前端侧中的至少一侧，所述第1汇流条以及所述第2汇流条中的至少一方具有沿着所述第1汇流条或所述第2汇流条的长度方向分离配置的多个开口部，所述第1汇流条以及所述第2汇流条具有：内侧汇流条部，位于与所述开口部相比更靠近所述第1电极指或所述第2电极指侧，且在所述第1汇流条以及所述第2汇流条的长度方向上延伸；中央汇流条部，设置有所述开口部；以及外侧汇流条部，相对于所述内侧汇流条部夹着所述中央汇流条部位于相反侧。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述内侧汇流条部具有在弹性波传播方向上延伸的带状的形状。3.根据权利要求1或2所述的弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩本英树，冈田圭司，高峰裕一，高井努，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP