弹性波装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术涉及利用声表面波(SAW：SurfaceAcousticWave)等弹性波的弹性波装置。
技术介绍
作为弹性波装置，例如，已知在压电基板上设置有对SAW进行激励的激励电极的SAW装置(例如专利文献1以及2)。激励电极由具有并列延伸的多个电极指的一对梳齿电极构成。在专利文献1以及2中，公开了一种SAW装置，为了提高激励电极的谐振特性，设置了与激励电极并联连接的电容元件。专利文献1以及2的电容元件由具有并列延伸的多个电极指的一对梳齿电极构成。在专利文献1中，为了降低电容元件处的SAW的反射波的影响，而使电容元件的电极指相对于激励电极的电极指进行了倾斜。在专利文献2中，为了通过在高频带中提高电容元件的Q值来降低SAW装置的损耗，而在从压电基板的主面向其上方离开的位置设置了电容元件。若如专利文献1那样，将电容元件设置在压电基板上，则电容元件也对弹性波进行激励而发生谐振。结果，弹性波装置的特性下降。此外，若如专利文献2那样，使电容元件离开压电基板，则必须通过与激励电极不同的导体层来构成电容元件，此外，因为导体层立体地配置，所以制造成本增大。因此，期望提...
【技术保护点】
一种弹性波装置，具有：压电基板；激励电极，其位于所述压电基板的主面；电容元件，其位于所述主面，并与所述激励电极连接；和绝缘体，其仅与所述激励电极以及所述电容元件之中的所述电容元件重叠。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.26 JP 2014-2653331.一种弹性波装置，具有：压电基板；激励电极，其位于所述压电基板的主面；电容元件，其位于所述主面，并与所述激励电极连接；和绝缘体，其仅与所述激励电极以及所述电容元件之中的所述电容元件重叠。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述绝缘体具有：框部，其包围所述激励电极，并且与所述电容元件重叠；和盖部，其堵塞所述框部的开口。3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，所述电容元件由具有并列延伸的多个电极指、且该多个电极指配置为彼此交叉的一对梳齿电极构成。4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，所述激励电极由具有并列延伸的多个电极指、且该多个电极指配置为彼此交叉的一对梳齿电极构成，所述电容元件的多个电极指相对于所述激励电极的多...
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