一种单晶炉连续加料的旋转阀制造技术

技术编号:16081216 阅读:57 留言:0更新日期:2017-08-25 16:09
本实用新型专利技术提出一种单晶炉连续加料的旋转阀,包括阀体,阀体中设有转轴,转轴向阀体外部伸出,其末端设有驱动杆,阀体两端分别具有进料口与出料口,阀体内设有阀板,转轴上具有支承件,阀板固定于支承件上;阀体外设有送料管,送料管一端与加料装置连通,其另一端伸入进料口,阀体上装设有密封波纹管,密封波纹管罩覆于送料管外部,密封波纹管底部具有定位环,定位环沿进料口边缘设置,并与阀体固定连接,密封波纹管顶部具有法兰环,法兰环内圈固定于送料管外壁;阀体上设有顶升气缸与导柱,顶升气缸的缸体固定于阀体外壁,其活塞杆与法兰环相接,导柱底端固定于阀体外壁,法兰环中具有滑孔,导柱从该滑孔中穿过。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉连续加料的旋转阀
本技术涉及单晶硅生产设备,尤其涉及一种单晶炉连续加料的旋转阀。
技术介绍
在单晶硅的拉制过程中,为达到产能的最大化,需要进行多次加料。外接加料装置都具备良好的密封性,为了确保真空无泄漏,当需要外部向炉内加料时,需要打开阀门,颗粒状的硅材料和粉尘会污染密封圈,导致关闭阀门时,真空密封不良,造成真空泄漏,炉内氧化,影响产品质量,甚至无法正常维持生产工艺而进行报废处理。因此,有必要对其进行改进,以克服上述缺陷。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种单晶炉连续加料的旋转阀,以避免加料过程对密封装置造成污染。本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是,一种单晶炉连续加料的旋转阀,包括阀体,其中:阀体中设有转轴,该转轴向阀体外部伸出,其末端设有驱动杆,阀体两端分别具有进料口与出料口,阀体内设有阀板,阀板的形状与出料口适配,转轴上具有支承件,阀板固定于该支承件上,转轴转动时可带动支承件与阀板移动,由阀板将出料口开启或关闭;阀体外设有送料管,该送料管一端与加料装置连通,其另一端伸入进料口,阀体上装设有密封波纹管,密封波纹管罩覆于送料管外部,密封波纹管底部具有定位环,定位环沿进料口边缘设置,并与阀体固定连接,密封波纹管顶部具有法兰环,法兰环内圈固定于送料管外壁;阀体上设有顶升气缸与导柱,顶升气缸的缸体固定于阀体外壁,其活塞杆与法兰环相接,导柱与送料管及顶升气缸的活塞杆相互平行,其底端固定于阀体外壁,法兰环中具有滑孔,导柱从该滑孔中穿过,由顶升气缸带动送料管沿导柱移动。阀体的横截面为圆形,转轴沿阀体的轴线设置,进料口及出料口位于轴线一侧。出料口内侧具有嵌槽,嵌槽内固定有密封圈。转轴与阀体连接处设有密封垫。出料口处设有接管,该接管向阀体外侧伸出,其末端具有定位环,定位环向接管外侧卷折。旋转阀接入加料系统中,阀板关闭状态时,阀板下部可处于真空状态,其真空度主要依靠密封圈和阀板无缝隙的紧密接触来实现;送料管的上部连接喂料系统,旋转阀的转轴与阀体上部的驱动杆相连,驱动杆可用手扳动或采用气缸推动,达到开启的位置;当阀体内的阀板以转轴为中心,移动至开启位置后,送料管的顶升气缸由高位变低位,送料管的下沿口移位至密封圈的下方,进行加料。本技术的优点在于,送料管在高位时,可以自由开关旋转阀,阻断真空环境与大气的通道,阀板打开后,送料管下探至密封圈下方,确保硅料经过的路径不会对密封面产生污染,加料结束后,送料管再回至高位,关闭阀门,可确保真空度。附图说明图1是本技术提出的单晶炉连续加料的旋转阀的结构示意图;图2是该旋转阀开启状态示意图。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合图示与具体实施例,进一步阐述本技术。如图1、图2所示,本技术提出的单晶炉连续加料的旋转阀,包括阀体1,阀体中设有转轴2,该转轴向阀体外部伸出,其末端设有驱动杆3,阀体两端分别具有进料口与出料口,阀体内设有阀板4,阀板的形状与出料口适配,转轴上具有支承件5,本实施例中,该支承件为圆形托盘,其边缘通过连接杆固定于转轴上,阀板固定于该支承件上,转轴转动时可带动支承件与阀板移动,由阀板将出料口开启或关闭;阀体外设有送料管6,该送料管一端与加料装置连通,其另一端伸入进料口,阀体上装设有密封波纹管7,密封波纹管罩覆于送料管外部,密封波纹管底部具有定位环,定位环沿进料口边缘设置,并与阀体固定连接,密封波纹管顶部具有法兰环8,法兰环内圈固定于送料管外壁;阀体上设有顶升气缸与导柱,顶升气缸的缸体10固定于阀体外壁,其活塞杆11与法兰环相接,导柱12与送料管及顶升气缸的活塞杆相互平行,其底端固定于阀体外壁,法兰环中具有滑孔,导柱从该滑孔中穿过,由顶升气缸带动送料管沿导柱移动。阀体的横截面为圆形,转轴沿阀体的轴线设置,进料口及出料口位于轴线一侧。出料口内侧具有嵌槽,嵌槽内固定有密封圈13。转轴与阀体连接处设有密封垫14。出料口处设有接管15,该接管向阀体外侧伸出,其末端具有定位环,定位环向接管外侧卷折。旋转阀接入加料系统中,阀板关闭状态时,阀板下部可处于真空状态,其真空度主要依靠密封圈和阀板无缝隙的紧密接触来实现;送料管的上部连接喂料系统,旋转阀的转轴与阀体上部的驱动杆相连,驱动杆可用手扳动或采用气缸推动,达到开启的位置;当阀体内的阀板以转轴为中心,移动至开启位置后,送料管的顶升气缸由高位变低位,送料管的下沿口移位至密封圈的下方,进行加料。以上实施方式只为说明本技术的技术构思及特点,其目的在于让本领域的技术人员了解本技术的内容并加以实施,并不能以此限制本技术的保护范围,凡根据本技术精神实质所做的等效变化或修饰,都应涵盖在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...
一种单晶炉连续加料的旋转阀

【技术保护点】
一种单晶炉连续加料的旋转阀,包括阀体,其特征在于:阀体中设有转轴,该转轴向阀体外部伸出,其末端设有驱动杆,阀体两端分别具有进料口与出料口,阀体内设有阀板,阀板的形状与出料口适配,转轴上具有支承件,阀板固定于该支承件上,转轴转动时可带动支承件与阀板移动,由阀板将出料口开启或关闭;阀体外设有送料管,该送料管一端与加料装置连通,其另一端伸入进料口,阀体上装设有密封波纹管,密封波纹管罩覆于送料管外部,密封波纹管底部具有定位环,定位环沿进料口边缘设置,并与阀体固定连接,密封波纹管顶部具有法兰环,法兰环内圈固定于送料管外壁;阀体上设有顶升气缸与导柱,顶升气缸的缸体固定于阀体外壁,其活塞杆与法兰环相接,导柱与送料管及顶升气缸的活塞杆相互平行,其底端固定于阀体外壁,法兰环中具有滑孔,导柱从该滑孔中穿过,由顶升气缸带动送料管沿导柱移动。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉连续加料的旋转阀,包括阀体,其特征在于:阀体中设有转轴,该转轴向阀体外部伸出,其末端设有驱动杆,阀体两端分别具有进料口与出料口,阀体内设有阀板,阀板的形状与出料口适配,转轴上具有支承件,阀板固定于该支承件上,转轴转动时可带动支承件与阀板移动,由阀板将出料口开启或关闭;阀体外设有送料管,该送料管一端与加料装置连通,其另一端伸入进料口,阀体上装设有密封波纹管,密封波纹管罩覆于送料管外部,密封波纹管底部具有定位环,定位环沿进料口边缘设置,并与阀体固定连接,密封波纹管顶部具有法兰环,法兰环内圈固定于送料管外壁;阀体上设有顶升气缸与导柱,顶升气缸的缸体固定于阀体外壁,其活塞杆与法兰环相接,导...

【专利技术属性】
技术研发人员:曾国伟乔晓东
申请(专利权)人:嘉兴耐进新材料有限公司
类型:新型
国别省市:浙江,33

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