单晶炉连续加料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种单晶炉连续加料装置，包括送料机构、接料机构，送料机构与接料机构之间通过转接机构连通，转接机构包括送料管，送料管一端伸入接料机构内，其另一端与送料机构连通，进料管中设有阀门，送料管外部设有密封波纹管，密封波纹管底端固定于接料机构的进料口处，其顶端固定于进料管外壁，可随送料管一同伸缩。送料管一侧设有丝杠，丝杠底端固定于接料机构上，丝杠与进料管相互平行，进料管上设有与丝杠配合的螺母，丝杆与驱动电机相连，由驱动电机带动进料管伸缩，进料管外侧还设有导柱，导柱与丝杠相互平行，进料管上具有与导柱配合的滑套。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉连续加料装置
本技术涉及单晶硅生产设备，尤其涉及一种单晶炉连续加料装置。
技术介绍
单晶硅的拉制，需要尽可能的多装料，使坩埚装料最大化，固态硅装入坩埚内，熔化成液态后还剩余不少空间，可以再进行加料，通常采用加料桶装好硅料，从付室吊装进入，然后抽真空充氩气，进行几次气体置换，尽量排除掉空气，再把加料桶下降至液面上方，打开桶底的闸门，硅料直接倾泻至已熔液态里，易造成溅硅和下料时速度块，一次下料量比较多，易砸伤石英坩埚，导致漏硅事故。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种单晶炉连续加料装置，以提高加料效率，提高完全性。本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是，单晶炉连续加料装置，包括送料机构、接料机构，送料机构与接料机构之间通过转接机构连通，其中：转接机构包括送料管，送料管一端伸入接料机构内，其另一端与送料机构连通，进料管中设有阀门，送料管外部设有密封波纹管，密封波纹管底端固定于接料机构的进料口处，其顶端固定于进料管外壁，可随送料管一同伸缩。送料管一侧设有丝杠，丝杠底端固定于接料机构上，丝杠与进料管相互平行，进料管上设有与丝杠配合的螺母，丝杆与驱动电机相连，由驱动电机带动进料管伸缩，进料管外侧还设有导柱，导柱与丝杠相互平行，进料管上具有与导柱配合的滑套。送料机构包括喂料罐，喂料罐侧壁具有出料管，喂料罐底部设有激振电机，喂料罐内壁具有轨道，由激振电机带动喂料罐振动，使硅料沿轨道移动至出料管，出料管与送料管之间通过连接软管连通。接料机构包括主室，主室中设有可容纳硅料的坩埚，坩埚外壁设有加热器，由加热器对坩埚内的硅料进行加热，主室内壁设有保温层。主室上方具有副室，副室内设有激光测距仪，激光测距仪指向坩埚，对坩埚内的硅料液位进行测定。进料口位于主室侧壁，送料管通过进料口伸入主室内，其底端指向坩埚，硅料通过送料管输入坩埚内。.喂料罐下方设有可横向移动的底盘，底盘上设有可竖向移动的升降杆，升降杆连接于喂料罐底部。本技术的优点在于，采用该加料装置进行加料时，不需要打开副室，预先在喂料罐内装好硅料，利用连接软管将出料管和送料管连通，抽取真空后，打开阀门，送料管通过滚珠丝杠机构伸入主室内，喂料器内的硅料通过送料管输送至炉内，调节激振电机的振动幅度，可以控制送料速度，并随时可以停止送料，加料过程中，利用激光探测仪探测液位，达到预定位置时，关闭激振电机，关闭阀门，喂料罐可以在其他单晶炉上继续作业。可提高加料效率，喂料罐可以储存硅料的数量要比加料桶多，可以实现一次加料的最大化。送料管输送的硅料速度相对均匀，不会过量过速损伤石英坩埚，减少漏硅风险。附图说明图1是本技术提出的单晶炉连续加料装置的结构示意图；图2是该加料装置的工作状态示意图。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合图示与具体实施例，进一步阐述本技术。如图1、图2所示，本技术提出的单晶炉连续加料装置包括送料机构、接料机构，送料机构与接料机构之间通过转接机构连通，转接机构包括送料管1，送料管一端伸入接料机构内，其另一端与送料机构连通，进料管中设有阀门2，送料管外部设有密封波纹管3，密封波纹管底端固定于接料机构的进料口处，其顶端固定于进料管外壁，可随送料管一同伸缩。送料管一侧设有丝杠4，丝杠底端固定于接料机构上，丝杠与进料管相互平行，进料管上设有与丝杠配合的螺母，丝杆与驱动电机相连，由驱动电机带动进料管伸缩，进料管外侧还设有导柱5，导柱与丝杠相互平行，进料管上具有与导柱配合的滑套。送料机构包括喂料罐6，喂料罐侧壁具有出料管7，喂料罐底部设有激振电机8，喂料罐内壁具有轨道，由激振电机带动喂料罐振动，使硅料沿轨道移动至出料管，出料管与送料管之间通过连接软管9连通。接料机构包括主室10，主室中设有可容纳硅料的坩埚11，坩埚外壁设有加热器12，由加热器对坩埚内的硅料进行加热，主室内壁设有保温层13。主室上方具有副室14，副室内设有激光测距仪15，激光测距仪指向坩埚，对坩埚内的硅料液位进行测定。进料口位于主室侧壁，送料管通过进料口伸入主室内，其底端指向坩埚，硅料通过送料管输入坩埚内。喂料罐下方设有可横向移动的底盘16，底盘上设有可竖向移动的升降杆17，升降杆连接于喂料罐底部。其中未详述的部件连接均为连接件连接、焊接、一体成型等现有连接形式。采用该加料装置进行加料时，不需要打开副室，预先在喂料罐内装好硅料，利用连接软管将出料管和送料管连通，抽取真空后，打开阀门，送料管通过滚珠丝杠机构伸入主室内，喂料器内的硅料通过送料管输送至炉内，调节激振电机的振动幅度，可以控制送料速度，并随时可以停止送料，加料过程中，利用激光探测仪探测液位，达到预定位置时，关闭激振电机，关闭阀门，喂料罐可以在其他单晶炉上继续作业。可提高加料效率，喂料罐可以储存硅料的数量要比加料桶多，可以实现一次加料的最大化。送料管输送的硅料速度相对均匀，不会过量过速损伤石英坩埚，减少漏硅风险。以上实施方式只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让本领域的技术人员了解本技术的内容并加以实施，并不能以此限制本技术的保护范围，凡根据本技术精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.单晶炉连续加料装置，包括送料机构、接料机构，送料机构与接料机构之间通过转接机构连通，其特征在于：转接机构包括送料管，送料管一端伸入接料机构内，其另一端与送料机构连通，进料管中设有阀门，送料管外部设有密封波纹管，密封波纹管底端固定于接料机构的进料口处，其顶端固定于进料管外壁，可随送料管一同伸缩；送料管一侧设有丝杠，丝杠底端固定于接料机构上，丝杠与进料管相互平行，进料管上设有与丝杠配合的螺母，丝杆与驱动电机相连，由驱动电机带动进料管伸缩，进料管外侧还设有导柱，导柱与丝杠相互平行，进料管上具有与导柱配合的滑套；送料机构包括喂料罐，喂料罐侧壁具有出料管，喂料罐底部设有激振电机，喂料罐内壁具有轨道，由激振电机带动喂料罐振动，使硅料沿轨道移动至出料管，出料管与送料管之间通过连接软管连通；接料机构包括主室，主室中设有可容纳硅料的坩埚，坩埚外壁设有加热器，由加热器对坩埚内的硅料进行加热，主室内壁设有保温层。

【技术特征摘要】
1.单晶炉连续加料装置，包括送料机构、接料机构，送料机构与接料机构之间通过转接机构连通，其特征在于：转接机构包括送料管，送料管一端伸入接料机构内，其另一端与送料机构连通，进料管中设有阀门，送料管外部设有密封波纹管，密封波纹管底端固定于接料机构的进料口处，其顶端固定于进料管外壁，可随送料管一同伸缩；送料管一侧设有丝杠，丝杠底端固定于接料机构上，丝杠与进料管相互平行，进料管上设有与丝杠配合的螺母，丝杆与驱动电机相连，由驱动电机带动进料管伸缩，进料管外侧还设有导柱，导柱与丝杠相互平行，进料管上具有与导柱配合的滑套；送料机构包括喂料罐，喂料罐侧壁具有出料管，喂料罐底部设有激振电机，喂料罐内壁具有轨道，由激振电机带动喂料...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾国伟，乔晓东，
申请(专利权)人：嘉兴耐进新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33