The present invention relates to a feed assembly for feeding polycrystalline silicon to a growth chamber of a melt growing ingot. An exemplary system includes a housing, which has a supporting track for accepting a particle tray and a block tray, and a feed reservoir located above the supporting track to selectively feed one of the particle pallets and the block pallets. A valve mechanism and a pulse vibrator are also disclosed.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于在晶体生长室中选择性进给块状多晶硅或粒状多晶硅的系统对相关申请的交叉引用本申请要求2015年8月20日提交的美国临时专利申请系列号No.62/207,773的优先权,该申请的公开内容整体结合于此作为参考。
本公开总体上涉及使用直拉方法的半导体晶体生长,更具体地涉及向坩埚熔体供给诸如块状或粒状多晶硅的库存材料。
技术介绍
在通过连续直拉方法生长的硅晶体的制造中,首先在晶体提拉装置的坩埚内熔化多晶硅以形成硅熔体。然后将籽晶降低到熔体内并缓慢地将籽晶提出熔体。随着从熔体连续地生长籽晶,将固体多晶硅例如粒状多晶硅添加到熔体内以补充熔体。通常,控制添加到熔体内的附加的固体多晶硅的进给速率以维持工艺参数。在通过批量直拉方法生长的硅晶体的制造中,固体多晶硅例如块状多晶硅不是在生长籽晶时向熔体内添加,而是在相继的生长过程之间添加。控制附加的多晶硅的进给速率以维持工艺参数。添加到坩埚熔体内的固体多晶硅通常为粒状多晶硅,并且使用针对供粒状多晶硅使用进行了优化的多晶硅进给器将它进给到坩埚内。在一些情况下,添加到坩埚熔体内的固体多晶硅是块状多晶硅。块状多晶硅具有比粒状多晶硅更大的尺寸(例如,在至少一个维度上)。使用针对供块状多晶硅使用进行了优化的多晶硅进给器将块状多晶硅进给到坩埚内。需要用于进给块状或粒状多晶硅的更合意的设备和方法。此
技术介绍
部分旨在向读者介绍可能与下文中描述和/或要求权利的本公开的各个方面有关的技术的各个方面。相信此讨论对于提供给读者背景信息以利于更好地理解本公开的各个方面是有帮助的。因此应该理解,应在这种意义上阅读这些内容,而不是作为对现有技术的承认。专利 ...
【技术保护点】
1.一种用于向用于由熔体生长单晶锭的生长室供给多晶硅的进给组件,该系统包括:壳体,该壳体具有用于接纳颗粒托盘和块体托盘中的一者的支承轨道;和进料储器,该进料储器位于所述支承轨道上方以选择性地进给所述颗粒托盘和所述块体托盘中的一者。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.20 US 62/207,7731.一种用于向用于由熔体生长单晶锭的生长室供给多晶硅的进给组件,该系统包括:壳体,该壳体具有用于接纳颗粒托盘和块体托盘中的一者的支承轨道;和进料储器,该进料储器位于所述支承轨道上方以选择性地进给所述颗粒托盘和所述块体托盘中的一者。2.根据权利要求1所述的进给组件,其中,所述颗粒托盘具有第一内部轮廓,并且所述块体托盘具有第二内部轮廓,其中所述第二内部轮廓具有比所述第一内部轮廓更大的深度。3.根据权利要求1所述的进给组件,其中,所述颗粒托盘和所述块体托盘包括具有相同尺寸并与所述支承轨道接合的外部通道。4.根据权利要求1所述的进给组件,还包括:磁脉冲振动器,所述磁脉冲振动器通过发射电磁能量使所述颗粒托盘和所述块体托盘中的一者振动;和控制器,所述控制器通过控制供给到所述磁脉冲振动器的电压来控制所述颗粒托盘和所述块体托盘中的一者的进给速率。5.根据权利要求4所述的进给组件,其中,所述控制器经由所述磁脉冲振动器使所述块体托盘以第一频率振动,并且经由所述磁脉冲振动器使所述颗粒托盘以高于所述第一频率的第二频率振动。6.根据权利要求1所述的进给组件,还包括用于控制多晶硅从所述颗粒托盘的流动的阀机构。7.根据权利要求6所述的进给组件,其中,所述阀机构包括:密封件,所述密封件选择性地闭塞所述颗粒托盘的出口;驱动器,所述驱动器构造成在闭塞所述出口的密封位置与所述密封件不闭塞所述出口的开启位置之间升起和降下所述密封件;和联动装置,所述联动装置将所述密封件与所述驱动器连接,其中,所述密封件成形为容许在所述颗粒托盘的出口的一部分之间的间隙,使得所述出口内的粒状多晶硅不会阻碍所述密封件与所述出口之间的密封。8.根据权利要求7所述的进给组件,其中:所述出口包括开口;并且所述密封件包括:用以与所述出口的开口接合的半径,并且具有与所述出口的开口对应的斜度;和第二部分,所述第二部分具有小于所述出口的开口的半径,并且在所述密封件处于密封位置时至少部分地位于所述出口的开口内,其中,所述第二部分的半径与所述出口的开口的半径之差限定所述间隙。9.根据权利要求1所述的进给组件,还包括管,所述管定位成向所述生长室供给离开可互换粒状多晶硅托盘和可互换块状多晶硅托盘中的一者的多晶硅。10.一种用于控制多晶硅从多晶硅进给组件的颗粒托盘向用于由熔体生长晶锭的生长室的流动的阀机构,所述阀机构包括:密封件,所述密封件选择性地闭塞所述颗粒托盘的出口;驱动器,所述驱动器构造成在闭塞所述出口的密封位置与所述密封件不...
【专利技术属性】
技术研发人员:S·M·尹,S·S·朴,J·H·智,WJ·崔,U·郑,Y·J·李,T·S·具,SJ·金,
申请(专利权)人:太阳能爱迪生半导体有限公司,达维克国际有限公司,
类型:发明
国别省市:新加坡,SG
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