【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜传动装置
:本技术涉及一种传动装置,特别涉及一种真空镀膜传动装置。
技术介绍
:近年来,真空技术在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景,而诸如物理气相沉积、化学气相沉积和等离子体表面处理等技术更是在国民经济的各个领域中得到广泛的应用;随着真空技术的不断发展,尤其是各种诸如硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等功能膜的出现,为了保证真空室内的工件在加工过程中的均一性和可操作性,对工件的回转都有较高的要求,通常要求有公转和自转或者只要公转。
技术实现思路
:本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种真空镀膜传动装置,解决了
技术介绍
中提到的问题。为了解决上述问题,本技术提供了一种技术方案:一种真空镀膜传动装置,包括真空室壁,其创新点在于:还包括螺钉、固定套、传动轴、从动带轮、弹簧、皮带、主动带轮、电机、减速箱、自转轴、自转齿轮、固定件、工件盘、活动齿轮、连接轴、从动齿轮、拉杆、卡盘、固定齿轮和公转盘;所述固定套通过螺钉固定连接在真空室壁中;所述传动轴活动连接在固定套内部;所述从动带轮固定连接在传动轴顶端,所述从动带轮通过皮带与主动带轮相连接;所述主动带轮固定连接在减速箱上侧输出轴上;所述减速箱固定连接在真空室壁上面,所述减速箱右上侧输入轴与电机下侧输出轴固定连接;所述公转盘中心固定连接在传动轴底端上,所述公转盘外侧活动连接有数个自转轴;所述自转轴下侧通过固定件固定连接有自转齿轮,所述自转轴底端均固定连接有工件盘;所述自转齿轮分别与活动齿轮相连接;所述活动齿轮活动连接在连接轴下侧;所述连接轴分别位于自转轴内侧对应的位置,所述连接轴活动连接在 ...
【技术保护点】
一种真空镀膜传动装置,包括真空室壁(1),其特征在于:还包括螺钉(2)、固定套(3)、传动轴(4)、从动带轮(5)、弹簧(6)、皮带(7)、主动带轮(8)、电机(9)、减速箱(10)、自转轴(11)、自转齿轮(12)、固定件(13)、工件盘(14)、活动齿轮(15)、连接轴(16)、从动齿轮(17)、拉杆(18)、卡盘(19)、固定齿轮(20)和公转盘(21);所述固定套(3)通过螺钉(2)固定连接在真空室壁(1)中;所述传动轴(4)活动连接在固定套(3)内部;所述从动带轮(5)固定连接在传动轴(4)顶端,所述从动带轮(5)通过皮带(7)与主动带轮(8)相连接;所述主动带轮(8)固定连接在减速箱(10)上侧输出轴上;所述减速箱(10)固定连接在真空室壁(1)上面,所述减速箱(10)右上侧输入轴与电机(9)下侧输出轴固定连接;所述公转盘(21)中心固定连接在传动轴(4)底端上,所述公转盘(21)外侧活动连接有数个自转轴(11);所述自转轴(11)下侧通过固定件(13)固定连接有自转齿轮(12),所述自转轴(11)底端均固定连接有工件盘(14);所述自转齿轮(12)分别与活动齿轮(15)相 ...
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜传动装置,包括真空室壁(1),其特征在于:还包括螺钉(2)、固定套(3)、传动轴(4)、从动带轮(5)、弹簧(6)、皮带(7)、主动带轮(8)、电机(9)、减速箱(10)、自转轴(11)、自转齿轮(12)、固定件(13)、工件盘(14)、活动齿轮(15)、连接轴(16)、从动齿轮(17)、拉杆(18)、卡盘(19)、固定齿轮(20)和公转盘(21);所述固定套(3)通过螺钉(2)固定连接在真空室壁(1)中;所述传动轴(4)活动连接在固定套(3)内部;所述从动带轮(5)固定连接在传动轴(4)顶端,所述从动带轮(5)通过皮带(7)与主动带轮(8)相连接;所述主动带轮(8)固定连接在减速箱(10)上侧输出轴上;所述减速箱(10)固定连接在真空室壁(1)上面,所述减速箱(10)右上侧输入轴与电机(9)下侧输出轴固定连接;所述公转盘(21)中心固定连接在传动轴(4)底端上,所述公转盘(21)外侧活动连接有数个自转轴(11);所述自转轴(11)下侧通过固定件(13)固定连接有自转齿轮(12),所述自...
【专利技术属性】
技术研发人员:付杰平,
申请(专利权)人:东莞市亮鑫五金加工有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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