一种减压干燥装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种减压干燥装置及方法，采用步进式腔室、分段减压方式对表面涂覆有光刻胶或绝缘树脂等材料的基板进行真空减压干燥。干燥装置采用隔板将干燥腔室分为至少两个子腔室，每个子腔室可实现单独控制待干燥基板的减压速度和传送速度，从而可以根据待干燥基板表面所涂覆材料的类型、以及不同的膜厚，对减压干燥工艺进行精确控制，获得均匀的减压干燥效果。另外，本发明专利技术提供一种减压干燥装置，待干燥基板在传送装置上处于运动状态，避免因待干燥基板和支撑销接触位置固定而导致的不良。

Decompression drying device and method

The invention provides a vacuum drying device and a method thereof, wherein, a step vacuum chamber and a sectional decompression mode are applied to vacuum drying the substrate coated with a photoresist or an insulating resin. The drying device separates the drying chamber is divided into at least two sub chambers, each sub chamber can achieve decompression speed and transmission speed control separately to dry the substrate, which can be based on the type and substrate surface drying coating materials and different film thickness, the precise control of the vacuum drying process dry, vacuum drying effect was uniform the. In addition, the present invention provides a vacuum drying device, where the drying substrate is in a state of movement on the conveying device and avoids the disadvantage caused by the fixing of the contact position of the drying substrate and the support pin.

【技术实现步骤摘要】
一种减压干燥装置及方法
本专利技术总体上涉及一种减压干燥装置及方法，尤其涉及一种显示器件用基板的减压干燥装置及方法。
技术介绍
在常规的显示用基板干燥工序中，通常利用的减压干燥装置，先将涂覆有光刻胶、绝缘树脂等材料的基板传送入干燥装置腔室，接着关闭腔室入口，通过抽气泵将整个腔室内的气体同时排出，腔室内部迅速减压，以使基板上光刻胶、绝缘树脂等材料中的溶剂(稀释剂)成分蒸发，达到干燥的目的。现有的减压干燥技术中，通常存在着被干燥物干燥不均的问题。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题针对上述缺陷，本专利技术的实施例提供一种减压干燥装置及方法，用来解决现有技术膜层干燥不均匀的技术问题。在至少一个实施例中，解决干燥过程中，因待干燥基板与支撑销长时间接触而出现转印痕迹等不良技术问题。(二)技术方案为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：一种减压干燥装置，包括：减压腔室，被配置为容置待干燥物；传送装置，至少部分设置于所述减压腔室内，被配置为传送所述待干燥物，并控制所述待干燥物在所述减压腔室内的传送速度；至少一个隔板,设置于所述减压腔室内，被配置为将所述减压腔室划分为至少两个子腔室；减压系统，与所述减压腔室气连通，被配置为控制至少一个所述子腔室内的减压速度。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压装置中，所述减压系统包括抽气部和开关阀；其中，所述抽气部与所述减压腔室气连通，被配置为对所述减压腔室进行排气减压；所述开关阀的开口角度可控制，被配置为调控至少一个所述抽气部的排气速度。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压装置中，所述抽气部与所述开关阀一一对应设置，单个所述开关阀的开口角度可单独控制。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压装置中，其特征在于，单个所述子腔室与至少一个所述抽气部气连通，通过调控与所述抽气部一一对应设置的所述开关阀的开口角度，用于调控单个所述子腔室内的减压速度。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压装置中，所述传送装置包括：传送辊，设置于所述腔室内；传送滚轮，设置在所述传送辊上，被配置为在所述减压腔室内传送所述待干燥物。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压装置中，至少一个所述子腔室内的所述传送辊的转速可单独控制。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压装置中，所述装置还包括至少一个隔板控制部，设置于所述减压腔室外，被配置为驱动所述隔板移动，以形成至少两个密闭子腔室。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压装置中，所述传送装置上还设置有位置传感器，被配置为监测所述待干燥物的位置信号，并向所述隔板控制部传送所述位置信号，所述隔板控制部通过所述位置信号判断所述待干燥物位置，并判断是否驱动隔板移动以形成所述密闭子腔室。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压装置中，所述至少一个所述子腔室内还设置有干燥度检测传感器，被配置为监测所述待干燥物的干燥度，并向所述传送装置传送所述干燥度信号，通过所述干燥度信号判断是否调控所述传送装置的转速。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压装置中，所述装置还包括供气系统，设置于所述减压腔室外，所述供气系统包括至少两个供气部，所述供气部与所述腔室气连通，被配置为向所述减压腔室供气提升所述减压腔室气压。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压装置中，单个所述供气部与单个所述子腔室一一对应设置。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压装置中，至少一个所述子腔室内的所述供气部与所述抽气部一一对应设置。本专利技术至少一个实施例还提供一种减压干燥方法，所述方法包括：将待干燥物置于所述减压腔室内；通过控制至少一个所述子腔室内的所述传送装置的传送速度和所述减压系统的减压速度对所述待干燥物进行减压干燥。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压方法中，所述控制至少一个所述子腔室内的所述传送装置的传送速度和所述减压系统的减压速度，通过控制与所述抽气部一一对应设置的所述开关阀的开口角度，控制单个所述子腔室内的减压速度。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压方法中，所述控制至少一个所述子腔室内的所述传送装置的传送速度，通过控制至少一个所述子腔室内的所述传送辊的转速，控制单个所述子腔室内的所述待干燥物的水平运动速度。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压方法中，所述方法还包括：通过所述位置传感器监测的所述待干燥物的位置信号，向所述隔板控制部传送所述位置信号，所述隔板控制部通过所述位置信号判断所述待干燥物位置，并判断是否驱动隔板移动以形成所述密闭子腔室。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压方法中，所述方法还包括：通过至少一个所述子腔室内的所述干燥度检测传感器监测的所述待干燥物的干燥度，向所述传送装置传送所述干燥度信号，通过所述干燥度信号判断是否调控所述传送装置的转速，用以调控所述待干燥物在所述子腔室内的水平传送速度。可选地，在本专利技术一实施例提供的减压方法中，所述方法还包括：通过至少一个所述子腔室内一一对应设置的所述供气部与所述抽气部同时向所述子腔室供气和抽气，用于精确控制单个所述子腔室内的气压。(三)有益效果本专利技术提供一种减压干燥装置及方法，采用步进式腔室、分段减压方式对表面涂覆有光刻胶或绝缘树脂等材料的基板进行真空减压干燥。干燥装置采用隔板将干燥腔室分为至少两个子腔室，每个子腔室可实现单独控制待干燥基板的减压速度和传送速度，从而可以根据待干燥基板表面所涂覆材料的类型、以及不同的膜厚，对减压干燥工艺进行精确控制，获得均匀的减压干燥效果。另外，本专利技术提供一种减压干燥装置，待干燥基板在传送装置上处于运动状态，避免因待干燥基板和支撑销接触位置固定而导致的不良。附图说明图1为本专利技术提供的一实施例减压干燥装置剖面示意图；图2为本专利技术提供的一实施例减压干燥装置传送滚轮设置俯视示意图；图3为本专利技术提供的另一实施例减压干燥装置剖面示意图；图4为本专利技术提供的一实施例隔板控制部驱动隔板移动的方法流程图；附图标记说明：10腔室；11入口；12出口；20支撑辊；21支撑辊滚轮；22传送滚轮；23隔板；24传送辊；25：控制部；30排气系统；31排气管路；32a～32f开闭阀；33a～33f抽气部；34真空排气装置；40供气系统；41供气管路；42a～42c供气部；43气源。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“表面”、“端部”、“顶部”、“下部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。如图1所示，本专利技术实施例提供的减压干燥装置，包括：减压腔室10，被配置为容置待干燥物；减压腔室10设置有用于待干燥物出入的入口11和出口12；传送装置，设置于减压腔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种减压干燥装置，其特征在于，所述装置包括：减压腔室，被配置为容置待干燥物；传送装置，至少部分设置于所述减压腔室内，被配置为传送所述待干燥物，并控制所述待干燥物在所述减压腔室内的传送速度；至少一个隔板,设置于所述减压腔室内，被配置为将所述减压腔室划分为至少两个子腔室；减压系统，与所述减压腔室气连通，被配置为控制至少一个所述子腔室内的减压速度。

【技术特征摘要】
1.一种减压干燥装置，其特征在于，所述装置包括：减压腔室，被配置为容置待干燥物；传送装置，至少部分设置于所述减压腔室内，被配置为传送所述待干燥物，并控制所述待干燥物在所述减压腔室内的传送速度；至少一个隔板,设置于所述减压腔室内，被配置为将所述减压腔室划分为至少两个子腔室；减压系统，与所述减压腔室气连通，被配置为控制至少一个所述子腔室内的减压速度。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述减压系统包括抽气部和开关阀；其中，所述抽气部与所述减压腔室气连通，被配置为对所述减压腔室进行排气减压；所述开关阀的开口角度可控制，被配置为调控至少一个所述抽气部的排气速度。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述抽气部与所述开关阀一一对应设置，单个所述开关阀的开口角度可单独控制。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，单个所述子腔室与至少一个所述抽气部气连通，通过调控与所述抽气部一一对应设置的所述开关阀的开口角度，用于调控单个所述子腔室内的减压速度。5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述传送装置包括：传送辊，设置于所述减压腔室内；传送滚轮，设置在所述传送辊上，被配置为在所述减压腔室内传送所述待干燥物。6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，至少一个所述子腔室内的所述传送辊的转速可单独控制。7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括至少一个隔板控制部，设置于所述减压腔室外，被配置为驱动所述隔板移动，以形成至少两个密闭子腔室。8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述传送装置上还设置有位置传感器，被配置为监测所述待干燥物的位置信号，并向所述隔板控制部传送所述位置信号，所述隔板控制部通过所述位置信号判断所述待干燥物位置，并判断是否驱动隔板移动以形成所述密闭子腔室。9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述至少一个所述子腔室内还设置有干燥度检测传感器，被配置为监测所述待干燥物的干燥度，并向所述传送装置传送所述干燥度信号，通过所述干燥度信号判断是否调控所述传送装置的转速。...

【专利技术属性】
技术研发人员：党宁，刘文渠，张锋，吕志军，董立文，张世政，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11