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本发明提供一种减压干燥装置及方法，采用步进式腔室、分段减压方式对表面涂覆有光刻胶或绝缘树脂等材料的基板进行真空减压干燥。干燥装置采用隔板将干燥腔室分为至少两个子腔室，每个子腔室可实现单独控制待干燥基板的减压速度和传送速度，从而可以根据待干燥...
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