用于X射线检测器的阵列基板以及包括其的X射线检测器制造技术

本公开涉及用于X射线检测器的阵列基板以及包括其的X射线检测器。阵列基板限定为有源区和焊盘区，其中焊盘区包括：基板，该基板包括第一区和从第一区延伸的第二区；以及接触基板的上表面并且从第一区朝向第二区延伸的多条数据线，多条数据线的相邻数据线彼此间隔开，基板的上表面在基板的第一区中的相邻数据线之间的区域露出；以及在基板与基板的第二区中的数据线之间设置有第一绝缘膜，从而防止切割期间由于数据线与有机层之间的团聚而导致相邻数据线之间的短路。

【技术实现步骤摘要】
用于X射线检测器的阵列基板以及包括其的X射线检测器
本公开涉及用于X射线检测器的阵列基板以及包括该阵列基板的X射线检测器，更具体地，涉及用于防止在切割工艺期间由于信号线和有机层的团聚而在相邻信号线之间造成的短路的用于X射线检测器的阵列基板以及包括该阵列基板的X射线检测器。
技术介绍
已广泛地用于医疗诊断的X射线检测方法需要X射线感测胶片和胶片打印时间以获得结果。然而，近来，由于半导体技术的发展，已经研究和开发了使用薄膜晶体管(TFT)的数字X射线检测器。数字X射线检测器通过利用TFT作为开关装置有利地在拍摄X射线之后立即实时地诊断结果。通常，在数字X射线检测器中使用两种不同类型：直接型DXD方法和间接型DXD方法。直接型DXD方法通过由TFT的像素电极从硒层接收的尽可能多的电荷来检测电流，并且使用包括堆叠在TFT阵列基板上的非晶Se层以及在非晶Se层上形成的透明电极的结构来执行信号处理工序。间接型DXD方法通过PIN二极管将可见射线转换成电信号，并且当通过闪烁体将X射线转换成可见射线时执行一系列信号处理工序。为了提高X射线检测器的品质，必须进行阵列测试。在这方面，阵列测试是在完成TF本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于X射线检测器的阵列基板，所述阵列基板具有焊盘区和有源区，所述焊盘区包括：基板，所述基板具有第一区和从所述第一区延伸的第二区；接触所述基板的上表面并且从所述第一区朝向所述第二区延伸的多条数据线，其中所述多条数据线的相邻数据线彼此间隔开，所述基板的所述上表面的一部分在所述第一区中的所述相邻数据线之间露出；以及设置在所述第二区中的所述数据线与所述基板之间的第一绝缘膜。

【技术特征摘要】
2015.12.31 KR 10-2015-01914941.一种用于X射线检测器的阵列基板，所述阵列基板具有焊盘区和有源区，所述焊盘区包括：基板，所述基板具有第一区和从所述第一区延伸的第二区；接触所述基板的上表面并且从所述第一区朝向所述第二区延伸的多条数据线，其中所述多条数据线的相邻数据线彼此间隔开，所述基板的所述上表面的一部分在所述第一区中的所述相邻数据线之间露出；以及设置在所述第二区中的所述数据线与所述基板之间的第一绝缘膜。2.根据权利要求1所述的阵列基板，还包括：设置在所述基板的所述第二区中的所述数据线上的第二绝缘膜。3.根据权利要求1所述的阵列基板，其中所述第一绝缘膜包括多个绝缘层。4.根据权利要求1所述的阵列基板，其中所述数据线的上表面在所述基板的所述第一区中露出。5.根据权利要求1所述的阵列基板，其中在所述第一区中的所述数据线未被绝缘层覆盖。6.根据权利要求1所述的阵列基板，其中所述基板的所述上表面在所述第一区中被所述数据线覆盖。7.根据权利要求1所述的阵列基板，其中所述基板的所述上表面在所述第一区中露出。8.根据权利要求1所述的阵列基板，其中在所述第一区中的所述数据线具有从所述基板到所述数据线的上表面的垂直高度，所述垂直高度与所述第二区域中的所述数据线的垂直高度不同。9.根据权利要求2所述的阵列基板，其中所述第二绝缘膜的底表面接触设置在所述基板的所述第二区中的所述相邻数据线之间的所述第一绝缘膜的上表面。10.一种用于X射线检测器的阵列基板的焊盘部，包括：彼此相邻并且限定在基板中的第一区和第二区，其中所述第一区是在所述阵列基板上完成阵列测试之后执行基板切割工艺的区域；在所述基板上并且从所述第一区延伸至所述第二区的多条数...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹载皓，姜汶秀，李在光，朴时亨，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR