一种PECVD镀膜方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种PECVD镀膜方法，在工艺气体进入PECVD装置的腔体之前，对工艺气体进行预热。本发明专利技术还相应公开了一种PECVD装置，包括腔体，所述腔体上设置有进气口和出气口，所述腔体的进气口前端设置有用于对工艺气体进行预热的预热组件。本发明专利技术的PECVD镀膜方法及装置均具有提高镀膜均匀性等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种PECVD镀膜方法及装置
本专利技术主要涉及等离子体
，特指一种PECVD镀膜方法及装置。
技术介绍
PECVD装置是太阳能电池片生产过程中用于镀减反射膜的设备，减反射膜能有效提高电池片的效率，一批电池片如果片间膜厚的均匀性不好，就会影响这批电池片的整体效率，所以控制好电池片膜厚的片间均匀性很重要，同一个石墨舟中电池片膜厚的均匀性受石英管中压力场，温度场，气体流量等均匀性的影响，而其中温度场的均匀性是最难控制的，它受外部环境、工艺气体温度、炉体加热炉丝的加热强度影响。做工艺时，工艺气体一直是流动的，从石英管口进入，流过石英管发生化学反应，然后被真空泵抽走；由于工艺气体进入石英管前温度比石英管内部温度低，所以工艺气体进入石英管后必然影响石英管内的温度，导致整个温度场的不均匀。现有的技术是通过提高石英管管口处的炉体炉丝的加热强度，也就是提高炉丝的加热电流，使工艺气体在经过炉口处吸收更多的热量来使气体迅速升温，从而尽量减小工艺气体对整个石英管温度场的影响。但这种方法有两个显著的缺点：1、炉口（石英管口）处加热炉丝的电流过高，导致在工艺过程中石英管口处温度比石英管其他部位温度稍高，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种PECVD镀膜方法，其特征在于，在工艺气体进入PECVD装置的腔体（1）之前，对工艺气体进行预热。

【技术特征摘要】
1.一种PECVD镀膜方法，其特征在于，在工艺气体进入PECVD装置的腔体（1）之前，对工艺气体进行预热。2.根据权利要求1所述的PECVD镀膜方法，其特征在于，将工艺气体预热至与腔体（1）内的温度一致。3.一种PECVD装置，包括腔体（1），所述腔体（1）上设置有进气口（11）和出气口（12），其特征在于，所述腔体（1）的进气口（11）前端设置有用于对工艺气体进行预热的预热组件（2）。4.根据权利要求3所述的PECVD装置，其特征在于，所述腔体（1）的进气口（11）前端设置有流量计（3），所述预热组件（2）安装于所述流量计（3）与腔体（1）的进气口（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖洁，谢振勇，吴得轶，李斌，符慧能，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南,43