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本发明公开了一种PECVD镀膜方法，在工艺气体进入PECVD装置的腔体之前，对工艺气体进行预热。本发明还相应公开了一种PECVD装置，包括腔体，所述腔体上设置有进气口和出气口，所述腔体的进气口前端设置有用于对工艺气体进行预热的预热组件。本发...
该专利属于湖南红太阳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南红太阳光电科技有限公司授权不得商用。

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