一种石墨盘基座制造技术

本发明专利技术公开了一种石墨盘基座，属于光电子技术领域。该石墨盘基座包括基座本体和用于生长外延片的多个口袋，口袋包括一个第一口袋和多个第二口袋，第一口袋设置在基座本体的中心位置，第二口袋绕基座本体的中心位置周向分布，第一口袋的深度大于第二口袋的深度，第一口袋具有底面和环状侧壁，第一口袋的底面包括与第一口袋的环状侧壁相连的环形平面和位于第一口袋的底面的中部的曲面，通过使第一口袋的深度大于第二口袋的深度，使得在生长外延片的过程中，第一口袋中的外延片与盖板上的用于输送原材料的孔之间的距离增大，从而使原材料更容易在石墨盘基座中扩散，避免了原材料的聚集，从而可以减缓第一口袋中生长出的外延片厚度不均的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨盘基座
本专利技术涉及光电子
，特别涉及一种石墨盘基座。
技术介绍
发光二极管(英文：LightEmittingDiode，简称：LED)作为光电子产业中极具影响力的新产品，具有体积小、使用寿命长、颜色丰富多彩、能耗低等特点，广泛应用于照明、显示屏、信号灯、背光源、玩具等领域。在LED制作过程中，最重要的是生长外延片，外延片通常在金属有机化合物化学气相沉淀(英文：Meta1OrganicChemicalVaporDeposition，简称：MOCVD)设备的石墨盘基座中生长，石墨盘基座上呈周向布置有多个圆形的口袋，外延片就生长在每个口袋中。在生长过程中，石墨盘基座上会密封一个较大的盖板，以将所有的口袋都遮盖起来，盖板中心部位的孔则向石墨盘基座中通入原材料，以在每一个口袋中生长出外延片。目前有部分MOCVD设备，例如德国芯片设备制造商爱思强(Aixtron)生产的MOCVD设备中，位于石墨盘基座中心位置处设有一个圆形的口袋，其他口袋则围绕中心位置的口袋分布，因此盖板上用于通入原材料的孔会正对中心位置的口袋，这使得原材料容易在石墨盘基座中心位置的口袋处聚集，且在中心位置的口本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨盘基座，所述石墨盘基座包括基座本体和用于生长外延片的多个口袋，所述口袋包括一个第一口袋和多个第二口袋，所述第一口袋设置在所述基座本体的中心位置，所述多个第二口袋绕所述基座本体的中心位置周向分布，其特征在于，所述第一口袋的深度大于所述多个第二口袋的深度，所述第一口袋具有相连接的底面和环状侧壁，所述第一口袋的底面包括与所述第一口袋的环状侧壁相连的环形平面和位于所述第一口袋的底面的中部的曲面，所述曲面的边缘与所述环形平面相连。

【技术特征摘要】
1.一种石墨盘基座，所述石墨盘基座包括基座本体和用于生长外延片的多个口袋，所述口袋包括一个第一口袋和多个第二口袋，所述第一口袋设置在所述基座本体的中心位置，所述多个第二口袋绕所述基座本体的中心位置周向分布，其特征在于，所述第一口袋的深度大于所述多个第二口袋的深度，所述第一口袋具有相连接的底面和环状侧壁，所述第一口袋的底面包括与所述第一口袋的环状侧壁相连的环形平面和位于所述第一口袋的底面的中部的曲面，所述曲面的边缘与所述环形平面相连。2.根据权利要求1所述的石墨盘基座，其特征在于，所述曲面为球冠型的凸面。3.根据权利要求2所述的石墨盘基座，其特征在于，所述曲面的顶部到所述环形平面的垂直距离为5μm～30μm。4.根据权利要求1所述的石墨盘基座，其特征在于，所述曲面为球冠型的凹面。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡任浩，胡加辉，李鹏，
申请(专利权)人：华灿光电浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33