下载一种石墨盘基座的技术资料

文档序号:16030644

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本发明公开了一种石墨盘基座,属于光电子技术领域。该石墨盘基座包括基座本体和用于生长外延片的多个口袋,口袋包括一个第一口袋和多个第二口袋,第一口袋设置在基座本体的中心位置,第二口袋绕基座本体的中心位置周向分布,第一口袋的深度大于第二口袋的深度...
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