一种超大尺寸硅片的切割方法技术

本发明专利技术公开了一种超大尺寸硅片的切割方法，通过钢线缠绕在导线轮上形成钢丝线网，通过导线轮的运转，钢丝线网夹带浆料对硅锭进行切割加工，主要包括以下流程，调整线槽‑上料定位‑切割‑下料‑整形，该切割方法简单易行，能切割出超大尺寸的硅片。

Method for cutting super large size silicon wafer

The invention discloses a method for cutting large size silicon wafer, the steel wire winding forming steel wire net in wire wheel, through the wire wheel operation, steel wire net entrained slurry on the silicon ingot cutting processing, mainly including the following process, adjust the slot feeding and positioning cutting plastic material, the cutting method is simple and easy, can cut out large size silicon wafer.

【技术实现步骤摘要】
一种超大尺寸硅片的切割方法
本专利技术设计一种硅片的切割方法，具体涉及一种超大尺寸硅片的切割方法。
技术介绍
硅片是微电子产业中最重要的基本材料之一，许多研究都要用到它，现有硅片切割方法是，在切割过程中，常常借助玻璃刀等工具，利用尺子等辅助工具直接在硅片上画线，然后切开硅片，但是，由于操作人员的用力不均，经常不能很好的切开硅片，一来浪费材料，二来切开的硅片上经常有划痕，容易影响使用效果。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，针对以上现有技术存在的缺点，提出一种超大尺寸硅片的切割方法，该切割方法简单易行，能切割出超大尺寸的硅片。本专利技术解决以上技术问题的技术方案是：一种超大尺寸硅片的切割方法，通过钢线缠绕在导线轮上形成钢丝线网，通过导线轮的运转，钢丝线网夹带浆料对硅锭进行切割加工，主要包括以下流程，调整线槽-上料定位-切割-下料-整形，其中：（1）线开方机上包括主导线轮、从导线轮、1号导线轮及2号导线轮，每个导线轮由多个单片导轮组成，导线轮上各单片导论的槽距分别为158mm，单片导轮上设有7个槽，单片导轮上相邻槽间距为2mm，每个槽深1mm，槽夹角为65°，在布线时导线轮上首只单片导轮上用第一槽，后续单片导轮逐渐加1槽，调整导线轮槽距为160mm；（2）用水冲洗硅锭表面，并在硅锭上划好边皮切割线，用电动叉车叉硅锭上线开方机，硅锭放在线开方机的切割室托盘的正中位置上，同时硅锭上的“Tc”侧指向主导轮，根据边皮切割线，调节硅锭位置，压下钢丝线网或者用直角尺测量硅锭的位置，使得钢线都在切割槽中且四周边皮分中，每块硅锭的边皮用插销阻挡；（3）降下线开方机的工作台使得钢丝线网与硅锭的高点刚好接触，然后将工作台向上抬升1mm，将此时的坐标设置为切割的起始点即零点坐标，开启浆料，浆料从喷砂嘴中流出进行切割；切割时钢线张力设定为95N，线速度、来回走线、正走线及料浆流量等参数可以具体提供；（4）切割结束后下锭，在卸锭前用电筒检查硅锭是否切透，没有切透则对其进行加切，切透时释放左右张紧轮的张力，剪断钢线并取出钢线，切割头抬升至卸锭位置，刮掉锭表面粘附的浆料，用叉车将硅锭叉出放在移动托盘上；（5）取下硅锭每边各一块边皮，清洗后观察边皮表面质量，合格后立即跟踪至清洗房清洗后发往端面碾磨设备处，给与其最低单刀0.4mm的碾磨量，碾磨到所需尺寸得到最终成品。本专利技术进一步限定的技术方案：进一步，前述超大尺寸硅片的切割方法中，钢线线径为0.3mm，线开方机的切割室内钢丝线网有上下两层。前述超大尺寸硅片的切割方法中，在步骤（1）布线前校正左、右张力臂，左、右侧电压值的绝对值差≤0.2。技术效果，张力臂不垂直会加大张力臂的摆动甚至钢线断线；张力臂不垂直会引起钢线上张力的不稳定,影响切割效果。前述超大尺寸硅片的切割方法中，步骤（4）切割结束后得到的硅片尺寸为159.6mm-160.4mm，步骤（5）碾磨得到的最终成品尺寸为158±0.25mm。本专利技术的有益效果是：本申请中在调整硅锭位置时，“Tc”侧指向主导轮有利于切割完毕后对晶砖在切割室位置的准确判断；边皮分中能有效保证晶砖检测时不良部分准确切除。在卸硅锭时，剪断钢线前左右张紧轮的张力必须完全释放，否则对操作工会有安全隐患；清理大锭表面浆料能够有效减少浆料直接冲洗掉，提高浆料利用率，尽量避免密度降低时频繁添加碳化硅。在硅锭位于钢丝线网的正上方时保证对中，四周边皮废料保证切割下来厚度差不多，防止切偏；本专利技术不需要单独重新开159mm的导轮槽距，按现有的导轮槽距即可开方出我们要求的晶砖。具体实施方式实施例1本实施例提供一种超大尺寸硅片的切割方法，通过钢线线径为0.3mm的钢线缠绕在导线轮上形成钢丝线网，切割室内钢丝线网有上下两层，通过导线轮的运转，钢丝线网夹带浆料对硅锭进行切割加工，主要包括以下流程，调整线槽-上料定位-切割-下料-整形，其中：（1）线开方机上包括主导线轮、从导线轮、1号导线轮及2号导线轮，每个导线轮由多个单片导轮组成，导线轮上各单片导论的槽距分别为158mm，单片导轮上设有7个槽，单片导轮上相邻槽间距为2mm，每个槽深1mm，槽夹角为65°，在布线时导线轮上首只单片导轮上用第一槽，后续单片导轮逐渐加1槽，调整导线轮槽距为160mm；（2）用水冲洗硅锭表面，并在硅锭上划好边皮切割线，用电动叉车叉硅锭上线开方机，硅锭放在线开方机的切割室托盘的正中位置上，同时硅锭上的“Tc”侧指向主导轮，根据边皮切割线，调节硅锭位置，压下钢丝线网或者用直角尺测量硅锭的位置，使得钢线都在切割槽中且四周边皮分中，每块硅锭的边皮用插销阻挡；（3）降下线开方机的工作台使得钢丝线网与硅锭的高点刚好接触，然后将工作台向上抬升1mm，将此时的坐标设置为切割的起始点即零点坐标，开启浆料，浆料从喷砂嘴中流出进行切割；切割时钢线张力设定为95N；（4）切割结束后得到的硅片尺寸为159.6mm-160.4mm，然后下锭，在卸锭前用电筒检查硅锭是否切透，没有切透则对其进行加切，切透时释放左右张紧轮的张力，剪断钢线并取出钢线，切割头抬升至卸锭位置，刮掉锭表面粘附的浆料，用叉车将硅锭叉出放在移动托盘上；（5）取下硅锭每边各一块边皮，清洗后观察边皮表面质量，合格后立即跟踪至清洗房清洗后发往端面碾磨设备处，给与其最低单刀0.4mm的碾磨量，碾磨到所需尺寸158±0.25mm得到最终成品。在本实施例中，布线前校正左、右张力臂，左、右侧电压值的绝对值差≤0.2。本专利技术在调整线槽前先进行布线前准备工作，具体为：检查所有橡胶圈，更换其中有缺陷的橡胶圈；检查滑轮，紧固其中松动的滑轮；检查气管是否漏气，发现异常或漏气及时更换；查看生产记录和实际切割状况，收线轮每切割2刀或超过40公里进行更换；放下收线轮定位插销，将收线轮固定；将液压升降车伸到收线轮下方、升起液压升降车与收线轮下放平行，平行时收线轮的中心和它的轴心在一条线上，以免损伤收线轮轴心，拉出收线轮将其推到轴上去，将卡套用酒精擦洗干净，在涂膜润滑油后装到收线轮上并固定好；将卡套固定到收线轮上时具体为：用固定螺栓固定，卡上卡簧，然后将力矩扳手调到150N±5N将固定螺栓顺时针紧固，紧固时听到第一次“咔”声响后每180度调整收线轮一次，共调整3次紧固完成。布线全进行多项检查准备，如橡胶圈不及时更换切割过程中有可能被切透，出现接地甚至断线报警；气管出气是防止浆料进入轴承，出现漏气将会使小滑轮轴承的灵活性降低，增加断线几率；收线轮每切割2刀必须及时更换，钢线过多将导致收线轮难以卸下；收线轮内侧有毛刺和凸起，有会影响到收线轮的收放，甚至断线，收线轮往里推的时候一定要将收线轮推到位，升降车使用完毕后降至手柄以下；酒精擦洗保证零件的干净，涂抹润滑油保证一定的润滑；收线轮紧固时要对称均匀受力并注意收线轮应是对应轴心平衡。卡套套在收线轮上时酒精擦洗保证零件的干净，涂抹润滑油保证一定的润滑；收线轮紧固时要对称均匀受力并注意收线轮应是对应轴心平衡。本专利技术的超大尺寸硅片的切割方法简单易行，能切割出超大尺寸的硅片，不需要单独重新开159mm的导轮槽距，按现有的导轮槽距即可开方出我们要求的晶砖。除上述实施例外，本专利技术还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本专利技术要求的保护范本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超大尺寸硅片的切割方法，通过钢线缠绕在导线轮上形成钢丝线网，通过导线轮的运转，钢丝线网夹带浆料对硅锭进行切割加工，其特征在于：主要包括以下流程，调整线槽‑上料定位‑切割‑下料‑整形，其中：（1）线开方机上包括主导线轮、从导线轮、1号导线轮及2号导线轮，每个导线轮由多个单片导轮组成，导线轮上各单片导论的槽距分别为158mm，单片导轮上设有7个槽，单片导轮上相邻槽间距为2mm，每个槽深1mm，槽夹角为65°，在布线时所述导线轮上首只单片导轮上用第一槽，后续单片导轮逐渐加1槽，调整导线轮槽距为160mm；（2）用水冲洗硅锭表面，并在硅锭上划好边皮切割线，用电动叉车叉硅锭上线开方机，硅锭放在线开方机的切割室托盘的正中位置上，同时硅锭上的“Tc”侧指向主导轮，根据边皮切割线，调节硅锭位置，压下钢丝线网或者用直角尺测量硅锭的位置，使得钢线都在切割槽中且四周边皮分中，每块硅锭的边皮用插销阻挡；（3）降下线开方机的工作台使得钢丝线网与硅锭的高点刚好接触，然后将工作台向上抬升1mm，将此时的坐标设置为切割的起始点即零点坐标，开启浆料，浆料从喷砂嘴中流出进行切割，切割时钢线张力设定为95N；（4）切割结束后下锭，在卸锭前用电筒检查硅锭是否切透，没有切透则对其进行加切，切透时释放左右张紧轮的张力，剪断钢线并取出钢线，切割头抬升至卸锭位置，刮掉锭表面粘附的浆料，用叉车将硅锭叉出放在移动托盘上；（5）取下硅锭每边各一块边皮，清洗后观察边皮表面质量，合格后立即跟踪至清洗房清洗后发往端面碾磨设备处，给与其最低单刀0.4mm的碾磨量，碾磨到所需尺寸得到最终成品。...

【技术特征摘要】
1.一种超大尺寸硅片的切割方法，通过钢线缠绕在导线轮上形成钢丝线网，通过导线轮的运转，钢丝线网夹带浆料对硅锭进行切割加工，其特征在于：主要包括以下流程，调整线槽-上料定位-切割-下料-整形，其中：（1）线开方机上包括主导线轮、从导线轮、1号导线轮及2号导线轮，每个导线轮由多个单片导轮组成，导线轮上各单片导论的槽距分别为158mm，单片导轮上设有7个槽，单片导轮上相邻槽间距为2mm，每个槽深1mm，槽夹角为65°，在布线时所述导线轮上首只单片导轮上用第一槽，后续单片导轮逐渐加1槽，调整导线轮槽距为160mm；（2）用水冲洗硅锭表面，并在硅锭上划好边皮切割线，用电动叉车叉硅锭上线开方机，硅锭放在线开方机的切割室托盘的正中位置上，同时硅锭上的“Tc”侧指向主导轮，根据边皮切割线，调节硅锭位置，压下钢丝线网或者用直角尺测量硅锭的位置，使得钢线都在切割槽中且四周边皮分中，每块硅锭的边皮用插销阻挡；（3）降下线开方机的工作台使得钢丝线网与硅锭的高点刚好接触，然后将工作台向上抬升1mm，将此时的坐标...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱孝吉，王海庆，
申请(专利权)人：镇江环太硅科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32