一种高效多晶硅表面处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高效多晶硅表面处理装置，包括主体和支撑架，主体的内部设置有伺服电机a、伺服电机b和伺服电机c，伺服电机a通过同步带连接输送带，伺服电机b通过同步带连接砂轮带a，伺服电机c通过同步带连接砂轮带b，砂轮带a的顶部设置有砂轮带c，砂轮带b的顶部设置有砂轮带d，砂轮带a和砂轮带c之间设置有若干除尘管道，砂轮带b和砂轮带d之间设置有若干除尘管道，主体的一侧设置有支撑架，支撑架通过微调气缸a连接支架b，支撑架通过微调气缸b连接支架c。本实用新型专利技术加工效率极高，加工质量可靠，绿色环保。

High efficiency polycrystalline silicon surface treatment device

The utility model discloses a high-efficiency polycrystalline silicon surface treatment device comprises a main body and a supporting frame, the inside of the main body is provided with a servo motor, a servo motor B and C servo motor, a servo motor through a synchronous belt connecting the conveyor belt, B servo motor through a synchronous belt wheel connected with a, C servo motor through a synchronous belt connecting the grinding wheel with B grinding wheel with a are arranged on the top of the wheel with C, with B grinding wheel are arranged on the top of the wheel with D, a and C with grinding wheel grinding wheel is arranged between the number of dust removal pipeline, grinding wheel and grinding wheel with B with D is provided with a plurality of dust pipe, one side of the main body is provided with a support frame, support stand by fine-tuning the cylinder a connection support B, support by fine-tuning the cylinder B connection bracket C. The utility model has the advantages of high processing efficiency, reliable processing quality, and green environment protection.

【技术实现步骤摘要】
一种高效多晶硅表面处理装置
本技术涉及一种多晶硅加工装置，特别涉及一种高效多晶硅表面处理装置。
技术介绍
在多晶硅铸锭加工工艺过程中，多晶硅铸锭表面会粘有氮化硅等杂质，由于铸锭生产中的分凝与扩散作用，部分杂质甚至会渗透到多晶硅铸锭表面的表层，在对多晶硅铸锭开方后，会形成大量的多晶硅锭边料，多晶硅锭边料一般均要回收，为了提高回收率，一般都要对多晶硅锭边料的表面进行清理，将其表面及表层所含的杂质去除。目前，现有技术往往是利用喷砂或者人工打磨的方法预处理，加工效率低下，加工质量无法保证，且粉尘严重，污染环境。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种高效多晶硅表面处理装置。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：本技术一种高效多晶硅表面处理装置，包括主体和支撑架，所述主体的内部设置有伺服电机a、伺服电机b和伺服电机c，所述伺服电机a通过同步带连接输送带，所述伺服电机b通过同步带连接砂轮带a，所述伺服电机c通过同步带连接砂轮带b，所述砂轮带a的顶部设置有砂轮带c，所述砂轮带b的顶部设置有砂轮带d，所述砂轮带a和砂轮带c之间设置有若干除尘管道，所述砂轮带b和砂轮带d之间设置有若干除尘管道，所述主体的一侧设置有支撑架，所述支撑架通过微调气缸a连接支架b，所述支撑架通过微调气缸b连接支架c。作为本技术的一种优选技术方案，所述支架b的内部设置有伺服电机d，所述伺服电机d通过同步带连接砂轮带c，所述支架c的内部设置有伺服电机e，所述伺服电机e通过同步带连接砂轮带d。作为本技术的一种优选技术方案，所述伺服电机a的一侧设置有总电源，所述总电源的一侧设置有PLC可编程控制器，所述PLC可编程控制器与伺服电机a、伺服电机b、伺服电机c、伺服电机d、伺服电机e、总电源、微调气缸a、微调气缸b均电性连接。作为本技术的一种优选技术方案，所述砂轮带a和输送带之间设置有衔接板，所述砂轮带a和砂轮带b之间设置有衔接板。作为本技术的一种优选技术方案，所述主体的底部设置有防滑底座。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：本技术通过砂轮带a和砂轮带c以相反的方向运转，打磨多晶硅，砂轮带的表面打磨加工效率远高于传统的刷毛机和喷丸机，而且本技术采用的是上下表面同时加工的方式，极大地提高了工作效率，砂轮带b和砂轮带d对多晶硅进行再次加工，进一步提高多晶硅表面打磨加工的质量，同时在打磨加工处设置有除尘管道，减少环境污染，本技术加工效率极高，加工质量可靠，绿色环保。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1是本技术的整体结构示意图；图中：1、主体；2、防滑底座；3、总电源；4、伺服电机a；5、伺服电机b；6、伺服电机c；7、PLC可编程控制器；8、同步带；9、输送带a；10、支架a；11、砂轮带a；12、砂轮带b；13、衔接板；14、除尘管道；15、支撑架；16、微调气缸a；17、微调气缸b；18、砂轮带c；19、砂轮带d；20、支架b；21、支架c；22、伺服电机d；23、伺服电机e。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。实施例1如图1所示，本技术提供一种高效多晶硅表面处理装置，包括主体1和支撑架15，主体1的内部设置有伺服电机a4、伺服电机b5和伺服电机c6，伺服电机a4通过同步带8连接输送带9，伺服电机b5通过同步带8连接砂轮带a11，伺服电机c6通过同步带8连接砂轮带b12，砂轮带a11的顶部设置有砂轮带c18，砂轮带b12的顶部设置有砂轮带d19，砂轮带a11和砂轮带c18之间设置有若干除尘管道14，砂轮带b12和砂轮带d19之间设置有若干除尘管道14，主体1的一侧设置有支撑架15，支撑架15通过微调气缸a16连接支架b20，支撑架15通过微调气缸b17连接支架c21。进一步的，支架b20的内部设置有伺服电机d22，伺服电机d22通过同步带8连接砂轮带c18，支架c21的内部设置有伺服电机e23，伺服电机e23通过同步带8连接砂轮带d19，电力驱动，大大提高了工作效率。伺服电机a4的一侧设置有总电源3，总电源3的一侧设置有PLC可编程控制器7，PLC可编程控制器7与伺服电机a4、伺服电机b5、伺服电机c6、伺服电机d22、伺服电机e23、总电源3、微调气缸a16、微调气缸b17均电性连接，PLC可编程控制器7可通过编程控制设备的运行，使得设备得以高精度运行和打磨多晶硅，提高设备加工质量和效率。砂轮带a11和输送带9之间设置有衔接板13，砂轮带a11和砂轮带b12之间设置有衔接板13，衔接板13能够确保大小不一的多晶硅均能从输送带9进入砂轮带a11和砂轮带b12，从而顺利进行表面处理。主体1的底部设置有防滑底座2，防滑底座2有助于设备的平稳运行，确保设备的加工质量。具体的，打开总电源3，然后打开除尘管道14，将多晶硅放置在输送带9上，多晶硅经过衔接板13进入砂轮带a11，PLC可编程控制器7控制微调气缸a16伸长，让砂轮带c18贴近多晶硅，并让砂轮带a11和砂轮带c18以相反的方向运转，打磨多晶硅，然后PLC可编程控制器7控制微调气缸a16缩短，砂轮带a11将多晶硅输送至砂轮带b12，让砂轮带b12和砂轮带d19再对多晶硅的表面进行打磨，打磨的粉尘碎屑均被除尘管道14吸收，然后砂轮带b12将多晶硅输送出主体1。本技术通过砂轮带a11和砂轮带c18以相反的方向运转，打磨多晶硅，砂轮带的表面打磨加工效率远高于传统的刷毛机和喷丸机，而且本技术采用的是上下表面同时加工的方式，极大地提高了工作效率，砂轮带b12和砂轮带d19对多晶硅进行再次加工，进一步提高多晶硅表面打磨加工的质量，同时在打磨加工处设置有若干除尘管道14，减少环境污染，本技术加工效率极高，加工质量可靠，绿色环保。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高效多晶硅表面处理装置，包括主体（1）和支撑架（15），其特征在于，所述主体（1）的内部设置有伺服电机a（4）、伺服电机b（5）和伺服电机c（6），所述伺服电机a（4）通过同步带（8）连接输送带（9），所述伺服电机b（5）通过同步带（8）连接砂轮带a（11），所述伺服电机c（6）通过同步带（8）连接砂轮带b（12），所述砂轮带a（11）的顶部设置有砂轮带c（18），所述砂轮带b（12）的顶部设置有砂轮带d（19），所述砂轮带a（11）和砂轮带c（18）之间设置有若干除尘管道（14），所述砂轮带b（12）和砂轮带d（19）之间设置有若干除尘管道（14），所述主体（1）的一侧设置有支撑架（15），所述支撑架（15）通过微调气缸a（16）连接支架b（20），所述支撑架（15）通过微调气缸b（17）连接支架c（21）。

【技术特征摘要】
1.一种高效多晶硅表面处理装置，包括主体（1）和支撑架（15），其特征在于，所述主体（1）的内部设置有伺服电机a（4）、伺服电机b（5）和伺服电机c（6），所述伺服电机a（4）通过同步带（8）连接输送带（9），所述伺服电机b（5）通过同步带（8）连接砂轮带a（11），所述伺服电机c（6）通过同步带（8）连接砂轮带b（12），所述砂轮带a（11）的顶部设置有砂轮带c（18），所述砂轮带b（12）的顶部设置有砂轮带d（19），所述砂轮带a（11）和砂轮带c（18）之间设置有若干除尘管道（14），所述砂轮带b（12）和砂轮带d（19）之间设置有若干除尘管道（14），所述主体（1）的一侧设置有支撑架（15），所述支撑架（15）通过微调气缸a（16）连接支架b（20），所述支撑架（15）通过微调气缸b（17）连接支架c（21）。2.根据权利要求1所述的一种高效多晶硅表面处理装置，其特征在于，所述支架b（20）的内部设置有伺服电...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓辉，赵博成，姚洪波，王国军，
申请(专利权)人：浙江晶鸿新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33