下载一种高效多晶硅表面处理装置的技术资料

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本实用新型公开了一种高效多晶硅表面处理装置,包括主体和支撑架,主体的内部设置有伺服电机a、伺服电机b和伺服电机c,伺服电机a通过同步带连接输送带,伺服电机b通过同步带连接砂轮带a,伺服电机c通过同步带连接砂轮带b,砂轮带a的顶部设置有砂轮带...
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