药液排出装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种药液排出装置，包括：泵单元，所述泵单元具有泵外壳，及配置在所述泵外壳的内部，并且借助于外力收缩时将药液排出的弹性软管，在所述泵外壳内侧面及所述弹性软管外侧面之间形成使用于加压所述弹性软管的非压缩性流体流入的泵腔室；气缸单元，所述气缸单元具有用所述泵单元将所述非压缩性流体供应的活塞，及结合在所述活塞下部的气缸杆，及具有收容所述活塞的气缸板；驱动单元，具有用于使所述气缸杆移动的发动机；动力传达单元，用于将所述发动机的旋转力转换为所述气缸杆的直线移动；及套管单元，一部分紧贴在所述活塞的外侧面并且支承所述活塞的同时，防止所述活塞的晃动，另外一部分与所述活塞的外侧面一起形成所述非压缩性流体移动的壁面流路。

Liquid medicine discharging device

The invention provides a liquid discharge device, which comprises a pump unit, the pump unit comprises a pump housing, and the configuration inside the pump housing, and with the help of external contraction will be discharged from the liquid elastic hose, between the sides of the pump shell and the outer side of the elastic hose used in formation pressure the elastic hose of non compressible fluid flows into the pump chamber; the cylinder unit, the cylinder unit with the pump unit and the piston non compressible fluid supply, and combined with the cylinder rod on the lower part of the piston, and the piston cylinder plate has a driving unit is used for making; the cylinder rod to move the engine; the power transmission unit for the rotational force of the engine conversion for the linear movement of a cylinder rod; and the casing unit, a part close to the piston The outer side, while supporting the piston, prevents sloshing of the piston, and the other portion forms the wall flow path of the non compressible fluid along with the outer side of the piston.

【技术实现步骤摘要】
药液排出装置
本专利技术涉及一种药液排出装置，尤其涉及一种由于想要减少由活塞的晃动所引起的密封部件的单边磨损、活塞与气缸内壁之间的不均匀摩擦，可防止产品的性能低下及破损的药液排出装置。
技术介绍
在半导体晶片或液晶用玻璃基板等的表面上，借助于图案化工序及蚀刻工序作出微小的电路图案。在图案化工序中，用于向晶片或玻璃基板表面上涂抹光抗蚀液等药液从而使用药液供给装置。所述药液供给装置的容器中收容的药液借助于泵的抽吸而移动的同时，经过滤波器之后通过喷嘴喷洒涂抹到被涂抹物上。所述药液供给装置，包括：泵，用于排出药液，及气缸单元，将用于调节从所述泵中排出药液量的非压缩性流体供给到所述泵。此处，所述气缸单元包括活塞及气缸。但是，在以往的药液供给装置中，由于所述活塞借助于一个支承部件而被支承，导致所述活塞在往返运动的过程中活塞晃动。由此不仅导致了配置在所述活塞及所述气缸内壁之间的密封部件发生单边磨损，还有可能使所述活塞及气缸内壁发生不均匀摩擦的危险。如果所述密封部件发生单边磨损，非压缩性流体会在所述活塞的往返移动中泄漏，由于不定量的非压缩性流体流入所述腔室，可能发生不能精确地将药液排出的问题。并且，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种药液排出装置，其特征在于，包括：泵单元，所述泵单元具有泵外壳，及配置在所述泵外壳的内部，并且借助于外力收缩时将药液排出的弹性软管，在所述泵外壳内侧面及所述弹性软管外侧面之间形成有使用于加压所述弹性软管的非压缩性流体流入的泵腔室；气缸单元，所述气缸单元具有：利用所述泵单元供应所述非压缩性流体的活塞；结合在所述活塞下部的气缸杆；以及收容所述活塞的气缸板；驱动单元，具有用于使所述气缸杆移动的发动机；及动力传达单元，用于将所述发动机的旋转力转换为所述气缸杆的直线移动；及套管单元，一部分紧贴在所述活塞的外侧面并且在支承所述活塞的同时，防止所述活塞的晃动，另外一部分与所述活塞的外侧面一起形成所述非压缩...

【技术特征摘要】
2015.09.09 KR 20-2015-00059991.一种药液排出装置，其特征在于，包括：泵单元，所述泵单元具有泵外壳，及配置在所述泵外壳的内部，并且借助于外力收缩时将药液排出的弹性软管，在所述泵外壳内侧面及所述弹性软管外侧面之间形成有使用于加压所述弹性软管的非压缩性流体流入的泵腔室；气缸单元，所述气缸单元具有：利用所述泵单元供应所述非压缩性流体的活塞；结合在所述活塞下部的气缸杆；以及收容所述活塞的气缸板；驱动单元，具有用于使所述气缸杆移动的发动机；及动力传达单元，用于将所述发动机的旋转力转换为所述气缸杆的直线移动；及套管单元，一部分紧贴在所述活塞的外侧面并且在支承所述活塞的同时，防止所述活塞的晃动，另外一部分与所述活塞的外侧面一起形成所述非压缩性流体移动的壁面流路。2.根据权利要求1所述的药液排出装置，其特征在于，所述套管单元，包括：环形的套管主体；所述套管主体的内侧面，包括：一个以上的内接部，所述内接部向所述活塞的外侧面方向突出一定长度，并且与所述活塞的外侧面紧贴接触，及流路形成部，所述流路形成部对应于在所述套管主体的内侧面中除所述内接部以外的部分；所述流路形成部与所述活塞的外侧面一起形成所述壁面流路。3.根据权利要求2所述的药液排出装置，其特征在于，所述套管单元是与所述非压缩性流体不发生反应的树脂材质，所述内接部具备3个以上并且以一定间隔配置。4.根据权利要求3所述的药液排出装置，其特征在于，所述内接部与所述流路形成部以台阶方式的形成，形成所述活塞及所述壁面流路的所述流路形成部的圆周方向长度，比与所述活塞接触的所述内接部的圆周方向长度长。5.根据权利要求1至权利要求4中任意一项所述的药液排...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴镐胤，李忠翰，具滋贤，梁俊锡，
申请(专利权)人：显示器生产服务株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR