加速激活药液的装置制造方法及图纸

技术编号:10650787 阅读:180 留言:0更新日期:2014-11-19 13:51
本实用新型专利技术涉及一种加速激活药液的装置,属于晶硅太阳能电池技术领域,主要特点是设置存放亚硝酸盐溶液的缓存槽,缓存槽的药液管路插入主槽体,药液管路中串接电磁阀,电磁阀接电脑,缓存槽经管道外接氮气源,缓存槽上设置排风管连接外围排风抽走氮气,主槽体内设置鼓泡机构,鼓泡机构连接氮气。本实用新型专利技术实现了在PM之后或者暂停生产之后,再进行生产时添加亚硝酸盐溶液以提高亚硝酸根浓度,加速激活药液,减少由于药液激活所带来的产能浪费问题,也降低了硅片成本;本实用新型专利技术结构简单,实用性强,有利于降低由于药液激活所带来的产能浪费问题和降低硅片成本。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种加速激活药液的装置,属于晶硅太阳能电池
,主要特点是设置存放亚硝酸盐溶液的缓存槽,缓存槽的药液管路插入主槽体,药液管路中串接电磁阀,电磁阀接电脑,缓存槽经管道外接氮气源,缓存槽上设置排风管连接外围排风抽走氮气,主槽体内设置鼓泡机构,鼓泡机构连接氮气。本技术实现了在PM之后或者暂停生产之后,再进行生产时添加亚硝酸盐溶液以提高亚硝酸根浓度,加速激活药液,减少由于药液激活所带来的产能浪费问题,也降低了硅片成本;本技术结构简单,实用性强,有利于降低由于药液激活所带来的产能浪费问题和降低硅片成本。【专利说明】加速激活药液的装置
本专利技术涉及一种加速激活药液的装置,属于晶硅太阳能电池

技术介绍
在常规晶硅太阳能电池工艺中,酸制绒和湿法刻蚀是普遍使用的成熟技术,酸制绒可以减少反射率,去除损伤层,湿法刻蚀可以实现背面抛光,边缘绝缘,均可以提高太阳能电池转换效率。 各电池厂商采用的酸制绒和湿法刻蚀设备在设计上有一个共同点,即主槽体的工艺原理是类似的:HN03与HF的混合液与硅片反应时,HN03先将硅片氧化,HF再与其氧化产物反应。该工艺过程可以稳定、有效的实现酸制绒和湿法刻蚀设备功能,并且比较容易控制,适合量产使用,但却存在一个问题,即药液激活问题。此反应前序反应(氧化反应)为慢反应,是影响反应速率的主要部分;而在氧化反应中,起氧化作用的并不是HN03,而是HN03在反应过程中的副产物亚硝酸根离子,因此激活药液的主要目的是为了提高药液中的亚硝酸根浓度。因此在PM之后或者暂停生产之后,再进行生产时,需要使用硅片进行长时间试跑,以提高药液中的亚硝酸根浓度,激活药液,保证刻蚀速率稳定可控,这样就会带来2个负面影响:一是需要消耗大量硅片;二是需要消耗2-3小时的时间,极大地影响车间正常生产。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种加速激活药液的装置,解决上述现有设备存在的缺陷,通过本专利技术使酸制绒和湿法刻蚀设备的药液激活时间大幅减少,减少由于药液激活所带来的产能浪费问题,降低硅片成本。 本专利技术的目的是通过以下装置实现的,一种加速激活药液的装置,包括主槽体,其特征是,设置存放亚硝酸盐溶液的缓存槽,缓存槽经药液管路连接主槽体,药液管路中串接电磁阀,电磁阀接电脑,缓存槽经管道外接氮气源,缓存槽上设置排风管连接外围排风抽走氮气,主槽体内设置鼓泡机构,鼓泡机构连接氮气。 所述鼓泡机构是一根布满气孔的氮气管,氮气管连接氮气。 本专利技术有如下优点:1)在现有酸制绒和湿法刻蚀设备的基础上,对槽体的构造进行改善,但配置变动较少,改造成本较小;2)在本专利技术中,实现了一种加速激活药液的装置,可以在PM之后或者暂停生产之后,再进行生产时添加亚硝酸盐溶液以提高亚硝酸根浓度,加速激活药液,减少由于药液激活所带来的产能浪费问题,也降低了硅片成本;本专利技术结构简单,实用性强,有利于降低由于药液激活所带来的产能浪费问题和降低硅片成本。 【专利附图】【附图说明】 图1为本专利技术结构示意图; 图2为本专利技术中的鼓泡机构结构示意图; 图中,I缓存槽,2药液管路,3主槽体,4鼓泡机构,5气孔,6管道,7氮气源,8排风管,9电磁阀。 【具体实施方式】 结合附图和实施例进一步说明本专利技术,如图1、2所示,本专利技术是在现有酸制绒和湿法刻蚀设备的基础上进行的改进,硬件配置变动较少,包括存放亚硝酸盐溶液的缓存槽1,缓存槽I经药液管路2连接的主槽体3,药液管路2中串接电磁阀9,电磁阀9接电脑,缓存槽I经管道6外接氮气源7,缓存槽I通过其排风管8连接外围排风抽走氮气,主槽体3内设置鼓泡机构4,鼓泡机构4是一根布满气孔5的氮气管,氮气管连接氮气,在缓存槽I中存有亚硝酸盐溶液,在酸制绒和湿法刻蚀设备PM之后或者暂停生产之后,再进行生产时,可以控制电磁阀9通过药液管路2向主槽体3中添加一定量的亚硝酸盐溶液,然后向鼓泡机构4中通入氮气,在主槽体3产生大量气泡,可以使药液混合均匀;由于本装置可以向主槽体3中添加亚硝酸盐溶液,提高了亚硝酸根浓度,加速激活药液,减少由于药液激活所带来的产能浪费问题,也降低了硅片成本。 以上所述的具体实施例,对本专利技术的目的,技术方案,有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述的仅是本专利技术的具体实施例而已,并不用限制本专利技术,凡在本专利技术的精神和原则之内,所做的任何修改,等同替换,改进等,均应包含在本专利技术的保护范围之内。【权利要求】1.一种加速激活药液的装置,其特征是,所述装置设置存放亚硝酸盐溶液的缓存槽,缓存槽的药液管路插入主槽体,药液管路中串接电磁阀,电磁阀接电脑,缓存槽经管道外接氮气源,缓存槽上设置排风管连接外围排风抽走氮气,主槽体内设置鼓泡机构,鼓泡机构连接氮气。2.根据权利要求1所述的加速激活药液的装置,其特征是,所述鼓泡机构是一根布满气孔的氮气管,氮气管连接氮气。【文档编号】H01L31/18GK203950826SQ201420213693【公开日】2014年11月19日 申请日期:2014年4月29日 优先权日:2014年4月29日 【专利技术者】赵建东, 郑飞 申请人:中电电气(扬州)光伏有限公司本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种加速激活药液的装置,其特征是,所述装置设置存放亚硝酸盐溶液的缓存槽,缓存槽的药液管路插入主槽体,药液管路中串接电磁阀,电磁阀接电脑,缓存槽经管道外接氮气源,缓存槽上设置排风管连接外围排风抽走氮气,主槽体内设置鼓泡机构,鼓泡机构连接氮气。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:赵建东郑飞
申请(专利权)人:中电电气扬州光伏有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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