The utility model discloses a wafer automatic testing machine, comprising a machine frame, a feeding platform, feeding platform, suction kit, traversing motor assembly and test platform, the frame is made of a plurality of profile stitching, a table frame is fixedly provided with a motor assembly, two motor assembly are respectively provided with a feeding Taiwan and feeding machine, motor assembly is arranged on one side of the frame is provided with a suction kit, test platform, the utility model has the advantages that: can automatically capture, detection and classification of detected wafer, reducing the error rate, precision can reach one hundred percent, greatly enhance the production efficiency, ensure product quality.
【技术实现步骤摘要】
一种晶元自动测试机
本技术涉及半导体检测
,具体是一种晶元自动测试机。
技术介绍
晶元是生产集成电路所用的载体,多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过抛光、切片之后,就成为了晶元。晶元是最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格,近来发展出12英寸甚至研发更大规格(14英吋、15英吋、16英吋、……20英吋以上等)。晶元越大,同一圆片上可生产的IC就越多,可降低成本;但要求材料技术和生产技术更高。现有的晶元在检测过程中,需要人员手动进行拿取和检测,导致生产效率低下,受检测人员主观性和操作手法的影响,产品的质量得不到保证。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶元自动测试机,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种晶元自动测试机,包括机架、下料台、上料台、吸盘套件、横移电机装配体和测试平台,所述机架采用多根型材拼接制成,机架的台面上固设有横移电机装配体,横移电机装配体的两侧分别设有下料台和上料台,横移电机装配体上设有吸盘套件,机架的一侧设有测试平台;所述测试平台包括上测试台板、底板、测试右侧板、测试左侧板、测试安装板和真空平台装配体,所述上测试台板、测试右侧板和测试左侧板拼接成两个置于底板上的框体,每个所述框体内均固设有真空平台装配,真空平台装配上设有PCB板,上测试台板的两侧均通过升降立板和升降中立板与测试右侧板和测试左侧板滑动连接,上测试台板上通过螺钉固设有测试安装板,测试右侧板和测试左侧板的外侧均设有调节块和挡块;所述吸盘套件包 ...
【技术保护点】
一种晶元自动测试机,包括机架、下料台、上料台、吸盘套件、横移电机装配体和测试平台,其特征在于,所述机架采用多根型材拼接制成,机架的台面上固设有横移电机装配体,横移电机装配体的两侧分别设有下料台和上料台,横移电机装配体上设有吸盘套件,机架的一侧设有测试平台;所述测试平台包括上测试台板、底板、测试右侧板、测试左侧板、测试安装板和真空平台装配体,所述上测试台板、测试右侧板和测试左侧板拼接成两个置于底板上的框体,每个所述框体内均固设有真空平台装配,真空平台装配上设有PCB板,上测试台板的两侧均通过升降立板和升降中立板与测试右侧板和测试左侧板滑动连接,上测试台板上通过螺钉固设有测试安装板,测试右侧板和测试左侧板的外侧均设有调节块和挡块;所述吸盘套件包括吸盘背板、托架、支撑立柱和滑轨,所述托架内设有多根支撑立柱,托架的一侧设有背板,背板上固设多个通过卡套固定的吸盘座,吸盘座上设有吸嘴,托架的表面设有仪表支架和电缆托架,托架上设有紧贴设置的下压板和同步压板;所述吸盘套件滑动连接在滑轨上,滑轨底部设有定位块。
【技术特征摘要】
1.一种晶元自动测试机,包括机架、下料台、上料台、吸盘套件、横移电机装配体和测试平台,其特征在于,所述机架采用多根型材拼接制成,机架的台面上固设有横移电机装配体,横移电机装配体的两侧分别设有下料台和上料台,横移电机装配体上设有吸盘套件,机架的一侧设有测试平台;所述测试平台包括上测试台板、底板、测试右侧板、测试左侧板、测试安装板和真空平台装配体,所述上测试台板、测试右侧板和测试左侧板拼接成两个置于底板上的框体,每个所述框体内均固设有真空平台装配,真空平台装配上设有PCB板,上测试台板的两侧均通过升降立板和升降中立板与测试右侧板和测试左侧板...
【专利技术属性】
技术研发人员:李雅媚,
申请(专利权)人:深圳市昱燊科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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