具有附加层和合金形成的激光再封装制造技术

本发明专利技术提出一种用于制造微机械构件的方法，该微机械构件具有衬底和与衬底连接的并且与衬底包围第一空穴的罩，其中，在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤中，在衬底或在罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，其中，‑在第二方法步骤中，调节在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其特征在于，‑在第四方法步骤中中，为了与衬底或罩的在第三方法步骤中转变到液态聚集态的材料区域混合，在进入开口区域中在衬底或罩的表面上沉积或者生长一个层。

Laser encapsulation with additional layers and alloy formation

The invention provides a method for manufacturing a micro mechanical component, the micro mechanical component has a substrate and a substrate and connected with the substrate and surrounds the first hole cover, first pressure in the first hole and contains a first gas mixture, the chemical composition of the method in the first step. In or into the substrate structure is connected with the first hole and micro mechanical component environment in the hood opening, in second steps, the first adjustment in the first hole pressure and / or the first chemical component, which in third steps, by means of the laser energy into heat or the substrate or the cover in the closed part of absorption into the opening, which is characterized in that the in fourth steps, in order to cover and substrate or in third steps to change The material region of the liquid aggregate is mixed and deposited or grown on the surface of the substrate or cover into the open region.

【技术实现步骤摘要】
具有附加层和合金形成的激光再封装
本专利技术涉及一种根据权利要求1前序部分所述的方法。
技术介绍
由WO2015/120939A1公知这种方法。如果期望在微机械构件的空穴中有确定的内压，或者在空穴中应包含具有确定的化学组分的气体混合物，则通常在封装微机械构件时或者在衬底晶片与罩晶片之间的键合过程中调节内压或化学组分。在封装时例如将罩与衬底连接，由此罩与衬底共同包围空穴。通过调节在封装时在周围环境中存在的气体混合物的大气或压力和/或化学组分，可以因此调节在空穴中的确定的内压和/或确定的化学组分。通过由WO2015/120939A1已知的方法可以有针对性地调节在微机械构件的空穴中的内压。通过该方法尤其可能的是，制造具有第一空穴的微机械构件，其中，在第一空穴中可以调节第一压力和第一化学组分，该第一压力或第一化学组分不同于在封装时刻的第二压力和第二化学组分。在根据WO2015/120939A1的用于有针对性地调节微机械构件的空穴中的内压的方法中，在罩中或者说在罩晶片中或在衬底中或者说在传感器晶片中产生到空穴的窄的进入通道。接着以所期望的气体和所期望的内压通过进入通道充满空穴。最后借助激光器局本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于制造微机械构件(1)的方法，该微机械构件具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接的并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤(101)中，在所述衬底(3)或所述在罩(7)中构造连接第一空穴(5)与所述微机械构件(1)周围环境(9)的进入开口(11)，其中，‑在第二方法步骤(102)中，调节在所述第一空穴(5)中的第一压力和/或第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤(103)中，通过借助于激光将能量或热量引入到所述衬底(3)或所述罩(7)的吸收部分中来封闭所述进入开口(11)，其特征在于...

【技术特征摘要】
2015.12.08 DE 102015224487.31.用于制造微机械构件(1)的方法，该微机械构件具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接的并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，-在第一方法步骤(101)中，在所述衬底(3)或所述在罩(7)中构造连接第一空穴(5)与所述微机械构件(1)周围环境(9)的进入开口(11)，其中，-在第二方法步骤(102)中，调节在所述第一空穴(5)中的第一压力和/或第一化学组分，其中，-在第三方法步骤(103)中，通过借助于激光将能量或热量引入到所述衬底(3)或所述罩(7)的吸收部分中来封闭所述进入开口(11)，其特征在于，-在第四方法步骤中(104)中，为了与所述衬底(3)或所述罩(7)的在第三方法步骤(103)中转变到液态聚集态的材料区域(13)混合，在所述进入开口(11)区域中在所述衬底(3)或所述罩(7)的表面上沉积或者生长一个层。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述层在所述衬底(3)或所述罩(7)的背离所述第一空穴(5)的表面上沉积或者生长。3.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述第四方法步骤(104)在时间上在所述第一方法步骤(101)之前实施。4.微机械构件(1)，该微机械构件具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，所述衬底(...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·弗莱，J·莱茵穆特，M·阿梅特沃布拉，P·卡佩，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE