The utility model discloses a wafer cleaning device comprises a cleaning wafer and dressed for the shell cleaning wastewater, the casing is provided with a drive to clean the wafer level rotation of the rotatable wafer clamp, rotating wafer fixture bottom end extends into the shell vertically clamped to clean the wafer; the inner cavity of the casing side wall is located after cleaning the wafer the bottom is provided with a cleaning mechanism of spraying cleaning liquid to be cleaned wafer, the cleaning mechanism comprises a regulating mechanism and a nozzle, nozzle is arranged in the cavity of the regulating mechanism at the end; the shell is also provided with a control mechanism to control the rotating wafer holder and a cleaning mechanism to coordinate action. The utility model has the advantages of simple structure, convenient use, based on the wafer and the cleaning mechanism for freely regulating rotation, and through the control mechanism so that the two movements, which can not only make the surface of the wafer are cleaning liquid completely covered, but also can make the cleaning liquid sprayed on the surface of the wafer is more uniform, greatly improving the cleaning efficiency.
【技术实现步骤摘要】
晶圆清洗装置
本技术涉及半导体
,特别是一种晶圆清洗装置。
技术介绍
随着集成电路工艺的快速发展,器件尺寸越来越小,对晶圆表面的洁净程度要求也越来越高,机台清洗能力要求进一步提升。以单片式湿法机台为例,无论是单片式清洗、单片式刻蚀、还是单片式电镀机台,由于机台清洗设备的内腔空间有限,清洗装置都会选择一种固定方式,导致清洗液喷洒在晶圆上比较固定的空间范围内,容易造成晶圆仍有化学品残留,不能够完全彻底清洗干净,导致随后的工艺结果达不到技术要求。
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题是提供一种用于清洗半导体晶圆的清洗装置,以提高清洗效率。为解决上述技术问题,本技术所采取的技术方案如下。晶圆清洗装置,包括盛装待清洗晶圆以及清洗液废水的壳体,壳体上设置有带动待清洗晶圆水平旋转的可转动晶圆夹具,可转动晶圆夹具的底端伸入壳体内垂直夹持待清洗晶圆;位于待清洗晶圆下方的壳体内腔侧壁上设置有用于向待清洗晶圆喷洒清洗液的清洗机构,所述清洗机构包括调节机构和喷嘴,喷嘴设置在位于腔体内的调节机构末端;所述壳体上还设置有控制可转动晶圆夹具和清洗机构协调动作的控制机构。上述晶圆清洗装置,所述调节机构包括用于调节喷嘴距离待清洗晶圆距离的长度调节机构、用于调节喷嘴的喷洒方向与壳体侧壁之间夹角的角度调节机构以及用于调节喷嘴摆动幅度的摆幅调节机构,所述控制机构的输出端分别与长度调节机构、角度调节机构、摆幅调节机构以及喷嘴的受控端连接;其中,摆幅调节机构安装在壳体侧壁上,长度调节机构安装在摆幅调节机构上,角度调节机构的一端连接侧壁,另一端连接长度调节机构,所述喷嘴固定安装在长度调节机构的内顶 ...
【技术保护点】
晶圆清洗装置,其特征在于:包括盛装待清洗晶圆以及清洗液废水的壳体(1),壳体(1)上设置有带动待清洗晶圆水平旋转的可转动晶圆夹具(3),可转动晶圆夹具的底端伸入壳体内垂直夹持待清洗晶圆(2);位于待清洗晶圆下方的壳体内腔侧壁上设置有用于向待清洗晶圆喷洒清洗液的清洗机构(4),所述清洗机构(4)包括调节机构和喷嘴,喷嘴设置在位于腔体内的调节机构末端;所述壳体上还设置有控制可转动晶圆夹具(3)和清洗机构(4)协调动作的控制机构(5)。
【技术特征摘要】
1.晶圆清洗装置,其特征在于:包括盛装待清洗晶圆以及清洗液废水的壳体(1),壳体(1)上设置有带动待清洗晶圆水平旋转的可转动晶圆夹具(3),可转动晶圆夹具的底端伸入壳体内垂直夹持待清洗晶圆(2);位于待清洗晶圆下方的壳体内腔侧壁上设置有用于向待清洗晶圆喷洒清洗液的清洗机构(4),所述清洗机构(4)包括调节机构和喷嘴,喷嘴设置在位于腔体内的调节机构末端;所述壳体上还设置有控制可转动晶圆夹具(3)和清洗机构(4)协调动作的控制机构(5)。2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置,其特征在于:所述调节机...
【专利技术属性】
技术研发人员:李恒甫,
申请(专利权)人:华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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