一种选择性刻蚀的LDMOS器件的制造方法技术

本发明专利技术提出了一种制造位于半导体衬底上的阱区内的LDMOS器件的方法，包括：通过阱区之上的多晶硅层窗口，在阱区内形成体区和源极层，其中体区具有比源极层更深的结深；在多晶硅层窗口内侧的侧壁处形成间隔；以及通过间隔所形成的窗口，对源极层进行刻蚀至源极层被穿通，其中源极层中位于间隔正下方的区域在源极层被刻蚀的过程中受到保护，并被定义成LDMOS器件的源极区。源极区宽度由间隔的厚度决定。本发明专利技术采用间隔和选择性刻蚀形成较窄的N+/P+/N+源极/体区，从而既减小了源极区，又有效降低了制造LDMOS的成本。

【技术实现步骤摘要】
一种选择性刻蚀的LDMOS器件的制造方法
本专利技术涉及半导体器件，更具体地说，本专利技术涉及制造横向扩散型金属氧化物半导体(LDMOS，LaterallyDiffusedMetalOxideSemiconductor)器件的方法。
技术介绍
LDMOS器件因其高击穿电压、大电流及良好的温度特性而广泛应用于笔记本电脑、服务器和DC/DC电压转换电路。如图1所示，LDMOS器件包括阱区16、漏极接触区11、源极区12、栅极13、体区14以及体接触区15。本领域普通技术人员应该知道，阱区16也称作漏极漂移区。出于对性能和成本的考虑，现在许多应用场合都要求封装更小的功率器件。为了得到更小的功率器件，大量的研究关注于减小漏极区尺寸的工艺，例如降低表面电场RESURF(ReducedSurfaceField)及梯度掺杂漏极(GradedDopeDrain)等。而有一部分研究则关注于减小源极区的工艺。如图1所示，源极/体区内包括位于中心的体接触区15和分布在体接触区两边的源极区12，从而形成一个N+/P+/N+区域，减小该N+/P+/N+区域可减小源极区。但N+/P+/N+的最小面积通常会受到光掩模设备性能的限制。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种工艺，该工艺在一道掩膜工序中，采用间隔形成自对准的源极区和体接触区，替代因囿于设备性能限制而无法产生更小的源极/体区窗口的光掩膜工序。因此，本专利技术减小了LDMOS器件的源极区，并且有效降低了制造LDMOS器件的成本。本专利技术的实施例旨在提供一种制造LDMOS器件的工艺流程，其中该LDMOS器件位于半导体衬底中的具有第一掺杂类型的阱区，包括：在阱区上形成薄栅氧层；在薄栅氧层上形成多晶硅层；在多晶硅层上形成阻隔层，该阻隔层的刻蚀速度比薄栅氧层的刻蚀速度快；通过在阻隔层之上的第一掩膜层的窗口，对阻隔层和多晶硅层进行刻蚀；通过第一掩膜层的窗口，向阱区注入具有第二掺杂类型的杂质，形成体区；通过第一掩膜层的窗口，向体区注入具有第一掺杂类型的杂质，形成源极层；形成间隔，该间隔包裹刻蚀后所形成的多晶硅层窗口内侧的侧壁；通过间隔所形成的窗口，对源极层进行刻蚀至源极层被穿通，形成源极区；通过间隔所形成的窗口，向体区注入具有第二掺杂类型的杂质，形成体接触区；通过刻蚀移除间隔和阻隔层；通过第二掩膜层的窗口，对多晶硅层进行刻蚀，形成栅极；以及通过第三掩膜层的窗口，向阱区注入具有第一掺杂类型的杂质，形成漏极接触区。本专利技术的实施例旨在描述一种制造LDMOS器件的方法，包括：通过阱区之上的多晶硅层窗口，在阱区内形成体区和源极层，其中体区具有比源极层更深的结深；在多晶硅层窗口内侧的侧壁处形成间隔；以及通过间隔所形成的窗口，对源极层进行刻蚀至源极层被穿通，其中源极层中位于间隔正下方的区域在源极层被刻蚀的过程中受到保护，并被定义成LDMOS器件的源极区。本专利技术的实施例旨在进一步描述一种制造LDMOS器件的工艺流程，包括：在半导体衬底内形成阱区；在阱区上形成薄栅氧层；在薄栅氧层上形成多晶硅层；在多晶硅层上按顺序依次形成栅极密封层、氮化硅层和第一掩膜层，其中第一掩膜层包括至少一个通向氮化硅层表面的窗口；通过第一掩膜层的窗口，对氮化硅层、栅极密封层和多晶硅层进行刻蚀，暴露出阱区中对应于体区的窗口；通过体区窗口，向阱区注入P型杂质，在阱区内形成体区；通过体区窗口，向体区注入N型杂质，在体区内形成源极层，随后移除第一掩膜层；对多晶硅层窗口内侧的侧壁进行氧化；在多晶硅层窗口内侧被氧化的侧壁处形成间隔；通过间隔所形成的窗口，对源极层进行刻蚀至源极层被穿通，形成位于间隔正下方的源极区；向体区中位于源极区之间的被刻蚀的区域注入P型杂质，形成体接触区；通过刻蚀移除氮化硅层和间隔；在栅极密封层上形成第二掩膜层，其中第二掩膜层具有位置预定的窗口；通过第二掩膜层的窗口，对栅极密封层和多晶硅层进行刻蚀，形成栅极，随后移除第二掩膜层；在栅极和薄栅氧层上形成第三掩膜层，该第三掩膜层包含至少一个对应于漏极接触区的窗口；以及通过第三掩膜层的窗口，向阱区注入N型杂质，形成漏极接触区，随后移除第三掩膜层。附图说明为了更好的理解本专利技术，将根据以下附图对本专利技术的实施例进行描述。这些附图仅用于示意说明，相似的部分具有相似的数字标号。附图仅示出器件的部分特征，并且不一定按照比例进行绘制，附图的尺寸和比例可能与实际的尺寸和比例不一致。图1示出了现有的LDMOS器件的剖面图；图2示出了现有的制造LDMOS器件的工艺流程概要图；图3a-3i示出了根据本专利技术一实施例的制造具有小源极区的LDMOS器件的制程；图4示出了根据本专利技术一实施例的用于制造图3a-3i所示出的LDMOS器件的工艺流程概要图。具体实施方式下面将详细描述本专利技术的具体实施例。应当理解的是，这些实施例只用于举例说明，并不用于限制本专利技术。相反地，本专利技术应当涵盖替代、修改和等效等方式，这些方式可能在附加的权利要求所定义的精神和范围之内。另外，在以下描述中，为了提供对本专利技术的透彻理解，阐述了大量特定细节。然而，对于本领域普通技术人员显而易见的是：不必采用这些特定细节来实行本专利技术。在其他实例中，为了避免混淆本专利技术，未具体描述公知的电路、材料或方法。说明书和权利要求书中表示方位的用语，例如“左““右”“里”“外”“前”“后”“上”“下”“顶部”“底部”“正上方”“正下方”等，只用于描述，并不意味着这些相对位置是永久不变的。应当理解的是，以上术语在适当的情况下是可以互换的，从而使得相应的实施例可以在其它方向上正常工作。图2示出了现有的制造LDMOS器件的工艺流程概要图。该现有工艺可能包括以下步骤：前端工序、薄栅氧层形成、多晶硅层淀积、栅极区掩膜工序、多晶硅层刻蚀、掩膜层移除、多晶硅栅氧化、体区掩膜工序、体区注入、掩膜层移除、N+区掩膜工序、源极/漏极区注入、掩膜层移除、P+区掩膜工序、体接触区注入、掩膜层移除和后端工序。前端工序可包括：准备初始衬底、形成N型埋层、生长外延层和定义有源区。在一些应用中，前端工序还包括形成厚栅氧层。后端工序可包括：形成源极区电极、形成漏极区电极、形成体接触区电极、形成栅极电极和分布金属层。本领域普通技术人员应当知道，掩膜工序(例如“栅极区掩膜工序”)，意味着形成具有若干窗口的掩膜层，这些窗口对应于半导体衬底上表面的特定区域。例如，体区掩膜工序包括以下步骤：在半导体衬底的上表面形成掩膜层；对掩膜层进行显影，暴露出通向体区的窗口。掩膜可包括光刻胶。由图2可知，体区、体接触区和源极/漏极区通过传统的光掩模和离子注入工艺形成。因此，源极/体区的窗口大小，即图1中所示出的N+/P+/N+区显然会受到光掩膜设备性能的限制。图3a-3i示出了根据本专利技术一实施例的制造具有小源极区的LDMOS器件的制程。图3a示出了半导体衬底301。所述半导体衬底301包括初始衬底318、N型埋层(NBL)319、外延层320和阱区321，其中阱区321也被称作漏极漂移区。初始衬底318可以为N型、P型或本征半导体材料；N型埋层319可以用其他结构替代；外延层320可以为N型、P型或本征半导体材料。阱区321可以是轻掺杂的高压阱区。所述LDMOS器件形成于阱区321之内。半导体衬底301还可能集成其他电路、器件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造LDMOS器件的工艺流程，其中该LDMOS器件位于半导体衬底中的具有第一掺杂类型的阱区，包括：在阱区上形成薄栅氧层；在薄栅氧层上形成多晶硅层；在多晶硅层上形成阻隔层，该阻隔层的刻蚀速度比薄栅氧层的刻蚀速度快；通过在阻隔层之上的第一掩膜层的窗口，对阻隔层和多晶硅层进行刻蚀；通过第一掩膜层的窗口，向阱区注入具有第二掺杂类型的杂质，形成体区；通过第一掩膜层的窗口，向体区注入具有第一掺杂类型的杂质，形成源极层；形成间隔，该间隔包裹刻蚀后所形成的多晶硅层窗口内侧的侧壁；通过间隔所形成的窗口，对源极层进行刻蚀至源极层被穿通，形成源极区；通过间隔所形成的窗口，向体区注入具有第二掺杂类型的杂质，形成体接触区；通过刻蚀移除间隔和阻隔层；通过第二掩膜层的窗口，对多晶硅层进行刻蚀，形成栅极；以及通过第三掩膜层的窗口，向阱区注入具有第一掺杂类型的杂质，形成漏极接触区。

【技术特征摘要】
2016.11.18 US 15/356,5111.一种制造LDMOS器件的工艺流程，其中该LDMOS器件位于半导体衬底中的具有第一掺杂类型的阱区，包括：在阱区上形成薄栅氧层；在薄栅氧层上形成多晶硅层；在多晶硅层上形成阻隔层，该阻隔层的刻蚀速度比薄栅氧层的刻蚀速度快；通过在阻隔层之上的第一掩膜层的窗口，对阻隔层和多晶硅层进行刻蚀；通过第一掩膜层的窗口，向阱区注入具有第二掺杂类型的杂质，形成体区；通过第一掩膜层的窗口，向体区注入具有第一掺杂类型的杂质，形成源极层；形成间隔，该间隔包裹刻蚀后所形成的多晶硅层窗口内侧的侧壁；通过间隔所形成的窗口，对源极层进行刻蚀至源极层被穿通，形成源极区；通过间隔所形成的窗口，向体区注入具有第二掺杂类型的杂质，形成体接触区；通过刻蚀移除间隔和阻隔层；通过第二掩膜层的窗口，对多晶硅层进行刻蚀，形成栅极；以及通过第三掩膜层的窗口，向阱区注入具有第一掺杂类型的杂质，形成漏极接触区。2.如权利要求1所述的制造LDMOS器件的工艺流程，其中间隔的材料和阻隔层的材料具有相同的刻蚀速度。3.如权利要求1所述的制造LDMOS器件的工艺流程，其中间隔和阻隔层的材料为氮化硅。4.如权利要求1所述的制造LDMOS器件的工艺流程，还包括在形成间隔之前，对多晶硅层窗口内侧的侧壁进行氧化。5.如权利要求1所述的制造LDMOS器件的工艺流程，其中每个间隔的厚度范围为0.1微米到0.15微米。6.如权利要求1所述的制造LDMOS器件的工艺流程，其中第一掩膜层的窗口宽度为0.3微米到0.5微米。7.一种制造LDMOS器件的方法，包括：通过阱区之上的多晶硅层窗口，在...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳志亨，郑志星，乔伊·迈克格雷格，
申请(专利权)人：成都芯源系统有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51