线材管理系统技术方案

技术编号:15672300 阅读:174 留言:0更新日期:2017-06-22 19:42
本发明专利技术涉及一种线材管理系统。供线锯所用的线材管理系统具有经引导通过切割区域的切割线材,该线材管理系统包含用于供给切割线材至线锯的切割区域的线材供给单元及用于自线锯的切割区域接收切割线材的线材接收单元,其中线材供给单元及线材接收单元的至少之一包含:在部分重叠绕组中用于承载切割线材的至少一可转动贮存滚动条,用于在绕组中暂时地接收切割线材的至少一可转动储存滚动条,其中储存滚动条的可转动轴是与贮存滚动条的转动轴相一致,线材引导构件其当线材卷绕在储存滚动条上时用于引导切割线材,以致在储存滚动条上的线材绕组不会彼此部分重叠及/或与在贮存滚动条上的绕组比较位在储存滚动条上的绕组具有较低的密度。

Wire management system

The invention relates to a wire management system. Wire management system for use with the guide wire by cutting area of the cutting wire, the wire management system includes the supply unit for wire cutting cutting wire to wire the regional supply and for wire cutting wire wire cutting region receives the receiving unit, wherein at least one of the wire wire supply unit and receiving unit includes: in the overlapping part of winding wire cutting for carrying at least one rotatable storage scroll bar used in winding wire cutting temporarily receiving at least one rotatable storage scroll, which stores the rolling of the rotatable shaft is consistent with the axis of rotation of the storage scroll bar, wire guide member when the wire winding scroll bar in storage for cutting guide wire, resulting in storage on the rolling wire winding will partially overlap each other and / or in storage The winding on the scroll bar has a lower density than the winding on the stored scroll bar.

【技术实现步骤摘要】
线材管理系统分案申请说明本申请是申请日为2013年12月4日、申请号为201380028561.6、题为“线材管理系统”的中国专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术是有关于用在具有经引导穿过一切割区域的一切割线材的一线锯的一种线材管理系统、一种线锯以及一种切割方法。本专利技术特别地是有关于固定磨料锯切技术。现今,用于半导体应用、太阳能电池或发光二极管的晶圆是越来越多使用固定磨料进行切割。不再是以由金属线材运送的悬浮于研磨浆液中的磨料进行切割。该磨料是直接地附装至该金属线材。该线材被称为固定磨料线材(例如,钻石线材)。
技术介绍
锯切技术是使用于半导体、电子组件、太阳能电池、光学组件及光子学的工业。典型的经锯切(脆性)材料是砷化镓(GaAs)、锗、多晶体或单晶体或单晶硅(mono-likesilicon)、磷化铟(InP)、石英、蓝宝石或其他陶瓷材料。线锯的线材导辊是经聚胺酯涂覆在该线材接收表面上具有用于导引所述切割线材的沟槽。在所述等沟槽中所述钻石线材是形成网状涵盖所述线材导辊。所述等沟槽的节距(亦即,所述沟槽样式本身重复所涵盖的距离)连同所使用线材的直径,将决定所述等锯切晶圆的厚本文档来自技高网...
线材管理系统

【技术保护点】
一种供线锯(8)所用的线材管理系统(7),其具有经引导通过一切割区域(13)的一切割线材(3),该线材管理系统(7)包含用于供给切割线材(3)至该线锯(8)的切割区域(13)的线材供给单元(5)以及用于自该线锯(8)的切割区域(13)接收切割线材(3)的线材接收单元(6),其中该线材供给单元(5)或该线材接收单元(6)中的其一或其二包含:在部分重叠绕组中用于承载该至少一部分的切割线材(3)的至少一个可转动贮存滚动条(1);用于在绕组中暂时地接收该切割线材(3)的一部分的至少一个可转动储存滚动条(2),其中所述储存滚动条的可转动轴(2b)本质上与所述贮存滚动条(1)的转动轴(1b)相一致;一线材...

【技术特征摘要】
2012.12.04 EP 12195539.71.一种供线锯(8)所用的线材管理系统(7),其具有经引导通过一切割区域(13)的一切割线材(3),该线材管理系统(7)包含用于供给切割线材(3)至该线锯(8)的切割区域(13)的线材供给单元(5)以及用于自该线锯(8)的切割区域(13)接收切割线材(3)的线材接收单元(6),其中该线材供给单元(5)或该线材接收单元(6)中的其一或其二包含:在部分重叠绕组中用于承载该至少一部分的切割线材(3)的至少一个可转动贮存滚动条(1);用于在绕组中暂时地接收该切割线材(3)的一部分的至少一个可转动储存滚动条(2),其中所述储存滚动条的可转动轴(2b)本质上与所述贮存滚动条(1)的转动轴(1b)相一致;一线材引导构件(9),其顺应于用于引导该切割线材(3)朝向所述储存滚动条(2),以致在所述储存滚动条(2)上的线材绕组不会彼此部分重叠及/或与在所述贮存滚动条(1)上的绕组相比,位于所述储存滚动条(2)上的绕组具有一较低的密度。2.根据权利要求1所述的线材管理系统,其中该线材引导构件(9)也是顺应于以引导该切割线材(3)朝向所述贮存滚动条(1)。3.根据权利要求1所述的线材管理系统,其中所述贮存滚动条(1)及所述储存滚动条(2)彼此相邻地安装。4.根据权利要求1至3任一项所述的线材管理系统,其中所述储存滚动条(2)的线材承载表面(2a)的直径是大于所述贮存滚动条(1)的线材承载表面(1a)的直径。5.根据权利要求1至3任一项所述的线材管理系统,其中所述储存滚动条(2)的线材承载表面(2a)的长度大于所述贮存滚动条(1)的线材承载表面(1a)的长度。6.根据权利要求1至3任一项所述的线材管理系统,其中所述储存滚动条(2)能够储存超过100米的切割线材(3)。7.根据权利要求6所述的线材管理系统,其中所述储存滚动条(2)以非部分重叠的方式储存超过100米的切割线材(3)。8.根据权利要求1至3任一项所述的线材管理系统,其中所述线材供给单元(5)及所述线材接收单元(6)中至少其中之一包含同步化构件,其能够将所述贮存滚动条(1)的转速与所述储存滚动条(2)的转速彼此同步。9.根据权利要求8所述的线材管理系统,其中所述同步化构件是介于所述储存滚动条(2)与所述贮存滚动条(1)之间的固定式连接头,所述储存滚动条(2)与所述贮存滚动条(1)具有共同的转动驱动装置,或是其中每一储存滚动条(2)及贮存滚动条(1)具有其自有的转动驱动装置(10,11),其中所述同步化构件,将所述转动驱动装置(10,11)同步化。10.根据权利要求9所述的线材管理系统,其中,所述同步化构件是一与所述转动驱动装置(10,11)连接的控制装置的形式。11.根据权利要求1至3任一项所述的线材管理系统,其中所述线材引导构件(9)包含一滑动滑轮(4)它是可沿着所述储存滚动条(2)的所述转动轴(2b)移动涵盖所述储存滚动条(2)的长度。12.根据权利要求11所述的线材管理系统,其中,该滑动滑轮(4)也是可沿着所述贮存滚动条(1)的所述转动轴(1b)移动涵盖所述贮存滚动条(1)的长度,及/或其中所述线材引导构件(9)包含线材引导沟槽位于所述储存滚动条(2)的线材承载表面(2a)上。13.一种线锯(8),用于切割一件材料,该线锯(8)具有一切割区域(13),引导构件用于引导该切割线材(3)经过该切割区域(13)以及驱动构件用于在一第一方向及与该第一方向相反的一第二方向上驱动该切割线材(3),其特征在于该线锯(8)包含一如上述权利要求中任一项所述的线材管理系统。14.根据权利要求13所述的线锯,其中,所述材料为半导体材料。15.根据权利要求13所述的线锯,其中,所述材料为锭、砖或芯材。16.根据权利要求13所述的线锯,其中,该线锯(8)包含至少两个由所述切割线材(3)构成一线材卷(17)的线材引导辊(14)。17.一种切割一件材料的切割方法,利用如权利要求13所述的线锯(8),其中所述切割线材(3)通过所述切割区域(13)的移动方向是可交替地反向,其中在所述切割线材(3)在一第一方向上移动期间,切割线材(3)是自该线材供给单元(5)与该线材接收单元(6)中其中之一的该储存滚动条(2)退绕。18.根据权利要求17所述的切割方法,其中,所述材料为半导体材料。19.根据权利要求17所述的切割方法,其中,所述材料为锭、砖或芯材的形式。20.根据权利要求17所述的切割方法,其中,所述贮存滚动条(1)的转速实质上等于所述储存滚动条(2)的转速。21.根据权利要求17所述的切割方法,其中所述切割线材(3)在第一方向上移动期间,切割线材(3)是自该线材供给单元(5)的所述储存滚动条(2)退绕并经由线材卷(17)转移至所述线材接收单元(6),在此处线材卷绕在该线材接收单元(6)的该储存滚动条(2)上,以及其中于该切割线材(3)在该第二方向上移动期间,切割线材(3)是自该线材接收单元(6)的该储存滚动条(2)退绕并经由该线材卷(17)转移至一线材供给单元(5),在此处线材是卷绕在所述线材供给单元(5)的所述储存滚动条(2)上。22.根据权利要求17所述的切割方法,其中一部分的已使用过的切割线材(3)是由线材卷(17)转移至所述线材接收单元(6),在此处线材是卷绕在所述线材接收单元(6)的所述贮存滚动条(1)上是为了最后储存在那里,同时其中一部分的切割线材(3)是自该线材供给单元(5)的所述储存滚动条(2)退绕并转移至所述线材卷(17)。23.根据权利要求22所述的切割方法,其中,同时地自该线材供给单元(5)的所述储存滚动条(2)退绕并转移至所述线材卷(17)的所述一部分的切割线材(3)的长度等于由所述线材卷(17)转移至所述线材接收单元(6)的所述一部分的已使用过的切割线材(3)的长度。24.根据权利要求17所述的切割方法,其中将一部分的新切割线材(3)从所述线材供给单元(5)的所述贮存滚动条(1)退绕并转移至所述线材卷(17)以便部分地更新所述线材卷(17),以及其中同时地一部分的切割线材(3)是从所述线材卷(17)转移至所述线材接收单元(6),在此处线材是卷绕在所述线材接收单元(6)的所述储存滚动条(2)上,及/或在将使用过切割线材(3)的一部分卷绕在所述线材接收单元(6)的所述贮存滚动条(1)上后,所述切割线材(3)保持在相同方向移动通过所述切割区域(13),同时其是被所述线材引导构件(9)导引而后续地卷绕在所述线材接收单元(6)的所述储存滚动条(2)上...

【专利技术属性】
技术研发人员:斯特凡·胡根柏格克里斯托夫·海尼格
申请(专利权)人:梅耶博格公司
类型:发明
国别省市:瑞士,CH

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