【技术实现步骤摘要】
一种空气隔离器
本技术涉及半导体设备领域,尤其涉及一种空气隔离器。
技术介绍
外延生长设备是半导体领域常用的晶圆设备。外延生长设备的腔体常常需要维护保养,每次保养往往会使得腔体暴露在空气中例如12小时导致在UpDome(腔体上表面石英)形成SiO2膜层影响高温计测试异常,从而影响产品品质。
技术实现思路
针对上述问题,本技术提出了一种空气隔离器,应用于维护包括一腔体的一外延生长设备;包括:外盖,底部设置有用于与所述腔体对接的一对接口;所述外盖上还开设有一进气口,所述进气口用于接收外部导入的隔离气体并将所述隔离气体充盈在所述外盖与所述腔体之间;所述外盖上还开设有至少一个操作口,至少一个所述操作口的开口尺寸供维护人员的手臂进入。上述的空气隔离器,其中,所述操作口由柔性遮盖物进行密封。上述的空气隔离器,其中,还包括:一提手,设置于所述外盖的顶部。上述的空气隔离器,其中,还包括:一过滤器,通过一管道与所述进气口连接。上述的空气隔离器,其中,还包括:阀门,设置于所述管道上,用于控制所述管道的通断。上述的空气隔离器,其中,所述隔离气体为氮气。有益效果:本技术提出的一种空气隔离器使得能够保证维护人员在维护外延生长设备时,腔体与空气隔绝,进而使得腔体上表面石英不会被氧化,以保证高温计的测试结果以及产品的质量。附图说明图1为本技术一实施例中空气隔离器的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术进行进一步说明。在一个较佳的实施例中,如图1所示,提出了一种空气隔离器,可以应用于维护包括一腔体的一外延生长设备;可以包括:外盖10,底部可以设置有用于与腔体对接的一对接口(附图中未 ...
【技术保护点】
一种空气隔离器,应用于维护包括一腔体的一外延生长设备;其特征在于,包括:外盖,底部设置有用于与所述腔体对接的一对接口;所述外盖上还开设有一进气口,所述进气口用于接收外部导入的隔离气体并将所述隔离气体充盈在所述外盖与所述腔体之间;所述外盖上还开设有至少一个操作口,至少一个所述操作口的开口尺寸供维护人员的手臂进入。
【技术特征摘要】
1.一种空气隔离器,应用于维护包括一腔体的一外延生长设备;其特征在于,包括:外盖,底部设置有用于与所述腔体对接的一对接口;所述外盖上还开设有一进气口,所述进气口用于接收外部导入的隔离气体并将所述隔离气体充盈在所述外盖与所述腔体之间;所述外盖上还开设有至少一个操作口,至少一个所述操作口的开口尺寸供维护人员的手臂进入。2.根据权利要求1所述的空气隔离器,其特征在于,所述操作口...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨辉,沈开春,刘品,
申请(专利权)人:中航重庆微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:重庆,50
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