填料填充膜、片状膜、层叠膜、贴合体和填料填充膜的制造方法技术

本发明专利技术提供一种填料填充膜、片状膜、层叠膜、贴合体和填料填充膜的制造方法。为了解决上述课题，根据本发明专利技术的观点，提供一种填料填充膜，其具有膜主体、在膜主体的表面形成的多个凹部和填充在各个凹部中的填料，凹部的开口面的直径至少大于可见光波长，凹部的排列图案具有沿着膜主体的长度方向的周期性，膜主体的一个端部中的填料的填充率与膜主体的其他部分中的填料的填充率之差小于0.5％。

Method for producing filling film, sheet film, laminated film, paste and filler filling film

The invention provides a method for manufacturing a filler film, a sheet film, a laminated film, a paste and a filling film. In order to solve the above problem, according to the present invention, provides a packing film, the film has a plurality of recesses on the surface of the main body, membrane formation and filling in each recess, the diameter of the opening surface of the concave part is at least more than the wavelength of visible light, periodic arrangement of concave pattern with the length direction along the membrane of the main body, one end of the body membrane filler rate and membrane in other parts of the body filler filling rate is less than 0.5%.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】填料填充膜、片状膜、层叠膜、贴合体和填料填充膜的制造方法
本专利技术涉及填料填充膜、片状膜、层叠膜、贴合体和填料填充膜的制造方法。
技术介绍
近年来，开发和使用了各种各样的压花膜。作为这样的压花膜已知有，凹部的直径为1μm以上且凹部的排列图案具有沿着压花膜长度方向的周期性的压花膜。即，这样的压花膜中，相同的排列图案在压花膜的长度方向上重复形成。这样的压花膜例如作为填料填充膜来使用。填料填充膜是在压花膜的凹部填充填料来得到的。此外，使用印模原盘(スタンパ原盤)来制作这样的压花膜。印模原盘是在平板状的基板的表面(转印面)上形成上述排列图案的反转形状(即，多个凸部)而得到的。而且，通过将印模原盘的转印面形状依次转印到被转印膜上，来制作压花膜。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2009-258751号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，使用印模原盘来制作压花膜的方法中，存在有如下的问题：非常难以准确地进行相对于被转印膜的印模原盘的位置确定等。因此，由该方法制作的压花膜中，会有易于发生凹部不良(位置偏移、缺损、变形等)的问题。在成为不良的凹部中，就有不能填充填料的情形。此外，凹部的不良随着填料填充膜的变长而变得易于增加。因此，填料的填充率在填料填充膜的长度方向上产生不均匀这样的问题。需说明的是，专利文献1中公开了由辊对辊的方式制作蛾眼膜(モスアイフィルム)的方法。该方法中，首先，准备了在周面上形成有蛾眼膜的反转形状的圆柱形状的原盘。然后，通过将原盘的周面形状转印到膜上来制作蛾眼膜。但是，这样的蛾眼膜中，凹凸的直径非常小(不足1μm)，因而不能解决上述的问题。鉴于上述问题，在此提出了本专利技术，本专利技术的目的在于提供填料的填充率更加稳定的、新型且改良了的填料填充膜、片状膜、层叠膜、贴合体以及填料填充膜的制造方法。解决课题的方法为了解决上述课题，根据本专利技术的一个观点，提供一种填料填充膜，其具有膜主体、在膜主体的表面上形成的多个凹部和在各个凹部中填充的填料，凹部的开口面的直径至少大于可见光波长，凹部的排列图案具有沿着膜主体长度方向的周期性，膜主体的一个端部中的填料的填充率与膜主体的其他部分中的填料的填充率之差小于0.5％。这里，膜主体还可以是长膜。此外，填料的填充率还可以具有沿着膜主体长度方向的周期性。此外，全部的凹部还可以是大致相同的形状。此外，膜主体的每单位面积中填充的填料的数量还可以为50,000,000个/cm2以下。此外，填料在凹部内还可以与膜主体一体化。此外，还可以具有在膜主体的表面中至少一部分形成的被覆层。此外，被覆层还可以形成在凹部的表面、凹部间的凸部的表面和填料的露出面中至少一部分上。此外，被覆层还可以含有无机材料。此外，膜主体还可以由固化性树脂或可塑性树脂来形成。根据本专利技术的其他观点，提供一种片状膜，其通过将上述填料填充膜切割成多张来制作。根据本专利技术的其他观点，提供由上述膜层叠而成的层叠膜。这里，还可以具有在膜主体的背面形成的粘着层。根据本专利技术的其他观点，提供具有上述膜和贴合有上述膜的基材的贴合体。根据本专利技术的其他观点，提供一种填料填充膜的制造方法，包括：准备在周面上形成有多个凸部的圆筒状或圆柱状的原盘的步骤；在以辊对辊方式搬送长条形的被转印膜的同时使原盘的周面形状转印到被转印膜上，从而制作膜主体的步骤；在膜主体的表面形成的多个凹部中填充填料的步骤；其中，凹部的开口面的直径至少大于可见光波长，膜主体的一个端部中的填料的填充率与膜主体的其他部分中的填料的填充率之差小于0.5％。根据本专利技术的上述各观点的填料填充膜，膜主体的一个端部中的填料的填充率与膜主体的其他部分中的填料的填充率之差小于0.5％。因此使得填料的填充率更加稳定。专利技术效果如上所述，根据本专利技术，能够使得填料的填充率更加稳定。附图说明[图1]是示意地显示本专利技术的实施方式所涉及的填料填充膜的构成的平面图。[图2]是示意地显示该实施方式所涉及的填料填充膜的构成的侧截面图。[图3]是示意地显示从填料填充膜的各部分至膜起始点的距离与各部分的填料填充率的对应关系的曲线。[图4]是示意地显示填料填充膜的变形例的侧截面图。[图5]是示意地显示填料填充膜的变形例的侧截面图。[图6]是示意地显示填料填充膜的变形例的侧截面图。[图7]是示意地显示填料填充膜的变形例的侧截面图。[图8]是示意地显示填料填充膜的变形例的侧截面图。[图9]是示意地显示填料填充膜的变形例的侧截面图。[图10]是示意地显示用于制作膜主体的转印装置的构成的说明图。[图11]是显示曝光装置的构成例的框图。[图12]是示意地显示原盘的构成例的立体图。[图13]是显示膜主体的一例的SEM(扫描电子显微镜)照片。[图14]是显示膜主体的一例的SEM照片。具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术的适宜的实施方式进行详细说明。需说明的是，在本说明书和附图中，对于实质上具有相同功能构成的构成要素，赋予相同的符号，因而省略重复说明。＜1.填料填充膜的构成＞首先，基于图1～图3，对本实施方式所涉及的填料填充膜1的构成进行说明。如图1所示，填料填充膜1具有膜主体2、在膜主体2的表面形成的多个凹部3和在各个凹部3中填充的填料4。膜主体2是形成有多个凹部3的膜。构成膜主体2的材料没有特别要求。例如，膜主体2还可以由任意的固化性树脂或可塑性树脂形成。这里，作为固化性树脂，可以列举光固化性树脂、热固化性树脂。作为可塑性树脂，可以列举热塑性树脂(更详细地为由受热而熔融的结晶性树脂)等。因此，膜主体2还可以由例如光固化性树脂、热固化性树脂和热塑性树脂中的至少1种以上来形成。在膜主体2由光固化性树脂或热固化性树脂形成时，膜主体2还可以由薄片状的被转印基材膜161和在被转印基材膜161上形成的固化树脂层162a来构成(参照图10)。固化树脂层162a是将光固化性树脂或热固化性树脂固化后的层。在固化树脂层162a的表面形成凹部3。还可以是，将固化性树脂和构成被转印基材膜的树脂在混合的状态下膜主体2被成膜。此外，对于膜主体2的厚度也没有特别要求。膜主体2的厚度可以根据上述的被转印基材膜161的有无来进行调整。例如，在膜主体2具备被转印基材膜161的情况下，膜主体2的厚度可以为10～300μm。这种情况下，固化树脂层162a的厚度还可以是1～50μm，被转印基材膜161的厚度可以是9～250μm。另一方面，在膜主体2不具备被转印基材膜161的情况下，膜主体2的厚度可以为8～200μm。此外，对于膜主体2的宽度也没有特别要求。例如，膜主体2的宽度可以为0.05～300cm。对膜主体2的长度也没有特别要求。但是，在膜主体2是长膜的情形下，后述的填料填充率的不均匀性变得容易增大。因此，膜主体2是长膜的情形下，更显著地体现出本实施方式的效果。例如，膜主体2的长度的下限值可以为5m、10m、30m、50m、100m、200m、300m、和500m的任一值。凹部3在膜主体2的表面形成有多个。凹部3的开口面的直径至少要大于可见光波长。这里，凹部3的开口面的直径是包含例如凹部3的开口面的最小的圆(例如凹部3的开口面的外接圆)的直径。凹部3的开口面的直径，具体而言，优选为0.8～500μm，更优选为1.0～300μm，特别优选大于1.6μm且本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种填料填充膜，具有：膜主体，在所述膜主体的表面形成的多个凹部，和在各个所述凹部中填充的填料；所述凹部的开口面的直径至少大于可见光波长，所述凹部的排列图案具有沿着所述膜主体的长度方向的周期性，所述膜主体的一个端部中的所述填料的填充率与所述膜主体的其他部分中的所述填料的填充率之差小于0.5％。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.10.28 JP 2014-219784;2015.10.23 JP 2015-209371.一种填料填充膜，具有：膜主体，在所述膜主体的表面形成的多个凹部，和在各个所述凹部中填充的填料；所述凹部的开口面的直径至少大于可见光波长，所述凹部的排列图案具有沿着所述膜主体的长度方向的周期性，所述膜主体的一个端部中的所述填料的填充率与所述膜主体的其他部分中的所述填料的填充率之差小于0.5％。2.如权利要求1所述的填料填充膜，所述膜主体是长膜。3.如权利要求1或2所述的填料填充膜，所述填料的填充率具有沿着所述膜主体的长度方向的周期性。4.如权利要求1～3任一项所述的填料填充膜，全部的所述凹部为大致相同的形状。5.如权利要求1～4任一项所述的填料填充膜，所述膜主体的每单位面积中填充的填料的数量为50,000,000个/cm2以下。6.如权利要求1～5任一项所述的填料填充膜，所述填料在所述凹部内与所述膜主体一体化。7.如权利要求1～6任一项所述的填料填充膜，具备在所述膜主体...

【专利技术属性】
技术研发人员：村本穰，菊池正尚，
申请(专利权)人：迪睿合株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP