弹性波装置、双工器以及多工器制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制不需要模式的影响的弹性波装置。本发明专利技术的弹性波装置，在压电基板(9)上并列设置有第一纵向耦合谐振器型弹性波元件(11)和第二纵向耦合谐振器型弹性波元件(12)，第一纵向耦合谐振器型弹性波元件(11)的第二反射器(22)与第二纵向耦合谐振器型弹性波元件(12)的第三反射器(23)在弹性波传播方向上相邻，接地布线(27)在第二反射器(22)与第三反射器(23)之间的区域中在与弹性波传播方向交叉的方向上延伸，在接地布线(27)的在第二反射器(22)与第三反射器(23)之间延伸的部分中的从弹性波传播方向观察时与弹性波传播区域重叠的部分中，作为声速与剩余的部分不同的异声速部分而设置有缝隙部(26c)。

【技术实现步骤摘要】
弹性波装置、双工器以及多工器
本专利技术涉及具有多个纵向耦合谐振器型弹性波元件的弹性波装置、以及具有该弹性波装置的双工器和多工器。
技术介绍
以往，提出了各种使用了纵向耦合谐振器型弹性波元件的滤波器装置等。在下述的专利文献1记载的弹性波装置中，在压电基板上配置有第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器和第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器和第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器并列设置为，从弹性波传播方向观察时，彼此的弹性波传播区域重叠。此外，第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器与第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器并联连接。在第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器、第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器相邻的一侧的反射器之间的区域设置有接地布线。在先技术文献专利文献专利文献1：WO09/150786
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献1记载的弹性波装置中，也与其它的电子部件同样地要求小型化。因此，需要缩短第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器、第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的相邻的反射器之间的距离。另一方面，在纵向耦合谐振器型弹性波滤波器中并不能完全约束住波，因此存在波在弹性波传播方向上泄漏到反射器的外侧的情况。因此，从第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器向第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器侧泄漏的波与从第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器向第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器侧泄漏的波相互干涉。在该情况下，当第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器、第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器间的距离缩短时，由作为不需要模式的波的干涉造成的影响变得更大。另外，也能够将反射器设计为，不会产生作为不需要模式的、例如位于通带低频侧的高次的纵模式。不过，在该情况下，难以得到通带低频侧的陡峭性。本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制不需要模式的影响的弹性波装置。此外，本专利技术的另一个目的在于，提供一种能够兼顾对不需要模式的影响的抑制和通带的低频侧的陡峭性的、作为带通型滤波器的弹性波装置、双工器以及多工器。用于解决课题的技术方案本专利技术的弹性波装置具备：压电基板；第一纵向耦合谐振器型弹性波元件，设置在所述压电基板上，具有多个IDT电极、配置在设置有所述多个IDT电极的部分的弹性波传播方向一侧的第一反射器、以及配置在设置有所述多个IDT电极的部分的弹性波传播方向另一侧的第二反射器；第二纵向耦合谐振器型弹性波元件，在所述压电基板上，沿着所述弹性波传播方向与所述第一纵向耦合谐振器型弹性波元件并列设置，具有多个IDT电极、配置在设置有所述多个IDT电极的部分的弹性波传播方向一侧的第三反射器、以及配置在设置有所述多个IDT电极的部分的弹性波传播方向另一侧的第四反射器；以及接地布线，设置在所述压电基板上并且设置为与所述第一纵向耦合谐振器型弹性波元件和第二纵向耦合谐振器型弹性波元件电连接，所述第二反射器与所述第三反射器在弹性波传播方向上相邻，所述接地布线在所述第二反射器与所述第三反射器之间的区域中在与所述弹性波传播方向交叉的方向上延伸，在所述接地布线的在所述第二反射器与所述第三反射器之间延伸的部分中的从弹性波传播方向观察时与所述第一纵向耦合谐振器型弹性波元件、第二纵向耦合谐振器型弹性波元件的弹性波传播区域重叠的部分，设置有声速与剩余的部分的声速不同的异声速部分。在本专利技术涉及的弹性波装置的某个特定的方面中，所述接地布线具有第一布线层，所述第一布线层设置为与所述第二反射器和第三反射器相连，且填充所述第二反射器与所述第三反射器之间的所述区域。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，所述接地布线具有第二布线层，所述第二布线层在所述第二反射器与所述第三反射器之间的区域内层叠在所述第一布线层，且不与所述第二反射器、第三反射器相连，在所述第二布线层中，作为所述异声速部分而设置有沿着弹性波传播方向的尺寸比剩余的部分小的部分。在该情况下，仅通过在第二布线层中设置沿着弹性波传播方向的尺寸比剩余的部分相对小的部分就能够容易地形成异声速部分。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述异声速部分的沿着弹性波传播方向的尺寸为0，所述异声速部分是分割所述第二布线层的缝隙部。在该情况下，仅通过在第二布线层将第二布线层成膜为具有上述缝隙部就能够容易地形成异声速部分。此外，能够使异声速部分与其它部分的声速差足够大。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，还具备质量附加构件，所述质量附加构件在所述接地布线的在所述第二反射器与所述第三反射器之间的区域延伸且在弹性波传播方向上与弹性波传播区域重叠的部分内，在与弹性波传播方向交叉的方向上部分地层叠，所述质量附加构件构成所述异声速部分。在该情况下，作为质量附加构件能够使用各种材料，能够容易地形成异声速部分。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述第一纵向耦合谐振器型弹性波元件是第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，所述第二纵向耦合谐振器型弹性波元件是第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。在该情况下，不是通过反射器的设计来抑制不需要模式的影响，而是通过异声速部分来抑制不需要模式的影响，因此能够兼顾不需要模式的抑制和通带低频侧的陡峭性。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，弹性波装置是并联连接了所述第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器、第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的带通型滤波器。本专利技术涉及的双工器是具有接收滤波器和发送滤波器的双工器，所述接收滤波器和所述发送滤波器中的至少一方是由按照本专利技术构成的弹性波装置构成的带通型滤波器。本专利技术涉及的多工器是具备多个带通型滤波器的多工器，至少一个带通型滤波器由按照本专利技术构成的弹性波装置构成。专利技术效果根据本专利技术涉及的弹性波装置，能够抑制不需要模式的影响。此外，在本专利技术中，在第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器、第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器为带通型滤波器的情况下，能够兼顾对不需要模式的影响的抑制和通带的低频侧的陡峭性。附图说明图1是作为本专利技术的第一实施方式的双工器的电路图。图2是示出在第一实施方式的双工器的接收滤波器中第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器、第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器彼此进行并联连接的结构的示意性俯视图。图3(a)是局部切掉俯视图，示出在第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器与第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器之间第二反射器与第三反射器彼此相邻的部分中，第二反射器、第三反射器以及接地布线的第一布线层，图3(b)是示出在图3(a)的第一布线层上层叠有第二布线层的状态的局部切掉放大俯视图。图4是示出本专利技术的实施方式的接收滤波器和比较例的接收滤波器的衰减量频率特性的图。图5是示出本专利技术的实施方式的双工器的接收滤波器和比较例的接收滤波器中的回波损耗特性的图。图6是示出实施方式和比较例的接收滤波器中的阻抗史密斯图的图。图7是示出本专利技术中的异声速部分(differentacousticvelocityportion)的第一变形例的局部切掉俯视图。图8(a)是用于说明本专利技术的异声速部分的第二变形例的局部切掉俯视图，图8(b)是沿着图8(a)中的C-C线的部分的剖视图。图中，1-双工器，2-天线端子，3-发送端子，4-接收端子，5-发送滤波器，6-接收滤波器，7-纵向耦合谐振器型弹性波滤波器部，8-串联臂谐本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波装置，具备：压电基板；第一纵向耦合谐振器型弹性波元件，设置在所述压电基板上，具有：多个IDT电极；第一反射器，配置在设置有所述多个IDT电极的部分的弹性波传播方向一侧：以及第二反射器，配置在设置有所述多个IDT电极的部分的弹性波传播方向另一侧；第二纵向耦合谐振器型弹性波元件，在所述压电基板上，沿着所述弹性波传播方向与所述第一纵向耦合谐振器型弹性波元件并列设置，具有：多个IDT电极；第三反射器，配置在设置有所述多个IDT电极的部分的弹性波传播方向一侧；以及第四反射器，配置在设置有所述多个IDT电极的部分的弹性波传播方向另一侧；以及接地布线，设置在所述压电基板上，并且设置为与所述第一纵向耦合谐振器型弹性波元件和第二纵向耦合谐振器型弹性波元件电连接，所述第二反射器与所述第三反射器在弹性波传播方向上相邻，所述接地布线在所述第二反射器与所述第三反射器之间的区域中在与所述弹性波传播方向交叉的方向上延伸，在所述接地布线的在所述第二反射器与所述第三反射器之间延伸的部分中的从弹性波传播方向观察时与所述第一纵向耦合谐振器型弹性波元件、第二纵向耦合谐振器型弹性波元件的弹性波传播区域重叠的部分，设置有声速与剩余的部分的声速不同的异声速部分。...

【技术特征摘要】
2015.11.19 JP 2015-2269281.一种弹性波装置，具备：压电基板；第一纵向耦合谐振器型弹性波元件，设置在所述压电基板上，具有：多个IDT电极；第一反射器，配置在设置有所述多个IDT电极的部分的弹性波传播方向一侧：以及第二反射器，配置在设置有所述多个IDT电极的部分的弹性波传播方向另一侧；第二纵向耦合谐振器型弹性波元件，在所述压电基板上，沿着所述弹性波传播方向与所述第一纵向耦合谐振器型弹性波元件并列设置，具有：多个IDT电极；第三反射器，配置在设置有所述多个IDT电极的部分的弹性波传播方向一侧；以及第四反射器，配置在设置有所述多个IDT电极的部分的弹性波传播方向另一侧；以及接地布线，设置在所述压电基板上，并且设置为与所述第一纵向耦合谐振器型弹性波元件和第二纵向耦合谐振器型弹性波元件电连接，所述第二反射器与所述第三反射器在弹性波传播方向上相邻，所述接地布线在所述第二反射器与所述第三反射器之间的区域中在与所述弹性波传播方向交叉的方向上延伸，在所述接地布线的在所述第二反射器与所述第三反射器之间延伸的部分中的从弹性波传播方向观察时与所述第一纵向耦合谐振器型弹性波元件、第二纵向耦合谐振器型弹性波元件的弹性波传播区域重叠的部分，设置有声速与剩余的部分的声速不同的异声速部分。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述接地布线具有第一布线层，所述第一布线层设置为与所述第二反射器和第三反射器相连，且填充所述第二反射器与所述第三反射器之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：小中阳平，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP