搬运装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种搬运装置，其用于将对象物向第一方向搬运，具备：悬浮部，其喷出气体，并利用上述气体对上述对象物和上述悬浮部之间的空间加压而使上述对象物悬浮；搬运部，其具备环形的皮带和多个突起，该皮带沿上述悬浮部在上述第一方向上延伸，该多个突起为了与上述对象物接触而从上述皮带突出且在上述第一方向上排列，该搬运部构成为与上述对象物一体地使上述皮带向上述第一方向移动；以及吸引部，其具备以使上述多个突起各自的上端突出的方式覆盖上述皮带的罩，以及设于上述罩且使上述气体在上述罩的上面与上述对象物之间的间隙流出的开口，由此使沿上述对象物的上述气体的流动产生负压而将上述对象物向上述多个突起吸引。

Handling device

The present invention provides a conveying device, which is used for the object to the first direction of handling, has suspended, the emitting gas, and use the gas between the object and the suspension space and the pressure of the object suspended; handling department, with the ring belt and a plurality of protrusions, the the belt extends along the suspension in the first direction, the plurality of protrusions in contact with the object from the belt and outstanding in the first direction of the Ministry of construction arrangement, handling and become the object of the integrated belt moves to the first direction; and the suction section with the belt cover to make the multiple projections highlight the way their upper cover, and is arranged on the cover and the gas gap above the cover between the object and the outflow Thereby, a negative pressure is generated by the flow of the gas along the object, and the object is attracted to the plurality of protrusions.

【技术实现步骤摘要】
搬运装置本申请为分案申请；其母案的申请号为“2013800200618”，专利技术名称为“搬运装置”。
本专利技术涉及搬运装置，其使像薄玻璃一样的基板悬浮并搬运。
技术介绍
在液晶显示器所代表的平板显示器的制造中，为了不损伤像较薄的玻璃一样的基板地进行搬运，而利用使基板悬浮地搬运的搬运装置。这样的搬运装置通常具备喷出压缩空气的悬浮装置，再有还具备与悬浮的基板接触并对其施以驱动力的皮带传送机或者辊式传送机。附着于玻璃基板的尘埃或其表面的划痕对显示器的品质有重大的影响。而形成尘埃附着或表面划痕的主要原因之一是玻璃基板与搬运装置等接触。另一方面，因为玻璃基板由于厚度例如为0.7mm或者更薄而具有可挠性，所以为了防止搬运中的接触而重视将基板保持平坦地搬运。近年来需求更薄的玻璃，要保持其平坦地搬运越来越难。专利文献1公开了具备皮带传送机的搬运装置的技术。根据该技术，皮带具备等间隔地配置的突起，并通过突起与悬浮的玻璃基板接触而将其搬运。专利文献2公开了具备辊式传送机的搬运装置的技术。根据专利文献2的“玻璃基板的轧制线中央部向上方较大地浮起、垂下的弯曲变得显著。”被认作技术课题。为了解决这个问题，通过由宽度方向中央位置的气动台单元调节空气供给量，来抑制玻璃基板的弯曲。现有技术文献专利文献专利文献1:日本国专利申请公开2008－066661号专利文献2:日本国专利申请公开2008－260591号
技术实现思路
专利技术所要解决的课题像上述一样的技术能够将玻璃基板大致平坦地保持。但是，对于像搬运方向上的前端的弯曲一样的局部的弯曲来说，还存在技术课题。即，在玻璃基板从一个辊向下一个辊移动时，或者从一个搬运装置向下一个搬运装置移动时，因为前端不受支撑，前端因自重而向下方弯曲。存在前端易于与辊或者搬运装置冲突的问题。本专利技术鉴于上述问题而做成。与像上述一样的技术常识相反，本专利技术的专利技术人员提出以下方法并设计本专利技术，仅将玻璃基板宽度方向的两端平坦地支撑，通过使玻璃基板的中央部稍稍弯曲来抑制前端的弯曲。用于解决课题的方法根据本专利技术的第一方案，用于将对象物向第一方向搬运的搬运装置具备：悬浮部，其喷出气体，并利用上述气体对上述对象物和上述悬浮部之间的空间加压而使上述对象物悬浮；搬运部，其具备环形的皮带和多个突起，该皮带沿上述悬浮部在上述第一方向上延伸，该多个突起为了与上述对象物接触而从上述皮带突出且在上述第一方向上排列，该搬运部构成为与上述对象物一体地使上述皮带向上述第一方向移动；以及吸引部，其具备以使上述多个突起各自的上端突出的方式覆盖上述皮带的罩，以及设于上述罩且使上述气体在上述罩的上面与上述对象物之间的间隙流出的开口，由此使沿上述对象物的上述气体的流动产生负压而将上述对象物向上述多个突起吸引。专利技术效果能够防止基板的前端弯折并能够防止基板与搬运装置等冲突。附图说明图1是表示本专利技术的一个实施方式的搬运装置的一部分的立体图。图2是本实施方式的搬运装置的三视图。图3是本实施方式的搬运部以及吸引部的横剖视图。图4是其他的实施方式的搬运部以及吸引部的横剖视图。图5是另外的实施方式的吸引部以及搬运部的立体图以及俯视图。具体实施方式以下参照附图来说明本专利技术的几个例示的实施方式。本专利技术的实施方式的搬运装置能够适当地利用于在例如清洁室内搬运像玻璃基板一样的较薄对象物。在玻璃基板的情况下，不仅能选取厚度0.7mm左右的对象，还能选取厚度0.1～0.3mm左右的极薄的对象。参照图1，本专利技术的一实施方式的搬运装置100具备使工件W(对象物)悬浮的悬浮部116和将工件W向方向X(第一方向)驱动的搬运部120。悬浮部116具备喷出气体的开口116a，喷出的气体对工件W施以正压，以使工件W悬浮。搬运部120具备被马达等向方向X驱动的多个突起114，突起114通过与工件W接触来搬运工件W。对搬运部120的详细将于后述，其通过具备吸引部128，吸引突起114周围的气体而使工件W与突起114接触。也可以不要悬浮部116而仅通过搬运部120支撑并搬运工件W。参照图2进行更详细的说明。图2(a)是一同观察罩与搬运装置的俯视图，图2(b)、(c)是在将罩取下的状态下观察搬运装置的立视图以及侧视图。皮带112和悬浮部116被一同支撑于支撑台118，支撑台118通过支撑脚118a设置于清洁室的地板或格板上。悬浮部116排列在支撑台118上，例如沿方向X排列有多个悬浮部116，在与方向X正交的方向(宽度方向)上也排列有多个悬浮部116。排列的数量能够自由地选择，因此，能够对应对象物的大小来任意更改装置的构成。搬运部120通常配置于多个悬浮部116的宽度方向的两端，也能够以其他的方式配置。悬浮部116的整体为箱型，其上表面大致平坦。上表面具备朝向上方开口的开口116a，开口116a贯通上表面并与内部的空间连通。开口116a也可以是例如图1、2一样的圆形切口、矩形或多个切口、或者多个小孔等，可以是种种形状。另外，开口116a可以铅垂地贯通上表面，也可以相对于上表面倾斜。或者也可以悬浮部116的上表面的一部分或者整体为具有通气性的网眼体或多孔质体。与开口116a连通地在外部设置有气体供给装置，供给像空气或氮气一样的气体G并从开口116a喷出。气体供给装置是对气体G加压地向悬浮部116供给气体G的泵或者压缩器。可以在一个悬浮部116上连结一个气体供给装置，或者也可以在多个悬浮部116上连结一个气体供给装置。另外，气体供给装置和悬浮部116之间具有贮留一定量压缩气体的气室。由开口116a喷出的气体G在工件W和悬浮部116之间产生被加压的空间P，以此对工件W加压并施以悬浮力。此时，不仅是通过喷出的气体G冲撞工件W而产生的力，冲撞后的气体G向周围分散而去的过程中产生的静压也是悬浮力来源。因此，能够以较小的加压力得到较大的悬浮力，在能量效率方面也优秀。皮带112概括来说是在两个以上的轮110间旋转的环形的皮带，搬运部120的整体为皮带传送机。轮110分别被框架102支撑。如上所述，搬运部120配置于多个悬浮部116的宽度方向两端，并且以其皮带112沿方向X延伸的方式被定向。在轮110上结合有旋转轴110a，通过旋转轴110a被框架102的支撑孔102a轴支撑，轮110能够绕其旋转。在旋转轴110a上结合有齿轮110b，并一体地旋转。为了结合，例如既可以采用相互嵌合的键和键槽的组合，也可以采用一体构造来代替嵌合。搬运装置100还可以具备像电动马达一样的驱动装置110c。驱动装置110c具备与齿轮110b啮合的齿轮110d，以此通过驱动装置110c的驱动使轮110旋转，使皮带112在轮110间旋转。或者也可以驱动装置直接驱动轮，或者还可以插入适当的齿轮、小齿轮装置。皮带112具备向外方突出的多个突起114。另外，多个突起114沿方向X并列地排列。突起114可以与皮带112一体，或者也可以是不同部件而后卡合于皮带。突起114如后所述，以稍高于工件W的悬浮高度的方式形成。其形状可以是圆筒、长方体、锥体或者其他任何形状。另外，其前端既可以平坦，或者也可以是与工件W的接触面积减小的球形或锥形。另外，前端也可以具有向悬浮部116下降的倾斜。对该方式将于后述。参照图3，皮带112以及突起114被罩126覆盖。罩1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种搬运装置，其用于将对象物向第一方向搬运，该搬运装置的特征在于，具备：悬浮部，其喷出气体，并利用上述气体对上述对象物和上述悬浮部之间的空间加压而使上述对象物悬浮；搬运部，其具备环形的皮带和多个突起，该皮带沿上述悬浮部在上述第一方向上延伸，该多个突起为了与上述对象物接触而从上述皮带突出且在上述第一方向上排列，该搬运部构成为与上述对象物一体地使上述皮带向上述第一方向移动；以及吸引部，其具备以使上述多个突起各自的上端突出的方式覆盖上述皮带的罩，以及设于上述罩且使上述气体在上述罩的上面与上述对象物之间的间隙流出的开口，由此使沿上述对象物的上述气体的流动产生负压而将上述对象物向上述多个突起吸引。

【技术特征摘要】
2012.04.26 JP 2012-1005561.一种搬运装置，其用于将对象物向第一方向搬运，该搬运装置的特征在于，具备：悬浮部，其喷出气体，并利用上述气体对上述对象物和上述悬浮部之间的空间加压而使上述对象物悬浮；搬运部，其具备环形的皮带和多个突起，该皮带沿上述悬浮部在上述第一方向上延伸，该多个突起为了与上述对象物接触而从上述皮带突出且在上述第一方向上排列，该搬运部构成为与上述对象物一体地使上述皮带向上述第一方向移动；以及吸引部，其具备以使上述多个突起各自的上端突出的方式覆盖上述皮带的罩，以及设于上述罩且使上述气体在上述罩的上面与上述对象物之间的间隙流出的开口，由此使沿上述对象物的上述气体的流动产生负压...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏，松尾研吾，和田芳幸，
申请(专利权)人：株式会社IHI，
类型：发明
国别省市：日本,JP