能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体，包括真空腔体本体，真空腔体本体内形成真空腔室，真空腔室的顶部固定设有用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具，真空腔室的底部设有形状和用于将薄膜材料加热蒸发的蒸发加热装置匹配的台阶，真空腔体本体上还设有通道，用于对真空腔室抽真空的抽真空装置通过通道与真空腔体本体连通，通道内壁上设有若干个和通道连接的弹性材质制成的碎冰尖角，碎冰尖角上下间隔设置，每个碎冰尖角的规格相同，碎冰尖角的长度超过通道高度的一半。本实用新型专利技术充分利用真空腔体抽真空放大气时的气流动能，使得在反复抽真空放大气的过程中弹性的碎冰尖角互相打击，不需能源就使得刚结成的冰被打碎。

Optical vacuum chamber capable of avoiding freezing in inlet and outlet chamber

The utility model discloses a freezing chamber can avoid the optical import and export chamber with a vacuum chamber, vacuum chamber comprises a vacuum cavity body, the body form a vacuum chamber, the top of the vacuum chamber is fixedly provided with sample clamp for clamping for vacuum coating samples, the vacuum chamber is arranged at the bottom of the heating device for evaporation and shape heating films, evaporation steps, vacuum chamber body is provided with a channel for communication through channel and the vacuum cavity body vacuum pumping device of vacuum chamber of vacuum pumping, the channel is arranged on the inner wall is made of elastic material and a plurality of connecting passage of the ice under the ice horns, spaced sharp corners on the same specifications of each ice angle, length of ice more than half the height of the channel angle. The utility model makes full use of the vacuum chamber of vacuum gas flow kinetic energy amplification, the elastic after repeated vacuum put in the atmosphere ice pointed to beat each other, no energy makes just ice broken.

【技术实现步骤摘要】
能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体
本技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体。
技术介绍
真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面，形成导电膜。在真空镀膜过程中，进口室与出口室由于经常与大气接触，在反复抽真空放大气的过程中，在抽气管道端部容易出现结冰的现象，影响到抽真空的效率，甚至堵塞了抽气管道。一般的，在真空镀膜的进口室与出口室布满类似镀膜主室的加热丝，在真空镀膜过程中，启动加热丝的加热功能，使加热丝自身产生热量，并将热量传递给与加热丝接触的进口室与出口室，使进口室与出口室的温度升高，在抽真空放人气过程所排出的气体不会使进口室与出口室因温度低而结冰，提高了抽真空的效率。但是，在进口室与出口室设置加热丝，加热丝的功率较高，会造成能源的浪费；且加热丝加热电压较高，有安全隐患。如果能采取一种不消耗电能的方式则更符合当代节能减排的要求。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题在于，提供一种采用物理方式避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体，几乎甚至可以不耗电能，节约了大量的能源。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体，包括真空腔体本体，真空腔体本体内形成真空腔室，真空腔室的顶部固定设有用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具，真空腔室的底部设有形状和用于将薄膜材料加热蒸发的蒸发加热装置匹配的台阶，真空腔体本体上还设有通道，用于对真空腔室抽真空的抽真空装置通过通道与真空腔体本体连通，所述通道内壁上设有若干个和通道连接的弹性材质制成的碎冰尖角，碎冰尖角上下间隔设置，每个碎冰尖角的规格相同，碎冰尖角的长度超过通道高度的一半。在通道内壁上下间隔设置弹性碎冰尖角，这样在抽真空放大气的过程中气流的动能将推动弹性材质的碎冰尖角，相邻的碎冰尖角就会互相打击，这样在结冰的萌芽阶段就碎冰，这样无需消耗电量就能碎冰，避免了结冰的现象。碎冰尖角的设置根据进口室和出口室设置不同，在进口室考虑到气流的方向是进气方向，因此最靠外的碎冰尖角设置在通道内壁的上表面，然后依次为设置在通道内壁的下表面上的碎冰尖角、设置在通道内壁的上表面的碎冰尖角，以此类推（因为虽为弹性材料，但倒置的碎冰尖角更易被吹动）；而在出口室内则最靠里的碎冰尖角设置在通道内壁的上表面，然后依次为设置在通道内壁的下表面上的碎冰尖角、设置在通道内壁的上表面的碎冰尖角（此处的“里”、“外”指相对于真空腔室而言）。作为本技术能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体的进一步改进，碎冰尖角固定连接在通道内壁上。作为本技术能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体的进一步改进，碎冰尖角通过弹性材质的塑料褶皱与通道连接。这样是为了保证气流能够轻易地吹动碎冰尖角，使得相邻的碎冰尖角之间在抽真空放大气的过程中互相打击。作为本技术能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体的进一步改进，碎冰尖角采用橡胶材质制成。当然，不限于此种材质，一般的弹性材质尤其是质轻的弹性材质更适合。作为本技术能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体的进一步改进，碎冰尖角的中间设有不贯穿碎冰尖角的孔，孔的形状为允许容纳加热丝的形状。这样的设置是保险起见，一般通过前述的碎冰尖角的设置即能起到防止结冰的作用，但以防万一，仍可设置加热丝，不过此处将加热丝设置在碎冰尖角的中间，直抵结冰处，有效防止其结冰。作为本技术能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体的进一步改进，加热丝的外表面包覆铁皮。这样的设置是为了使得加热丝的热量传递更均匀，也防止加热丝直接与橡胶接触会损伤碎冰尖角。作为本技术能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体的进一步改进，通道内设置无纺布包覆的干燥剂包，干燥剂采用硫酸钙或氯化钙。这样的设置将放大气过程中的气流中的水分预先除去，即可杜绝结冰。本技术采用物理方式利用真空腔体抽真空放大气时的气流动能避免进口室与出口室的通道结冰，几乎甚至可以不耗电能，节约了大量的能源；弹性材质的塑料褶皱的设置更保证气流能够轻易地吹动碎冰尖角，使得碎冰过程更易发生，并且还设置了干燥剂包，从源头上避免结冰。附图说明图1为本技术能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体实施例一的结构示意图；图2为图1中通道的放大示意图；图3为图2中其中某一个碎冰尖角部分的放大示意图。图中：1、真空腔体本体2、真空腔室3、样品夹具4、蒸发加热装置5、台阶6、通道7、抽真空装置8、碎冰尖角9、塑料褶皱10、孔11、干燥剂包。具体实施方式为了对本技术的技术特征、目的以及效果有更加清楚地了解，现对照附图详细说明本技术的具体实施方式。实施例一：如图1至图3所示，能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体，包括真空腔体本体1，真空腔体本体1内形成真空腔室2，真空腔室2的顶部固定设有用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具3，真空腔室2的底部设有形状和用于将薄膜材料加热蒸发的蒸发加热装置4匹配的台阶5，真空腔体本体1上还设有通道6，用于对真空腔室2抽真空的抽真空装置7通过通道6与真空腔体本体1连通，所述通道6内壁上设有若干个和通道6连接的弹性材质制成的碎冰尖角8，碎冰尖角8上下间隔设置，每个碎冰尖角8的规格相同，碎冰尖角8的长度超过通道6高度的一半。碎冰尖角8通过弹性材质的塑料褶皱9与通道6连接。碎冰尖角8采用橡胶材质制成。碎冰尖角8的中间设有不贯穿碎冰尖角8的孔10，孔10的形状为允许容纳加热丝的形状。加热丝的外表面包覆铁皮。通道6内设置无纺布包覆的干燥剂包11，干燥剂采用硫酸钙或氯化钙。实施例二：与实施例一的不同在于：碎冰尖角8固定连接在通道6内壁上。以上内容是结合具体的优选技术方案对本技术所作的进一步详细说明，不能认定本技术的具体实施只局限于这些说明。对于本技术所属
的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体，其特征在于，包括真空腔体本体，真空腔体本体内形成真空腔室，真空腔室的顶部固定设有用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具，真空腔室的底部设有形状和用于将薄膜材料加热蒸发的蒸发加热装置匹配的台阶，真空腔体本体上还设有通道，用于对真空腔室抽真空的抽真空装置通过通道与真空腔体本体连通，所述通道内壁上设有若干个和通道连接的弹性材质制成的碎冰尖角，碎冰尖角上下间隔设置，每个碎冰尖角的规格相同，碎冰尖角的长度超过通道高度的一半。

【技术特征摘要】
1.能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体，其特征在于，包括真空腔体本体，真空腔体本体内形成真空腔室，真空腔室的顶部固定设有用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具，真空腔室的底部设有形状和用于将薄膜材料加热蒸发的蒸发加热装置匹配的台阶，真空腔体本体上还设有通道，用于对真空腔室抽真空的抽真空装置通过通道与真空腔体本体连通，所述通道内壁上设有若干个和通道连接的弹性材质制成的碎冰尖角，碎冰尖角上下间隔设置，每个碎冰尖角的规格相同，碎冰尖角的长度超过通道高度的一半。2.根据权利要求1所述的能避免进口室与出口室结冰的光学用真空腔体，其特征在于，所述碎冰尖角固定连接在通道内壁上。3.根据权利要求1所述的能避免进口...

【专利技术属性】
技术研发人员：瞿建强，瞿一涛，黄仕强，陆彬锋，
申请(专利权)人：江阴市光科真空机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32