加热盘阻抗测量工装及测量方法技术

加热盘阻抗测量工装及测量方法，主要解决现有测量方法测量数据误差大，信号过弱的技术问题。其工装结构包括：绝缘组件、电极组件两个部分。绝缘组件包括绝缘块A、绝缘块B及弹簧；电极组件包括N连接器插座定位基座、固定螺钉、连接板、绝缘板、电极板A、绝缘座A、绝缘座B、电极板B、绝缘套及弹簧。所述N连接器插座定位基座与网络分析仪连接，网络分析仪通过端口输出快速扫频的低功率电信号，该信号通过射频电缆的传输到达加热盘，并产生反射电信号，通过测量复反射系数即可得到加热盘的阻抗Z

Measuring device and measuring method for heating plate impedance

The utility model mainly solves the technical problems of large measurement error, weak signal and too weak signal of the existing measurement methods. The tooling structure comprises two parts: an insulating component and an electrode component. Insulation insulation block assembly includes A, B insulation block and a spring; the electrode assembly includes a N connector socket positioning base, screws, connecting plate, insulation board, electrode plate A, A, B insulation insulation base, electrode plate B, insulating sleeve and spring. Connecting the N connector socket positioning base and network analyzer, low power signal output port network analyzer through fast frequency sweep, the signal transmitted by the RF cable reaches the heating plate, and reflected signals, the complex reflection coefficient can be obtained by measuring the impedance of Z heating plate

【技术实现步骤摘要】
加热盘阻抗测量工装及测量方法
本专利技术涉及一种加热盘阻抗测量工装及测量方法，具体的说是一种采用电极板分别与加热盘、腔体连接，用绝缘块分隔加热盘与腔体，便于测量加热盘安装在腔体中阻抗的工装结构及测量方法。属于半导体设备射频阻抗测量应用

技术介绍
随着电子产品需求量的增加，带动半导体设备迅速发展，加热盘是广泛应用于半导体设备中硅片沉积反应腔中的关键部件。加热盘的阻抗直接影响硅片沉积过程各个离子场的分布情况，从而影响硅片镀膜的质量。目前针对加热盘阻抗的测量采用网络分析仪进行测量，但网络分析仪与加热盘及腔体连接的面积过小，端口输出的快速扫频低功率电信号在传输中变得更加微弱，测量信号微弱，无法测量加热盘阻抗的准确值。
技术实现思路
本专利技术以解决上述问题为目的，主要解决现有测量方法测量数据误差大，信号过弱的技术问题，提供一种加热盘阻抗的测量工装，增加网络分析仪输出信号与加热盘及腔体的接触面积，强化测量信号，提高加热盘阻抗测量的准确性及稳定性。为了实现上述目的，本专利技术采用下述技术方案：加热盘阻抗测量工装，主要由绝缘组件(3)及电极组件(4)两个部分组成。所述绝缘组件(3)包括绝缘块A(16)、绝缘块B(17)及弹簧(18)，绝缘块A(16)与B(17)中间安装弹簧(18)形成可压缩的预紧力，对抗加热盘(2)阻抗测量过程中来自电极组件(4)的力，保证加热盘受力均匀，位置对中。所述电极组件(4)包括N连接器插座定位基座(5)、固定螺钉(6)、螺母(7)、垫片(8)、连接板(9)、绝缘板(10)、电极板A(11)、绝缘座A(12)、绝缘座B(13)、电极板B(14)、绝缘套(15)及弹簧(18)。所述N连接器插座定位基座(5)通过固定螺钉(6)、螺母(7)、垫片(8)固定连接到电极板B(14)上，与腔体(1)连接形成第一电极；电极板A(11)与加热盘(2)依靠圆弧面接触形成第二电极；绝缘座A(12)与绝缘座B(13)将第一、第二电极分离，保证两电极间绝缘，同时绝缘座A(12)与绝缘座B(13)内部安装有弹簧(18)，能够将第一、第二两个电极挤压，分别接触到腔体(1)及加热盘(2)，增加射频电信号传输面积，提高信号传输的稳定性。采用上述工装的加热盘阻抗测量方法，该方法是通过测量反射系数来得到加热盘阻抗的单端口测试，网络分析仪通过端口输出快速扫频的低功率电信号，该信号通过射频电缆的传输到达加热盘，并产生反射电信号。射频信号的反射率与加热盘的阻抗有以下关系式其中,R是复反射系数，Z0是传输线的阻抗，ZL是负载的阻抗。在确定使用特征阻抗为50Ω的传输线时，可确定Z0＝50Ω，因而，通过测量复反射系数即可得到加热盘的阻抗ZL。网络分析仪连接在N连接器插座定位基座上，信号的传输路径通过连接板、电极板B、到达腔体，在腔体内部连接部件上将信号传输给加热盘，等待加热盘复反射系数的信号。进一步地，加热盘与网络分析仪的另一端完全绝缘，电信号经由电极板B后，绝缘板及绝缘套分别阻挡电信号传入电极板A，同时绝缘座A、B有效将电极板A、B分离，并利用内部的弹簧装置使得电极板A与加热盘及电极板B与腔体紧密结合，增加信号传输面积及传输的稳定性。进一步地，加热盘与腔体间在电极组件内部弹簧的作用下发生位置偏移，在电极组件同一直线方向的加热盘与腔体间放入绝缘组件，绝缘组件内部的弹簧力将对抗电极组件的力，形成平衡，保证加热盘与腔体的位置对中，提高阻抗测量结果的准确性。本专利技术的有益效果及特点在于：加热盘阻抗测量工装结构合理，操作方法简便。能够增大腔体及加热盘与阻抗测量工装的电信号传输面积，增加电信号的强度，使测量结果更加可靠。其电极组件与绝缘组件内部的弹簧，保证在加热盘与腔体位置对中的情况下，信号传输处的接触更加紧密，有效提高加热盘阻抗测量的稳定性。可广泛应用于半导体镀膜设备
附图说明图1是加热盘阻抗测量工装测量方法示意图。图2是加热盘阻抗测量工装绝缘组件内部示意图。图3是加热盘阻抗测量工装电机组件结构示意图。图4是加热盘阻抗测量工装绝缘组件结构示意图。图5是加热盘阻抗测量工装电机组件内部示意图。图中：1、腔体；2、加热盘；3、绝缘组件；4、电极组件；5、N连接器插座定位基座；6、固定螺钉；7、螺母；8、垫片；9、连接板；10、绝缘板；11、电极板A；12、绝缘座A；13、绝缘座B；14、电极板B；15、绝缘套；16、绝缘块A；17、绝缘块B；18、弹簧。下面结合附图对本专利技术作进一步详细描述：具体实施方式实施例参照附图1-5，加热盘阻抗测量工装，主要由绝缘组件3及电极组件4两个部分组成。所述绝缘组件3，包括绝缘块A16、绝缘块B17及弹簧18，绝缘块A16与B17中间安装弹簧18形成可压缩的预紧力，对抗加热盘2阻抗测量过程中来自电极组件4的力，保证加热盘受力均匀、位置对中。所述电极组件4，包括N连接器插座定位基座5、固定螺钉6、螺母7、垫片8、连接板9、绝缘板10、电极板A11、绝缘座A12、绝缘座B13、电极板B14、绝缘套15及弹簧18。所述N连接器插座定位基座5通过固定螺钉6、螺母7、垫片8固定连接到电极板B14上，与腔体1连接形成第一电极；电极板A11与加热盘2依靠圆弧面接触形成第二电极；绝缘座A12与绝缘座B13将第一、第二电极分离，保证两电极间绝缘，同时绝缘座A12与绝缘座B13内部安装有弹簧18，能够使第一、第二两个电极紧密接触到腔体1及加热盘2，增加射频电信号传输面积，提高信号传输的稳定性。所述N连接器插座定位基座与网络分析仪连接，网络分析仪通过端口输出快速扫频的低功率电信号，该信号通过射频电缆的传输到达加热盘，并产生反射电信号，通过测量复反射系数即可得到加热盘的阻抗ZL。其结构合理，操作方法简便，测量结果更加可靠，有效提高加热盘阻抗测量的稳定性。从图1中可以看出，该工装结构的安装腔体与加热盘间，电机组件4与绝缘组件3保持在同一直线上。采用上述工装的加热盘阻抗测量方法，该方法是通过测量反射系数来得到加热盘阻抗的单端口测试，网络分析仪通过端口输出快速扫频的低功率电信号，该信号通过射频电缆的传输到达加热盘，并产生反射电信号，通过测量复反射系数即可得到加热盘的阻抗ZL。网络分析仪连接在N连接器插座定位基座上，信号的传输路径通过连接板、电极板B、到达腔体，在腔体内部连接部件上将信号传输给加热盘，等待加热盘复反射系数的信号。进一步地，加热盘与网络分析仪的另一端完全绝缘，电信号经由电极板B后，绝缘板及绝缘套分别阻挡电信号传入电极板A，同时绝缘座A、B有效将电极板A、B分离，并利用内部的弹簧装置使得电极板A与加热盘及电极板B与腔体紧密结合，增加信号传输面积及传输的稳定性。进一步地，加热盘与腔体间在电极组件内部弹簧的作用下发生位置偏移，在电极组件同一直线方向的加热盘与腔体间放入绝缘组件，绝缘组件内部的弹簧力将对抗电极组件的力，形成平衡，保证加热盘与腔体的位置对中，提高阻抗测量结果的准确性。上述测量方法操作简便，有效提高加热盘阻抗测量的稳定性，进而提高硅片镀膜的质量。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加热盘阻抗测量工装，其特征在于：它主要由绝缘组件及电极组件两个部分组成，所述绝缘组件，包括绝缘块A、绝缘块B及弹簧，绝缘块A与B中间安装弹簧形成可压缩的预紧力，对抗加热盘阻抗测量过程中来自电极组件的力，保证加热盘受力均匀、位置对中；所述电极组件，包括N连接器插座定位基座、固定螺钉、螺母、垫片、连接板、绝缘板、电极板A、绝缘座A、绝缘座B、电极板B、绝缘套及弹簧；所述N连接器插座定位基座通过固定螺钉、螺母、垫片固定连接到电极板B上，与腔体连接形成第一电极，电极板A与加热盘依靠圆弧面接触形成第二电极，绝缘座A与绝缘座B将第一、第二电极分离，保证两电极间绝缘，能够使第一、第二两个电极紧密接触到腔体及加热盘，增加射频电信号传输面积。

【技术特征摘要】
1.一种加热盘阻抗测量工装，其特征在于：它主要由绝缘组件及电极组件两个部分组成，所述绝缘组件，包括绝缘块A、绝缘块B及弹簧，绝缘块A与B中间安装弹簧形成可压缩的预紧力，对抗加热盘阻抗测量过程中来自电极组件的力，保证加热盘受力均匀、位置对中；所述电极组件，包括N连接器插座定位基座、固定螺钉、螺母、垫片、连接板、绝缘板、电极板A、绝缘座A、绝缘座B、电极板B、绝缘套及弹簧；所述N连接器插座定位基座通过固定螺钉、螺母、垫片固定连接到电极板B上，与腔体连接形成第一电极，电极板A与加热盘依靠圆弧面接触形成第二电极，绝缘座A与绝缘座B将第一、第二电极分离，保证两电极间绝缘，能够使第一、第二两个电极紧密接触到腔体及加热盘，增加射频电信号传输面积。2.如权利要求1所述的加热盘阻抗测量工装，其特征在于：该工装结构的安装腔体与加热盘间，电机组件与绝缘组件保持在同一直线上。3.采用如权利要求1所述加热盘阻抗测量工装的加热盘阻抗测量方法，该方法是通过测量反射系数来得到加热盘阻抗...

【专利技术属性】
技术研发人员：张亚新，柴智，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21