一种高真空扩散泵循环水套装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种高真空扩散泵循环水套装置，包括扩散泵泵体，冷却水套、螺旋水道、进水口、出水口与排污阀，所述扩散泵泵体的外表面设置有冷却水套，在冷却水套上设置有进水口与出水口，进水口与出水口位于同一侧且进水口低于出水口，所述螺旋水道螺旋设置在所述扩散泵泵体与冷却水套之间，所述排污阀安装在冷却水套下方的最低处。采用该实用新型专利技术设计后，循环水流量增大，扩散泵外部可以得到整体冷却，设备冷却效果好，能保证较高的真空度，大大提高了产品质量，缩短了生产周期，降低了生产成本。

Circulating water jacket device of high vacuum diffusion pump

The utility model relates to a high vacuum diffusion pump circulating water jacket device, including diffusion pump, cooling water jacket and a spiral channel, a water inlet and a water outlet and the drain valve, the outer surface of the diffusion pump body is provided with a cooling water in the cooling water jacket is provided with a water inlet and a water outlet, a water inlet and a water outlet on the same side and the water inlet is lower than the water outlet, the spiral spiral channel is arranged between the diffusion pump body and the cooling water jacket, the drain valve installed in the lowest cooling water jacket below. The utility model design, the circulating water flow rate increases, the external diffusion pump can be obtained by cooling, cooling equipment, can guarantee a high vacuum degree, greatly improving the quality of products, shorten production cycle, reduce production cost.

【技术实现步骤摘要】

本技术属于海绵钛生产真空设备
，具体涉及一种高真空扩散泵循环水套装置。
技术介绍
海绵钛生产的蒸馏过程要求在真空状态下进行，真空系统的设备包括低真空阶段的滑阀泵和高真空阶段的扩散泵，蒸馏各阶段所需真空度不同，蒸馏高恒温阶段需要高真空(10-1pa至10-3pa），将产品中的杂质沸点降低易于蒸出，所以对扩散泵的性能要求较高，由于国内各厂家生产的扩散泵冷却水套为采用铜管，通水间接冷却，冷却水量小、冷却有效面积少，再加上北方水的硬度偏大，在生产过程中经常发生循环水道不畅或堵塞，造成扩散泵冷却效果差，这是其一，其二为扩散泵油因冷却差随系统挥发，真空度难以达到工艺所需的要求。
技术实现思路
本技术的目的在于，针对上述缺陷，提供一种冷却速度快，且易于维修的高真空扩散泵循环水套装置。为了达到上述技术的目的，采取的技术方案为：一种高真空扩散泵循环水套装置，包括扩散泵泵体，冷却水套、螺旋水道、进水口、出水口与排污阀，所述扩散泵泵体的外表面设置有冷却水套，在冷却水套上设置有进水口与出水口，进水口与出水口位于同一侧且进水口低于出水口，所述螺旋水道螺旋设置在所述扩散泵泵体与冷却水套之间，所述排污阀安装在冷却水套下方的最低处。本技术的有益效果：本技术通过进水口给扩散泵泵体外的冷却水套通水，循环水通过循环水道螺旋上升，使扩散泵得到充分冷却，冷却速度快，同时循环水又可通过出水口回到循环水系统循环使用，冷却过程产生的水垢及循环过程混进的泥沙可以通过排污阀进行清理排除。本技术结构简单且易于操作，同时冷却效果好，冷却效率高。附图说明图1为本技术的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术的技术方案作进一步的详细说明。如图1所示，一种高真空扩散泵循环水套装置，包括扩散泵泵体1，冷却水套2、螺旋水道3、进水口4、出水口与5排污阀6，所述扩散泵泵体1的外表面设置有冷却水套2，在冷却水套2上设置有进水口4与出水口5，进水口4与出水口5位于同一侧且进水口4低于出水口5，所述螺旋水道3螺旋设置在所述扩散泵泵体1与冷却水套2之间，所述排污阀6安装在冷却水套2下方的最低处。采用该技术设计后，循环水流量增大，扩散泵外部可以得到整体冷却，设备冷却效果好，能保证较高的真空度，大大提高了产品质量，缩短了生产周期，降低了生产成本。上面结合附图对本技术的实施例作了详细说明，但是本技术并不限于上述实施例，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本技术宗旨的前提下作出各种变化。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高真空扩散泵循环水套装置，包括扩散泵泵体，冷却水套、螺旋水道、进水口、出水口与排污阀，其特征在于，所述扩散泵泵体的外表面设置有冷却水套，在冷却水套上设置有进水口与出水口，进水口与出水口位于同一侧且进水口低于出水口，所述螺旋水道螺旋设置在所述扩散泵泵体与冷却水套之间，所述排污阀安装在冷却水套下方的最低处。

【技术特征摘要】
1.一种高真空扩散泵循环水套装置，包括扩散泵泵体，冷却水套、螺旋水道、进水口、出水口与排污阀，其特征在于，所述扩散泵泵体的外表面设置有冷却水套，在冷却水套上...

【专利技术属性】
技术研发人员：张永杰，郑云萍，王全喜，孙虎林，韩凌江，程一民，程一军，
申请(专利权)人：山西卓锋钛业有限公司，
类型：新型
国别省市：山西;14