【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空领域的真空泵结构，具体地说是一种真空泵用复合密封。
技术介绍
真空泵由于具有优越的性能，在微电子、制药、精密加工、造纸、包装等行业有着广泛的应用，尤其是在半导体、化工、制药有很多独特的应用。近年来，随着真空泵在半导体、化工、制药行业的应用，暴露出了一些问题。传统轴封不能保证真空泵输送介质的完全密封，必然存在着一定量的介质泄漏，这样不仅会缩短真空泵的使用寿命，若抽取有毒、有害介质，还会危害操作者的生命。基于以上情况，需要一种相对无泄漏的真空泵，这对于真空泵在半导体、制药、化工行业的应用意义重大。
技术实现思路
为了解决现有真空泵存在介质泄漏的问题，本专利技术的目的在于提供一种真空泵用复合密封。具有该复合密封真空泵通过活塞环密封、密封圈、氮气密封和迷宫密封组合的方式将腔体和油箱、腔体和外界完全隔离，一方面介质完全被封闭在腔体内，另一方面腔体和润滑油完全被隔离，特别适用于半导体、化工、制药等有粉尘有毒有害介质的工况。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：本专利技术包括活塞环密封、密封圈、氮气密封、迷宫密封及排气腔，所述真空泵的腔体与装有润滑油的油箱之间设有排气腔，所述真空泵的转子轴由所述腔体穿出，由所述排气腔穿过，并插入所述油箱中；所述转子轴位于排气腔内的部分分别套设有活塞环密封及迷宫密封，该活塞环密封的两端与所述转子轴之间均设有密封圈，所述腔...
【技术保护点】
一种真空泵用复合密封，其特征在于：包括活塞环密封(4)、密封圈、氮气密封、迷宫密封(7)及排气腔(8)，所述真空泵的腔体(2)与装有润滑油的油箱(9)之间设有排气腔(8)，所述真空泵的转子轴(1)由所述腔体(2)穿出，由所述排气腔(8)穿过，并插入所述油箱(9)中；所述转子轴(1)位于排气腔(8)内的部分分别套设有活塞环密封(4)及迷宫密封(7)，该活塞环密封(4)的两端与所述转子轴(1)之间均设有密封圈，所述腔体(2)内的介质通过活塞环密封(4)与该侧的所述密封圈密封，所述油箱(9)内的润滑油或油气通过该侧的所述密封圈及迷宫密封(7)密封；所述排气腔(8)内、位于所述活塞环密封(4)两端之间的位置设有所述氮气密封。
【技术特征摘要】
1.一种真空泵用复合密封，其特征在于：包括活塞环密封(4)、
密封圈、氮气密封、迷宫密封(7)及排气腔(8)，所述真空泵的腔
体(2)与装有润滑油的油箱(9)之间设有排气腔(8)，所述真空泵
的转子轴(1)由所述腔体(2)穿出，由所述排气腔(8)穿过，并
插入所述油箱(9)中；所述转子轴(1)位于排气腔(8)内的部分
分别套设有活塞环密封(4)及迷宫密封(7)，该活塞环密封(4)的
两端与所述转子轴(1)之间均设有密封圈，所述腔体(2)内的介质
通过活塞环密封(4)与该侧的所述密封圈密封，所述油箱(9)内的
润滑油或油气通过该侧的所述密封圈及迷宫密封(7)密封；所述排
气腔(8)内、位于所述活塞环密封(4)两端之间的位置设有所述氮
气密封。
2.按权利要求1所述的真空泵用复合密封，其特征在于：所述
排气腔(8)内设有氮气腔(10)，该氮气腔(...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘志东，雷震霖，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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