密封结构、包括所述密封结构的真空泵马达、以及真空泵制造技术

本发明专利技术公开一种密封结构、包括所述密封结构的真空泵马达、以及真空泵。具体地，为了提供用于真空泵马达的以确保方式保持真空泵马达的密封性能的密封结构，提供了一种用于真空泵马达(100)的密封结构，包括导线(151a)，其穿过形成在待连接到马达定子(110)的马达框架(140)中的开口部分(143)和密封开口部分(143)的密封构件(145)，其中，导线(151a)包括芯线部分(154a)和覆盖所述芯线部分(154a)的覆盖部分(155a)，并且密封部分(153)形成在芯线部分(154a)的至少一部分中。

【技术实现步骤摘要】
密封结构、包括所述密封结构的真空泵马达、以及真空泵
本专利技术涉及一种密封结构，更具体地涉及一种用于真空泵的马达的密封机构。另外，本专利技术涉及包括密封结构的马达和包括马达的真空泵。
技术介绍
真空泵例如用在半导体制造系统中。马达作为驱动源附接到真空泵。在真空泵的主轴直接连接到马达并且不设置轴密封部分的结构中，密封结构需要设置在马达上以保持真空。在这种情况中，马达定子布置在马达中，并且电功率供给导线连接该马达定子。由此，导线也需要设置某种结构以保持真空。就此而言，公开了一种马达，其中，马达定子和具有导线的连接部分通过树脂密封在一起(参照专利文献I)。另外，还提出了一种马达，其中，罐安装在马达定子和马达转子之间以实现密封结构(参照专利文献2)。此外，还公开了一种马达，其中，密封结构施加给马达框架。在这种情况中，密封结构需要设置在导线穿过的开口部分中，并且使用被称为气密终端的部件。引用列表专利文献【专利文献I】日本专利公开N0.SH059-106864【专利文献2】日本专利N0.4435556
技术实现思路
但是，在传统的密封结构中存在以下问题。即，马达转子直接连接到真空泵的主轴，并且转子主轴处于真空(或部分真空)状态下。因此，马达转子也类似地暴露于真空状态。由此，容纳马达转子的空间中也需要保持真空状态。为了满足例如如上所述的要求，马达定子通过树脂密封在其中以保持真空状态。但是，为了通过树脂将马达定子密封在其中，需要准备复杂的成形模具以执行注射模制操作，这变得非常复杂和麻烦。另外，当如专利文献I中定子芯的内周暴露于马达转子隔间时，如果在与树脂的交接面中产生间隙或者在马达导线中产生气密蠕变，将无法保持真空。即使在不通过使用树脂密封方法，而是通过提供罐来保持真空的情况下，考虑到罐本身会损坏或破裂。当罐损坏或破裂时，真空丧失。例如，在半导体处理泵中，真空的瞬间损失(或空气的进入)可能导致工艺气体与空气反应或者工艺气体的外部排出的问题。此外，当通过在导线从其伸出的开口中使用气密终端来保持真空时，生产成本急剧增加，使得该方法在成本方面不利。鉴于上述问题做出本专利技术。根据本专利技术，提供一种用于真空泵马达的密封结构，包括导线，该导线穿过形成在待连接到马达定子的马达框架中的开口部分和密封开口部分的密封构件，其中导线包括芯线部分和覆盖芯线部分的覆盖部分，并且密封部分形成在芯线部分的至少一部分中。另外，根据本专利技术，提供一种用于真空泵马达的密封结构，包括导线，该导线连接到马达定子和树脂模制部分，树脂模制部分通过树脂密封将导线连接到马达定子的连接部分，其中导线包括芯线部分和覆盖芯线部分的覆盖部分，并且密封部分形成在芯线部分的至少一部分中，并且其中树脂模制部分的至少一部分兼作到真空泵的附接部分。附加地，根据本专利技术的任一密封结构，密封部分是施加有密封处理的部分，其中，覆盖部分的内部中的芯线部分充满树脂。附加地，根据本专利技术的任一密封结构，密封部分是施加有密封处理的部分，其中，覆盖部分的一部分被去除以通过焊接将芯线一体化为单个线组件，并且进一步，密封部分经由密封介质通过能够热收缩的管覆盖。另外，根据本专利技术的密封结构，密封构件由弹性橡胶制成，并且导线穿过的钻孔形成在密封构件中。附加地，根据本专利技术的密封结构，弹性橡胶在通过预定的紧固板压缩的同时附接到马达框架中的开口部分。另外，根据本专利技术，提供一种具有密封结构的真空泵马达，包括马达转子，该马达转子直接连接到真空泵的泵主轴。附加地，根据本专利技术的真空泵马达，牢固地闭合马达转子的罐设置在马达定子和马达转子之间。另外，根据本专利技术，提供一种真空泵，包括密封结构或马达。根据本专利技术，由于导线和马达框架设有它们自身的密封结构，所以能够避免罐或气密终端。另外，双密封结构能够廉价地实现，其甚至在罐于具有罐的马达中被损坏的情况下仍保持真空状态。【附图说明】图1是显示真空泵和包括根据本专利技术的实施方式的密封结构的马达的剖面图。图2显示马达的剖面图，其中，图2(A)显示不具有罐的马达，而图2(B)显示具有罐的马达。图3是显示马达的剖面图，其中，马达定子通过树脂模制部分密封在树脂中。图4显示图示导线密封结构的剖面图，其中，图4(A)显示采用树脂密封的密封结构，图4(B)显示采用焊接的密封结构。图5是显示马达框架中的开口部分内的密封结构的剖面图。【具体实施方式】接下来将基于附图描述本专利技术的实施方式。图1显示包括根据本专利技术的实施方式的密封结构的马达100和马达100附接到其上的真空泵20的总体示意性剖面图。在图1中，显示的剖面包括真空泵20的两个泵主轴21的轴线。如图所示，真空泵20包括一对转子30。在该实施方式中，转子30每个包括第一级转子31、第二级转子32、第三级转子33和第四级转子34。支承这些转子30的泵主轴21通过位于其两个端部附近的轴承51、61支承。附加地，转子30容纳在壳体40内。转子30通过马达100驱动，马达100设置在真空泵20的泵主轴21的一个端侧处。一对彼此啮合的定时齿轮70固定到泵主轴21的另一端。在这种构造中，两个泵主轴21和转子30以彼此相同的速度和相反的方向转动。注意到，图1显示马达100的简化构造。当马达100被驱动时，转子30在与壳体40的内表面保持微小间隙而没有任何接触且在转子30之间没有任何接触的情况下沿相反的方向转动。随着该对转子30转动，吸入侧处的气体被局限在转子30和壳体40之间并且随后被输送至排出侧。从吸气口(其图示被省略)引入的气体被压缩并且通过第四级转子34输送至排气口(其图示被省略)，以便由此从排气口排出。图2(A)是显示驱动以转动真空泵的转子的马达100的示意构造的剖面图。如图2所示，马达100包括马达定子110、马达转子120和马达框架140。马达框架140包括框架主体141和端板142。框架主体141具有柱形形状并且沿着框架主体141中的泵主轴21的轴线形成内部空间。端板142通过螺栓(其图示被省略)附接到框架主体141。马达框架140能够由例如铁或铝形成。马达定子110和马达转子120容纳在马达框架140中的内部空间内。在马达定子110中，线圈Illb安装在定子芯Illa上。具体地，在马达定子110中，线圈Illb在泵主轴21的轴向方向上从定子芯Illa的两端处向外伸出。马达定子110通过定子芯Illa配合在马达框架140的框架主体141的内部中与泵主轴21的轴线同心地固定到马达框架140。定子芯Illa能够例如通过使硅钢板彼此层叠而形成。马达转子120在马达定子110的内部与泵主轴21的轴线同心地布置，并且直接连接到真空泵100的泵主轴21。【马达的修改的例子】图2B显示马达的修改的例子。在根据该修改的例子的马达IOOb中，罐130设置在马达定子110和马达转子120之间。罐130将马达定子110与马达转子120隔离。该罐130包括主体部分131、闭合部分132和开口部分133。主体部分131具有大致柱形形状并且与罐130的轴线同心地布置。闭合部分132构成罐130的一`个端面，并且主体部分131的内部空间通过主体部分131的一个端部闭合。开口端部133构成另一端部并且闭合罐130的开口。凸缘形状部分设置在开口部分133的外周部分上，并且该凸缘形状本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于真空泵马达的密封结构，包括：导线，所述导线穿过形成在待连接到马达定子的马达框架中的开口部分和密封所述开口部分的密封构件，其中所述导线包括芯线部分和覆盖所述芯线部分的覆盖部分，并且密封部分形成在所述芯线部分的至少一部分中。

【技术特征摘要】
2012.08.16 JP 2012-1804811.一种用于真空泵马达的密封结构，包括: 导线，所述导线穿过形成在待连接到马达定子的马达框架中的开口部分和密封所述开口部分的密封构件，其中 所述导线包括芯线部分和覆盖所述芯线部分的覆盖部分，并且密封部分形成在所述芯线部分的至少一部分中。2.一种用于真空泵马达的密封结构，包括: 导线，所述导线连接到马达定子和树脂模制部分，所述树脂模制部分通过树脂密封将所述导线连接到马达定子的连接部分，其中 所述导线包括芯线部分和覆盖所述芯线部分的覆盖部分，并且密封部分形成在所述芯线部分的至少一部分中，并且其中 所述树脂模制部分的至少一部分兼作到真空泵的附接部分。3.根据权利要求1所述的密封结构，其中 所述密封部分是施加有密封处理的部分，其中，所述覆盖部分的内部中...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻田高典，吉田真也，穗积崇史，小岛善德，中泽敏治，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：