玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统制造方法及图纸

技术编号:15041871 阅读:134 留言:0更新日期:2017-04-05 14:12
本公开涉及一种玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统,其中玻璃基板表面缺陷的查看装置包括相机、放大镜筒体和支撑罩,所述放大镜筒体具有目镜和物镜,所述支撑罩围绕所述物镜并用于罩设在所述玻璃基板上,所述放大镜筒体侧壁上设置有朝向所述物镜发射光线的光源,所述相机可拆卸地连接在所述目镜外以采集经所述放大镜筒体放大后的所述玻璃基板表面缺陷的图像。通过上述技术方案,在暗场环境下,光源发射的光线照射至玻璃基板表面,通过放大镜筒体上目镜和物镜的配合以放大玻璃基板表面的缺陷,同时用相机采集缺陷图像,能够快速、准确地对玻璃基板表面缺陷类型进行确认,操作简单、效率高。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及玻璃基板缺陷检查
,具体地,涉及一种玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统。
技术介绍
在玻璃基板实际生产过程中,玻璃基板表面常出现裂纹、暗伤、黑点、颗粒聚集等缺陷,对产品品质造成严重影响,为了使客户对产品品质满意,需要对玻璃基板表面的缺陷及时抽查确认,并根据抽查的结果制定解决对策。现有技术对于玻璃基板表面缺陷的确认是在暗场作业下切片取样进行检测,一方面不能对缺陷进行分析确认,另一方面取样时会对玻璃基板表面造成污染,对产品质量造成影响。
技术实现思路
本公开的目的是提供一种玻璃基板表面缺陷的查看装置,该查看装置能够快速、准确地确认玻璃基板表面缺陷类型。为了实现上述目的,本公开提供一种玻璃基板表面缺陷的查看装置,包括相机、放大镜筒体和支撑罩,所述放大镜筒体具有目镜和物镜,所述支撑罩围绕所述物镜并用于罩设在所述玻璃基板上,所述放大镜筒体侧壁上设置有朝向所述物镜发射光线的光源,所述相机连接在所述目镜外以采集经所述放大镜筒体放大后的所述玻璃基板表面缺陷的图像。可选地,所述相机可拆卸地连接在所述目镜外。可选地,所述放大镜筒体包括位于所述目镜和所述物镜之间的锥形部,该锥形部的上部小端安装有调节所述物镜和所述目镜距离的调焦旋钮,所述光源安装在所述锥形部的下部大端上。可选地,所述目镜可沿中线轴向可移动地从所述上部小端插入所述锥形部中,并与所述调焦旋钮螺纹配合。可选地,所述物镜通过连接部可拆卸地连接于所述锥形部上,所述支撑罩的上端连接在所述连接部的下端。可选地,所述支撑罩为内部中空且两端开口的圆台,该圆台远离所述目镜并靠近玻璃基板侧的开口直径大于靠近所述目镜侧的开口直径。可选地,所述锥形部的侧壁上形成安装口,所述光源安装在该安装口上,以使得发射的光线通过所述安装口照射至所述玻璃基板表面。可选地,所述安装口的轴线与所述锥形部的中心轴线成锐角。可选地,所述光源安装在LED光源主体上,所述LED光源主体与所述安装口之间螺纹连接。可选地,所述LED光源主体上设置有开关。一种玻璃基板表面缺陷的查看系统,包括玻璃基板表面缺陷的查看装置,和与所述相机电连接的显示终端。通过上述技术方案,尤其是围绕物镜设置罩设在玻璃基板表面上的支撑罩,能够实现暗场环境,此时光源发射的光线照射至玻璃基板表面,通过放大镜筒体上目镜和物镜的配合以放大玻璃基板表面的缺陷,同时用相机采集缺陷图像,能够快速、准确地对玻璃基板表面缺陷类型进行确认,操作简单、效率高。本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明附图是用来提供对本公开的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本公开,但并不构成对本公开的限制。在附图中:图1是根据本技术一个实施方式的玻璃基板表面缺陷的查看装置结构示意图。附图标记说明1目镜2调焦旋钮3LED光源主体4开关5光源6安装口7物镜8支撑罩9相机10数据线11玻璃基板12锥形部13连接部14显示终端具体实施方式以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开,并不用于限制本公开。在本公开中,在未作相反说明的情况下,使用的方位词如“上、下”是以相应附图的图面为基准定义的上和下,具体地,可参考图1的图面方向。如图1所示,本技术提供一种玻璃基板表面缺陷的查看装置,包括相机9、放大镜筒体和支撑罩8,放大镜筒体上安装有目镜1和物镜7,支撑罩8围绕物镜7并用于罩设在玻璃基板11上,这里,支撑罩8的作用一方面是形成暗场环境,另一方面可以用于支撑放大镜筒体,另外,放大镜筒体侧壁上设置有朝向物镜7发射光线的光源5,相机9连接在目镜1外,本技术中,相机9可拆卸地连接在目镜1外,以采集经放大镜筒体放大后的玻璃基板表面缺陷的图像,通过上述技术方案,尤其是围绕物镜设置罩设在玻璃基板表面上的支撑罩,能够实现暗场环境,此时光源发射的光线照射至玻璃基板表面,通过放大镜筒体上目镜和物镜的配合以放大玻璃基板表面的缺陷,同时用相机采集缺陷图像,能够快速、准确地确认玻璃基板表面缺陷类型进行确认,操作简单、效率高。具体地,如图1所示,放大镜筒体包括位于目镜1和物镜7之间的锥形部12,锥形部12的上部小端安装有用于调节物镜7和目镜1距离的调焦旋钮2,光源5安装在锥形部12的下部大端的侧壁上,这里,形成为锥形部12的结构形式可以更方便将光源5安装在放大镜筒体上,另外,目镜1可沿中线轴向可移动地从锥形部12的上部小端插入锥形部12中。目镜1、物镜7以及调焦旋钮2可以采用可拆卸的连接方式安装于锥形部12上,具体可以是螺纹连接,具有制造简单,联接可靠、使用方便、通用性好、可装拆而重复使用等优点。进一步地,物镜7可以通过连接部13可拆卸地连接于锥形部12上,连接部13和锥形部12优先选用螺纹连接,支撑罩8的上端连接在连接部13的下端,具体地,支撑罩8可以形成为内部中空且两端开口的圆台,该圆台远离所述目镜并靠近玻璃基板侧的开口直径大于靠近所述目镜侧的开口直径,这样,一方面更有利于形成暗场环境以方便相机采集图像,另一方面,远离目镜的方向内径增大可以保证支撑罩在支撑放大镜筒体的过程中结构更加的稳定。如图1所示,本技术提供的玻璃基板表面缺陷的查看装置中锥形部12的侧壁上还形成安装口6,光源5安装在该安装口6上,以使得发射的光线通过安装口6照射至玻璃基板11表面,本技术中,安装口6呈圆形结构,并且安装口6的轴线与锥形部12的中心轴线成锐角,这样更有利于光源发出的光线经由放大镜的筒壁照射至玻璃基板11的表面,以方便相机9准确地获取玻璃基板11表面的缺陷。如图1所示,光源5可以安装在LED光源主体3上,LED光源主体3可以为圆柱体结构,这样,LED光源主体3可以通过螺纹连接的方式安装于安装口6上,如果放大镜筒体侧壁的光源5亮度不够或者发生损坏等问题时,可以将LED光源主体3从安装口6上旋下来以更换LED光源主体。另外,为了保证查看装置对于缺陷类型判断的准确性,可以在锥形部12的下部大端设置沿周向均匀设置多个光源,相应地,设置多个LED光源主体,具体地可以设置为三个。如图1所示,本技术中,LED光源主体3上还设置有开关4,以控制光源5的打开或者关闭。本技术还提供一种玻璃基板表面缺陷的查看系统,包括玻璃基板表面缺陷的查看装置,和与相机9电连接的显示终端14,显示终端14可以是显示器,显示器可以通过数据线10与相机连接,这样可以将相机9拍摄的缺陷通过数据线10呈现在显示器上,提高了缺陷类型判定结果的准确性,为品质改善提供了正确的方向。本技术提供的玻璃基板表面缺陷的查看装置可以按照以下步骤进行:1、根据检查设备获取缺陷(颗粒、异物、裂纹、暗伤等缺陷)的坐标;2、根据缺陷的坐标,将查看装置放置在缺陷坐标处,打开LED光源主体上的开关。3、通过调焦旋钮的上升或下降以在电脑显示器上查看到最清晰的缺陷图像,使用相机对其缺陷类型进行拍照、记录、分析,及时反馈加工工序进行对策,提高产品品质。以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式,但是,本公开并不限于上述实施方式中的具体细节,在本公开的技术构思范围内,可以对本公开的技术方案进行多种简单变型,这些简单变型均属于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,包括相机(9)、放大镜筒体和支撑罩(8),所述放大镜筒体具有目镜(1)和物镜(7),所述支撑罩(8)围绕所述物镜(7)并用于罩设在所述玻璃基板(11)上,所述放大镜筒体侧壁上设置有朝向所述物镜(7)发射光线的光源(5),所述相机(9)连接在所述目镜(1)外以采集经所述放大镜筒体放大后的所述玻璃基板(11)表面缺陷的图像。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,包括相机(9)、放大镜筒体和支撑罩(8),所述放大镜筒体具有目镜(1)和物镜(7),所述支撑罩(8)围绕所述物镜(7)并用于罩设在所述玻璃基板(11)上,所述放大镜筒体侧壁上设置有朝向所述物镜(7)发射光线的光源(5),所述相机(9)连接在所述目镜(1)外以采集经所述放大镜筒体放大后的所述玻璃基板(11)表面缺陷的图像。2.根据权利要求1所述的玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,所述相机(9)可拆卸地连接在所述目镜(1)外。3.根据权利要求1所述的玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,所述放大镜筒体包括位于所述目镜(1)和所述物镜(7)之间的锥形部(12),该锥形部(12)的上部小端安装有调节所述物镜(7)和所述目镜(1)距离的调焦旋钮(2),所述光源(5)安装在所述锥形部(12)的下部大端上。4.根据权利要求3所述的玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,所述目镜(1)可沿中线轴向可移动地从所述上部小端插入所述锥形部(12)中,并与所述调焦旋钮(2)螺纹配合。5.根据权利要求3所述的玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,所述物镜(7)通过连接部(13)可拆卸地连接于所...

【专利技术属性】
技术研发人员:林海峰李兆廷董光明方红义石志强李震李俊生
申请(专利权)人:芜湖东旭光电科技有限公司东旭光电科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:安徽;34

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