下载玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统的技术资料

文档序号:15041871

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本公开涉及一种玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统,其中玻璃基板表面缺陷的查看装置包括相机、放大镜筒体和支撑罩,所述放大镜筒体具有目镜和物镜,所述支撑罩围绕所述物镜并用于罩设在所述玻璃基板上,所述放大镜筒体侧壁上设置有朝向所述物镜发射光线的...
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