LDI自动聚焦控制方法及系统技术方案

本发明专利技术提供了一种LDI自动聚焦控制方法及系统，涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域，其中，一种LDI自动聚焦控制方法，包括以下步骤：控制镜筒向聚焦平台输出成像信息；通过相机采集位于所述聚焦平台上的所述成像信息；根据所述成像信息判断所述镜筒的聚焦面是否位于所述聚焦平台上，并给出所述聚焦平台需要沿Z轴运动的提示信息；所述聚焦平台根据所述提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置。解决了现有技术中存在的硬件成本较高，维护清洁麻烦的技术问题，达到了通过调整聚焦平台在Z轴方向的位置使镜筒聚焦于聚焦平台上的技术效果，结构简单，操作、维修方便。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻直写曝光机及投影显示
，尤其是涉及一种LDI自动聚焦控制方法及系统。
技术介绍
光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征构图的技术。这样的基底可用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等。在直写式光刻机的光刻系统中，特征图形由空间光调制器微镜阵列产生，这些微小镜面可以独立寻址单独受控以不同的倾斜方向反射照射的光束，以产生空间光强调制，最后将特征图形通过相应成像光路投影到印刷电路板(PrintedCircuitBoard，简称PCB板)上。由于LDI产品在实际应用中，曝光时板厚不同，在图形曝光成像时的聚焦点不同，所以需要用到调焦和聚焦的功能。现有技术的LDI曝光设备的聚焦平台只能沿X轴和Y轴运动，因此需要通过聚焦棱镜和阶梯棱镜的方式来调节镜筒聚焦面的位置，使镜筒聚焦面能够位于聚焦平台上，但是，采用这种聚焦面调节方式的LDI设备的硬件成本较高，且使用过程中维护清洁比较麻烦。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种LDI自动聚焦控制方法及系统，以解决现有技术中存在的硬件成本较高，维护清本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种LDI自动聚焦控制方法，其特征在于，包括以下步骤：控制镜筒向聚焦平台输出成像信息；通过相机采集位于所述聚焦平台上的所述成像信息；根据所述成像信息判断所述镜筒的聚焦面是否位于所述聚焦平台上，并给出所述聚焦平台需要沿Z轴运动的提示信息；所述聚焦平台根据所述提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置。

【技术特征摘要】
1.一种LDI自动聚焦控制方法，其特征在于，包括以下步骤：控制镜筒向聚焦平台输出成像信息；通过相机采集位于所述聚焦平台上的所述成像信息；根据所述成像信息判断所述镜筒的聚焦面是否位于所述聚焦平台上，并给出所述聚焦平台需要沿Z轴运动的提示信息；所述聚焦平台根据所述提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置。2.根据权利要求1所述的LDI自动聚焦控制方法，其特征在于，所述聚焦平台根据所述提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置，具体为：所述聚焦平台根据所述提示信息沿所述Z轴向下或向上运动一定距离，其中，所述提示信息为当控制器根据所述成像信息判断所述镜筒当前的聚焦面高于或低于所述聚焦平台时，给出所述聚焦面需要下降或上升的位移信息；重复上述步骤直至聚焦平面需要沿所述Z轴的提示信息为零。3.根据权利要求1所述的LDI自动聚焦控制方法，其特征在于，当所述聚焦面与所述聚焦平台之间的距离小于设定阈值时，则判定所述聚焦面与所述聚焦平台重合。4.根据权利要求1-3任一项所述的LDI自动聚焦控制方法，其特征在于，所述聚焦平台与所述镜筒之间的距离通过距离传感器实时检测。5.根据权利要求4所述的LDI自动聚焦控制方法，其特征在于，所述距离传感器为CD33。6.一种LDI自动聚焦控制系统，其特征在于，包括：聚焦平台，所述聚焦平台可沿X轴、Y轴和Z轴运动；镜筒，...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨振玲，
申请(专利权)人：天津津芯微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：天津;12