LDI自动聚焦控制方法及系统技术方案

本发明专利技术提供了一种LDI自动聚焦控制方法及系统，涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域，其中，一种LDI自动聚焦控制方法，包括以下步骤：控制镜筒向聚焦平台输出成像信息；通过相机采集位于所述聚焦平台上的所述成像信息；根据所述成像信息判断所述镜筒的聚焦面是否位于所述聚焦平台上，并给出所述聚焦平台需要沿Z轴运动的提示信息；所述聚焦平台根据所述提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置。解决了现有技术中存在的硬件成本较高，维护清洁麻烦的技术问题，达到了通过调整聚焦平台在Z轴方向的位置使镜筒聚焦于聚焦平台上的技术效果，结构简单，操作、维修方便。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻直写曝光机及投影显示
，尤其是涉及一种LDI自动聚焦控制方法及系统。
技术介绍
光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征构图的技术。这样的基底可用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等。在直写式光刻机的光刻系统中，特征图形由空间光调制器微镜阵列产生，这些微小镜面可以独立寻址单独受控以不同的倾斜方向反射照射的光束，以产生空间光强调制，最后将特征图形通过相应成像光路投影到印刷电路板(PrintedCircuitBoard，简称PCB板)上。由于LDI产品在实际应用中，曝光时板厚不同，在图形曝光成像时的聚焦点不同，所以需要用到调焦和聚焦的功能。现有技术的LDI曝光设备的聚焦平台只能沿X轴和Y轴运动，因此需要通过聚焦棱镜和阶梯棱镜的方式来调节镜筒聚焦面的位置，使镜筒聚焦面能够位于聚焦平台上，但是，采用这种聚焦面调节方式的LDI设备的硬件成本较高，且使用过程中维护清洁比较麻烦。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种LDI自动聚焦控制方法及系统，以解决现有技术中存在的硬件成本较高，维护清洁麻烦的技术问题。第一方面，本专利技术实施例提供了一种LDI自动聚焦控制方法，包括以下步骤：控制镜筒向聚焦平台输出成像信息；通过相机采集位于聚焦平台上的成像信息；根据成像信息判断镜筒的聚焦面是否位于聚焦平台上，并给出聚焦平台需要沿Z轴运动的提示信息；聚焦平台根据提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置。镜筒的聚焦平面平行于聚焦平台，且垂直于聚焦平台的Z轴；根据成像信息判断镜筒的聚焦面是否位于聚焦平台上，并给出聚焦平台需要沿Z轴运动的提示信息；聚焦平台根据提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置，使聚焦面与聚焦平台重合，即通过调整聚焦平台在Z轴方向的位置使镜筒聚焦于聚焦平台上，结构简单，操作、维修方便。结合第一方面，本专利技术实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，聚焦平台根据提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置，具体为：聚焦平台根据提示信息沿Z轴向下或向上运动一定距离，其中，提示信息为当控制器根据成像信息判断镜筒当前的聚焦面高于或低于聚焦平台时，给出聚焦面需要下降或上升的位移信息；重复上述步骤直至聚焦平面需要沿Z轴的提示信息为零。通过多次调整使聚焦平台逐步逼近聚焦面，从而实现聚焦面位于聚焦平台上。结合第一方面，本专利技术实施例提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，当聚焦面与聚焦平台之间的距离小于设定阈值时，则判定聚焦面与聚焦平台重合。根据实验与工作需要设定不同的阈值，若阈值范围较为宽松，则可通过一次移动使镜筒聚焦于聚焦平台，若阈值范围较为严格，则可以通过多次移动逐步逼近阈值，通过多次移动使镜筒聚焦于聚焦平台。结合第一方面及其可能的实施方式，本专利技术实施例提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，聚焦平台与镜筒之间的距离通过距离传感器实时检测。结合第一方面第四种可能的实施方式，本专利技术实施例提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，距离传感器为CD33。第二方面，本专利技术实施例还提供一种LDI自动聚焦控制系统，包括：聚焦平台，聚焦平台可沿X轴、Y轴和Z轴运动；镜筒，镜筒的输出端正对聚焦平台；距离传感器，距离传感器用于检测聚焦平台与镜筒之间的距离信息，并将距离信息发送至控制器；相机，相机用于采集镜筒在聚焦平台上的成像信息，并将成像信息发送至控制器；控制器连接聚焦平台、镜筒，并根据成像信息判断镜筒的聚焦面是否位于聚焦平台上，若聚焦面不在聚焦平台上，则控制聚焦平台沿Z轴运动，直至聚焦平台与聚焦面重合。聚焦平台可沿X轴、Y轴和Z轴运动，根据成像信息判断镜筒的聚焦面是否位于聚焦平台上，若聚焦面不在聚焦平台上，则控制聚焦平台沿Z轴运动，直至聚焦平台与聚焦面重合，在原有X轴，Y轴两个方向的平台中加入了Z轴，形成了可以上下左右前后移动的三轴平台，可以通过调整聚焦平台在Z轴的位置使聚焦平台与聚集面重合，从而使镜筒能够聚焦于聚焦平台。结合第二方面，本专利技术实施例提供了第二方面的第一种可能的实施方式，其中，当控制器根据成像信息判断镜筒当前的聚焦面高于或低于聚焦平台时，则给出聚焦面需要下降或上升的提示信息，聚焦平台根据提示信息沿Z轴向下或向上运动一定距离；控制器控制镜筒和相机重复上述过程直至聚焦面与聚焦平台重合。结合第二方面，本专利技术实施例提供了第二方面的第二种可能的实施方式，其中，当聚焦面与聚焦平台之间的距离小于设定阈值时，控制器判定聚焦面与聚焦平台重合。结合第二方面及其可能的实施方式，本专利技术实施例提供了第二方面的第三种可能的实施方式，其中，距离传感器实时检测聚焦平台与镜筒之间的距离，并将距离信号发送至控制器。结合第二方面第三种可能的实施方式，本专利技术实施例提供了第二方面的第三种可能的实施方式，其中，距离传感器为CD33。本专利技术实施例带来了以下有益效果：本专利技术实施例提供的LDI自动聚焦控制方法通过控制镜筒向聚焦平台输出成像信息，使镜筒的聚焦平面垂直于聚焦平台的Z轴，通过相机采集位于聚焦平台上的成像信息；根据成像信息判断镜筒的聚焦面是否位于聚焦平台上，并给出聚焦平台需要沿Z轴运动的提示信息；聚焦平台根据提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置，使聚焦面与聚焦平台重合，即通过调整聚焦平台在Z轴方向的位置使镜筒聚焦于聚焦平台上，结构简单，操作、维修方便。本专利技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例1提供的LDI自动聚焦控制方法流程图；图2为本专利技术实施例1提供的聚焦面和聚焦平台重合的示意图；图3为本专利技术实施例1提供的聚焦平台位于聚焦平面上方，并向聚焦面移动的示意图；图4为本专利技术实施例1提供的聚焦平台位于聚焦平面下方，先向聚焦面下方移动，再反向移动的示意图；图5为本专利技术实施例1提供的聚焦平台由聚焦面上方逐步逼近聚焦面的过程；图6为本专利技术实施例1提供的LDI自动聚焦控制系统的示意图。图标：1-聚焦面；2-聚焦平台；3-成像光束；4-控制器；5-镜筒；6-距离传感器；7-相机。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。目前的LDI需要通过聚焦棱镜和阶梯棱镜的方式来调节镜筒聚焦面的位置，使镜筒聚焦面能够聚焦于聚焦平台上，基于此，本专利技术实施例提供的一种LDI自动聚焦控制方法及系统，可以降低LDI镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种LDI自动聚焦控制方法，其特征在于，包括以下步骤：控制镜筒向聚焦平台输出成像信息；通过相机采集位于所述聚焦平台上的所述成像信息；根据所述成像信息判断所述镜筒的聚焦面是否位于所述聚焦平台上，并给出所述聚焦平台需要沿Z轴运动的提示信息；所述聚焦平台根据所述提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置。

【技术特征摘要】
1.一种LDI自动聚焦控制方法，其特征在于，包括以下步骤：控制镜筒向聚焦平台输出成像信息；通过相机采集位于所述聚焦平台上的所述成像信息；根据所述成像信息判断所述镜筒的聚焦面是否位于所述聚焦平台上，并给出所述聚焦平台需要沿Z轴运动的提示信息；所述聚焦平台根据所述提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置。2.根据权利要求1所述的LDI自动聚焦控制方法，其特征在于，所述聚焦平台根据所述提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置，具体为：所述聚焦平台根据所述提示信息沿所述Z轴向下或向上运动一定距离，其中，所述提示信息为当控制器根据所述成像信息判断所述镜筒当前的聚焦面高于或低于所述聚焦平台时，给出所述聚焦面需要下降或上升的位移信息；重复上述步骤直至聚焦平面需要沿所述Z轴的提示信息为零。3.根据权利要求1所述的LDI自动聚焦控制方法，其特征在于，当所述聚焦面与所述聚焦平台之间的距离小于设定阈值时，则判定所述聚焦面与所述聚焦平台重合。4.根据权利要求1-3任一项所述的LDI自动聚焦控制方法，其特征在于，所述聚焦平台与所述镜筒之间的距离通过距离传感器实时检测。5.根据权利要求4所述的LDI自动聚焦控制方法，其特征在于，所述距离传感器为CD33。6.一种LDI自动聚焦控制系统，其特征在于，包括：聚焦平台，所述聚焦平台可沿X轴、Y轴和Z轴运动；镜筒，...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨振玲，
申请(专利权)人：天津津芯微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：天津;12