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本发明提供了一种LDI自动聚焦控制方法及系统，涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域，其中，一种LDI自动聚焦控制方法，包括以下步骤：控制镜筒向聚焦平台输出成像信息；通过相机采集位于所述聚焦平台上的所述成像信息；根据所述成像信息判断所述镜筒...
该专利属于天津津芯微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津津芯微电子科技有限公司授权不得商用。

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