一种弹性导电机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种弹性导电机构，弹性导电机构由导电轴承托架(7)、导电轴承弹性支撑片(6)、导电轴承座(1)和轴承(2)组成；所述导电轴承座(1)与导电轴承弹性支撑片(6)的一端固定连接，导电轴承弹性支撑片(6)的另一端固定连接导电轴承托架(7)；所述导电轴承座(1)上设有与载板(13)接触的轴承(2)；本实用新型专利技术采用弹性支撑片和轴承的组合方式将滑动摩擦转化为滚动摩擦，减少载板磨损，减少电弧的产生，提高了载板的寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于反应离子刻蚀制绒领域，具体涉及到反应离子刻蚀装置中的导电装置。
技术介绍
在半导体器件的制造过程中广泛使用等离子体处理装置；反应离子刻蚀是一种半导体生产加工工艺，它利用由等离子体强化后的反应离子气体轰击目标材料，通过物理轰击和化学反应来达到刻蚀的目的，如说明书附图的图4中所示，反应离子刻蚀装置在反应腔室12内具备相对设置的上部电极10和下部电极11，在反应离子刻蚀装置中，通过在上部电极10施加高频电压，使反应腔室12内的处理气体等离子化，对下部电极11上的被处理体实施等离子体等的处理。目前，反应离子刻蚀制绒设备中在与下部电极11连接的导电轨和电池片载板即被处理体载板13之间通过导电弹簧片14进行导电，载板13通过传输装置15在装载和卸载过程中均会与导电弹簧片14发生滑动摩擦，这会使得载板13磨损严重，且容易出现电弧。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题现有技术中反应离子刻蚀制绒设备采用导电弹簧片与电池片载板进行导电，导电弹簧片与电池片载板是滑动摩擦，滑动摩擦易磨损导电弹簧片与载板，且易产生电弧。本技术采用弹性支撑片和轴承的组合方式，将导电机构与电池片载板之间的滑动摩擦转化为滚动摩擦，减少载板磨损，减少电弧的产生，提高了载板寿命。2、本技术的所采用的技术方案一种弹性导电机构，弹性导电机构由导电轴承托架7、导电轴承弹性支撑片6、导电轴承座1和轴承2组成；所述导电轴承座1与导电轴承弹性支撑片6的一端固定连接，导电轴承弹性支撑片6的另一端固定连接导电轴承托架7；所述导电轴承座1上设有与载板13接触的轴承2，轴承2通过导电轴承销4安装在导电轴承座1上。导电轴承座1上设置导电轴承弹簧片3；通过在导电轴承座1上设置导电轴承弹簧片3压接轴承2，优选导电轴承弹簧片3通过螺钉/螺栓固定至导电轴承座1并且搭接在轴承2上，由于螺钉的紧固，导电轴承弹簧片3保持时刻压接轴承2，提高了导电稳定性且可以清理轴承2上的灰尘等。优选在导电轴承销4的轴端两侧均设置环形凹槽用以设置卡止机构5，通过卡止机构5在轴承2轴向上对轴承2进行限位，卡止机构5优选E型轴用卡止机构。优选采用进行过特氟龙处理的螺钉/螺栓将支撑柱8与导电轴承托架7连接，以保证良好的绝缘性能。优选在每个导电轴承托架7上设置两个导电轴承座1用以支撑载板13。导电轴承座1与导电轴承弹性支撑片6之间以及导电轴承弹性支撑片6和导电轴承托架7之间的连接优选采用螺栓连接。导电轴承托架7本身亦可作为部分导电轨与其他导电轨连接导电，由其他导电轨支撑或者通过支撑柱8支撑在反应腔室12中，支撑柱8是绝缘体，在支撑的同时起到绝缘的作用。工作时的状态：当载板13进入反应腔室12时，导电机构中的导电轴承弹性支撑片6在载板13的压力下弯曲，导电轴承弹性支撑片6的弹性使得载板13顺利传输，载板13与导电机构中的轴承2相互接触，两者之间进行滚动摩擦，减少了原来使用导电弹簧片14进行导电时载板13与导电弹簧片14的相互磨损，且减少了电弧的产生。3、采用本技术提供的技术方案，与已有的公知技术相比，具有如下显著效果：本技术采用弹性支撑片和轴承的组合方式将滑动摩擦转化为滚动摩擦，减少载板磨损，减少电弧的产生，提高了载板的寿命。附图说明图1是本申请弹性导电机构的主视图。图2是本申请弹性导电机构的俯视图。图3是本申请弹性导电机构的左视图。图4是本领域中导电机构的现有技术。附图标记：1导电轴承座，2轴承，3导电轴承弹簧片，4导电轴承销，5卡止机构，6导电轴承弹性支撑片，7导电轴承托架，8支撑柱，9螺钉/螺栓，10上部电极，11导电轨(下部电极)，12反应腔室，13载板，14导电弹簧片，15传输装置。具体实施方式下面结合说明书附图1-3，对本技术的具体实施方式作详细描述。本技术的导电机构主要包括导电轴承座1、轴承2、导电轴承弹簧片3、导电轴承弹性支撑片6、导电轴承托架7。轴承2通过导电轴承销4安装在导电轴承座1上，导电轴承座1与导电轴承弹性支撑片6的一端固定连接，导电轴承弹性支撑片6的另一端固定连接导电轴承托架7。导电轴承座1上设有与载板13接触的轴承2，轴承2通过导电轴承销4安装在导电轴承座1上。导电轴承座1上设置导电轴承弹簧片3；通过在导电轴承座1上设置导电轴承弹簧片3压接轴承2，导电轴承弹簧片3通过螺钉/螺栓9固定至导电轴承座1并且搭接在轴承2上，由于螺钉的紧固，导电轴承弹簧片3保持时刻压接轴承2，提高了导电稳定性且可以清理轴承2上的灰尘等。导电轴承销4的轴端两侧均设置环形凹槽用以设置卡止机构5，通过卡止机构5在轴承2轴向上对轴承2进行限位，卡止机构5优选E型轴用卡止机构。采用进行过特氟龙处理的螺钉/螺栓将支撑柱8与导电轴承托架7连接，以保证良好的绝缘性能。在每个导电轴承托架7上设置两个导电轴承座1用以支撑载板13。导电轴承座1与导电轴承弹性支撑片6之间以及导电轴承弹性支撑片6和导电轴承托架7之间的连接优选采用螺栓连接。导电轴承托架7通过支撑柱8支撑在反应腔室12中，支撑柱8是绝缘体，在支撑的同时起到绝缘的作用。以上示意性地对本技术的创造及其实施方式进行了描述，本技术的保护范围包括但不限于上述的描述。附图中所示的也只是本技术创造的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受到本实用新的启示，在不脱离本技术的创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与本技术的技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本专利的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性导电机构，其特征在于，弹性导电机构由导电轴承托架(7)、导电轴承弹性支撑片(6)、导电轴承座(1)和轴承(2)组成；所述导电轴承座(1)与导电轴承弹性支撑片(6)的一端固定连接，导电轴承弹性支撑片(6)的另一端固定连接导电轴承托架(7)；所述导电轴承座(1)上设有与载板(13)接触的轴承(2)。

【技术特征摘要】
1.一种弹性导电机构，其特征在于，弹性导电机构由导电轴承托架(7)、导电轴承弹性支撑片(6)、导电轴承座(1)和轴承(2)组成；所述导电轴承座(1)与导电轴承弹性支撑片(6)的一端固定连接，导电轴承弹性支撑片(6)的另一端固定连接导电轴承托架(7)；所述导电轴承座(1)上设有与载板(13)接触的轴承(2)。2.根据权利要求1所述的一种弹性导电机构，其特征在于，所述轴承(2)通过导电轴承销(4)安装在导电轴承座(1)上。3.根据权利要求2所述的一种弹性导电机构，其特征在于，所述导电轴承座(1)上设置导电轴承弹簧片(3)，导电轴承弹簧片(3)压...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡彬，胡磊，左敏，
申请(专利权)人：江苏微导纳米装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32